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그래핀을 포함하는 센서와 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015143213
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 베이스 부재와, 상기 베이스 부재 상에 형성된 그래핀 소재의 회로 패턴과, 상기 회로 패턴에 형성된 적어도 하나의 전극부를 포함하는 센서를 제공하며, 아울러 그 센서의 제조 방법을 제공한다. 센서, 그래핀, 제조 방법
Int. CL G01L 1/22 (2006.01) G01B 7/16 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC G01B 7/18(2013.01) G01B 7/18(2013.01) G01B 7/18(2013.01) G01B 7/18(2013.01) G01B 7/18(2013.01)
출원번호/일자 1020090106671 (2009.11.05)
출원인 한화테크윈 주식회사, 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0049593 (2011.05.12) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.17)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한화에어로스페이스 주식회사 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조승민 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 송영일 대한민국 경상남도 창원시 성산구
3 김종완 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 안종현 대한민국 경기도 수원시 장안구
5 이영빈 대한민국 경기도 수원시 장안구
6 홍병희 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.11.05 수리 (Accepted) 1-1-2009-0681907-48
2 [전자문서첨부서류]전자문서첨부서류등 물건제출서
[Attachment to Electronic Document] Submission of Object such as Attachment to Electronic Document		 2009.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2009-5042624-06
3 [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서
[Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)] Submission of Document		 2009.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2009-0692161-42
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5131126-31
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.01.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0046803-54
9 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2013.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2013-0046802-19
10 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.07.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
11 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.08.14 수리 (Accepted) 9-1-2013-0068710-75
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0896043-66
13 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-0190737-62
14 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-0290938-55
15 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2014.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0298903-91
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-5092726-15
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.06.01 수리 (Accepted) 4-1-2017-5084566-32
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.05.16 수리 (Accepted) 4-1-2018-5086933-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
베이스 부재; 상기 베이스 부재 상에 형성된 그래핀 소재의 회로 패턴; 및 상기 회로 패턴에 형성된 적어도 하나의 전극부;를 포함하는 센서
2 2
제1항에 있어서, 상기 베이스 부재는 폴리머 물질로 형성되는 센서
3 3
제2항에 있어서, 상기 폴리머 물질은 폴리 이미드(Polyimide), PET(Polyethylen Terephthalate), FR-4 및 PDMS(Polydimethylsiloxane) 중 어느 하나의 소재로 이루어진 센서
4 4
제1항에 있어서, 상기 전극부는 금속 소재를 포함하는 전극 패드로 이루어진 센서
5 5
제1항에 있어서, 상기 회로 패턴의 적어도 일부를 덮는 보호층을 더 포함하는 센서
6 6
(a) 베이스 부재와 그래핀을 준비하는 단계; (b) 상기 그래핀을 상기 베이스 부재에 전사시키는 단계; (c) 상기 전사된 그래핀을 소정의 패턴으로 패터닝함으로써 회로 패턴을 형성하는 단계; 및 (d) 상기 형성된 회로 패턴에 전극부를 형성하는 단계;를 포함하는 센서의 제조 방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 베이스 부재는 폴리머 물질로 형성되는 센서의 제조 방법
8 8
제7항에 있어서, 상기 폴리머 물질은 폴리 이미드(Polyimide), PET(Polyethylen Terephthalate), FR-4 및 PDMS(Polydimethylsiloxane) 중 어느 하나의 소재로 이루어진 센서의 제조 방법
9 9
제6항에 있어서, 상기 (b)단계에서는, 접착제를 이용하여 상기 그래핀을 상기 베이스 부재에 전사시키는 센서의 제조 방법
10 10
제6항에 있어서, 상기 (c)단계에서는, 플라즈마 에칭법을 이용하여 상기 그래핀을 패터닝하여 상기 회로 패턴을 형성하는 센서의 제조 방법
11 11
제6항에 있어서, 상기 (d)단계에서는, 상기 전극부는 전극 패드로 이루어지되, 스크린 프린팅 방법을 이용하여 상기 회로 패턴에 상기 전극 패드를 형성하는 센서의 제조 방법
12 12
제6항에 있어서, 상기 (c)단계 후에, 상기 형성된 회로 패턴의 적어도 일부를 덮는 보호층을 형성하는 단계를 더 포함하는 센서의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.