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플라즈마 소스 및 이를 구비하는 플라즈마 발생장치

  • 기술번호 : KST2015143552
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 플라즈마 고밀도 구현이 가능하고, 플라즈마의 균일도 및 플라즈마 특성을 조절할 수 있는 나선형 유도결합 플라즈마 소스 및 플라즈마 발생장치가 개시된다. 본 발명의 플라즈마 발생장치는, 플라즈마가 생성되는 반응 공간을 형성하는 반응챔버와, 반응챔버의 외측 상부에 위치하며 나선형의 안테나코일 및 나선형 안테나코일의 중앙부와 외곽부 상에 각각 위치하여 나선형 안테나코일로부터 방사형으로 형성된 필드를 반응챔버의 내부에 안착된 처리기판 방향으로 집중시키는 페라이트 구조체를 포함하는 플라즈마 소스와, 반응챔버와 플라즈마 소스 사이에 위치하며 반응챔버와 상기 플라즈마 소스를 절연시키는 유전구조체와, 나선형 안테나코일의 일측에 전기적으로 연결되는 전원공급부를 포함할 수 있다.
Int. CL H05H 1/46 (2006.01) H05H 1/24 (2006.01)
CPC H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01)
출원번호/일자 1020100121567 (2010.12.01)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0060017 (2012.06.11) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.09)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 염근영 대한민국 서울특별시 송파구
2 김경남 대한민국 충청남도 천안시 서북구
3 임종혁 대한민국 경기도 용인시 처인구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2010-0793014-54
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2010.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2010-0813028-52
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0236463-92
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2012.10.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0591308-16
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
나선형으로 형성되는 안테나코일; 및상기 나선형 안테나코일의 적어도 2개의 영역 상에 각각 위치하며, 상기 나선형 안테나코일로부터 방사형으로 형성된 필드를 일방향으로 집중시키는 페라이트 구조체를 포함하는 플라즈마 소스
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 페라이트 구조체는 상기 나선형 안테나코일의 중앙부와 외곽부 상에 각각 위치하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 소스
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 페라이트 구조체는 아치형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 소스
4 4
플라즈마가 생성되는 반응 공간을 형성하는 반응챔버; 상기 반응챔버의 외측 상부에 위치하며, 나선형의 안테나코일과, 상기 나선형 안테나코일의 중앙부와 외곽부 상에 각각 위치하여 상기 나선형 안테나코일로부터 방사형으로 형성된 필드를 상기 반응챔버의 내부에 안착된 처리기판 방향으로 집중시키는 페라이트 구조체를 포함하는 플라즈마 소스; 상기 반응챔버와 상기 플라즈마 소스 사이에 위치하며, 상기 반응챔버와 상기 플라즈마 소스를 절연시키는 유전구조체; 및상기 나선형 안테나코일의 일측에 전기적으로 연결되는 전원공급부를 포함하는 플라즈마 발생장치
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 페라이트 구조체는 아치형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치
6 6
제 4 항에 있어서, 상기 나선형 안테나코일의 길이는 상기 나선형 안테나코일에 인가되는 상기 전원공급부의 고주파수(RF frequency) 파장의 1/4에 해당하는 길이 미만인 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.