맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

산화아연 박막의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015139115
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 산화아연 박막의 제조 방법에 관한 것으로, 아미노알킬산알킬아연을 기화시킨 후 생성한 증기를 기질과 접촉시켜 기질 위에 산화아연 박막을 침착시키는 본 발명의 방법에 따르면, 산소 원을 별도로 공급하지 않고 이 화합물을 단일 선구 물질로 사용하여 기존의 금속 유기물 화학 증착법(MOCVD)에 비해 더 온화한 조건에서 품질이 우수한 산화아연 박막을 얻을 수 있다.
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC H01L 21/02554(2013.01)H01L 21/02554(2013.01)H01L 21/02554(2013.01)H01L 21/02554(2013.01)
출원번호/일자 1020050050826 (2005.06.14)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0644163-0000 (2006.11.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20061110) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.06.14)
심사청구항수 6

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김윤수 대한민국 대전광역시 유성구
2 김창균 대한민국 대전광역시 유성구
3 이영국 대한민국 대전광역시 유성구
4 정택모 대한민국 대전광역시 유성구
5 안기석 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 위정호 대한민국 경기도 성남시 중원구 양현로 ***, ***호 (여수동, 시티오피스타워)(J특허법률사무소)
2 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2005-0312918-47
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.07.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.08.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0053966-63
4 등록결정서
Decision to grant		 2006.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0492355-00
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5059312-66
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2008-5074743-27
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
아미노알킬산알킬아연을 기화시킨 후 생성한 증기를 기질과 접촉시켜 기질 위에 산화아연 박막을 침착시키는 것을 포함하는, 산화아연 박막의 제조 방법
2 2
제 1 항에서, 아미노알킬산알킬아연이 메틸(1-디메틸아미노-2-메틸-2-프로폭시)아연(II), 에틸(1-디메틸아미노-2-메틸-2-프로폭시)아연(II) 및 메틸(1-디메틸아미노-2-에틸-2-부톡시)아연(II)으로 이루어진 군 중에서 선택됨을 특징으로 하는 방법
3 3
제 1 항에서, 기질을 규소 (111) 기판, 사파이어 (0001) 기판 및 산화아연 (0001) 기판 중에서 선택함을 특징으로 하는 방법
4 4
제 1 항 또는 제 3 항에서, 기질이 표면 산화 처리된 것임을 특징으로 하는 방법
5 5
제 1 항에서, 박막을 침착시킬 때 기질 온도가 250 내지 400 ℃ 범위인 것을 특징으로 하는 방법
6 6
제 1 항에서, 아미노알킬산알킬아연을 60 내지 90 ℃에서 기화시키는 것을 특징으로 하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.