[KST2017010251][성균관대학교] |
플라즈마 멸균기 및 플라즈마 멸균기의 과산화수소 기체 발생장치(PLASMA STERILIZER AND APPARATUS FOR GENERATING HYDROGEN PEROXIDE VAPOR IN THE STERILIZER) |
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[KST2022001923][성균관대학교] |
그래핀 방열 필름의 제조 방법 |
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[KST2015012115][성균관대학교] |
균일도를 향상시킨 플라즈마 소스 |
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[KST2015144462][성균관대학교] |
저손상 플라즈마 처리 장치 |
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[KST2015143562][성균관대학교] |
임피던스를 이용한 인시투 박막 두께 측정 장치, 박막 두께 측정 방법 및 그 기록 매체 |
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[KST2015143577][성균관대학교] |
플라즈마 기판 처리 장치 및 방법 |
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[KST2017014594][성균관대학교] |
2차원 박막 표면 처리 방법 및 이를 포함하는 전자 소자의 제조 방법(SURFACE TREATMENT METHOD OF 2-DIMENSIONAL THIN LAYER AND METHOD OF MANUFACTURING AN ELECTRIC ELEMENT) |
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[KST2020003551][성균관대학교] |
원자층 식각장치 |
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[KST2019022992][성균관대학교] |
플라즈마 발생 장치, 그를 포함하는 기판 처리 장치, 및 그 제어 방법 |
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[KST2014054366][성균관대학교] |
다중 주파수의 RF 펄스 파워를 이용한 펄스 플라즈마의 특성 제어 방법 |
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[KST2015144536][성균관대학교] |
멀티전극을 포함하는 플라스마 발생 장치 및 플라스마 발생 방법 |
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[KST2015143881][성균관대학교] |
플라즈마의 생성영역을 조절할 수 있는 대면적 플라즈마 발생장치 |
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[KST2016007766][성균관대학교] |
유전체에 균일하게 플라즈마를 발생시키는 방법(A method for generating plasma uniformly on dielectric material) |
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[KST2015142934][성균관대학교] |
확장형 파워전극을 구비한 대기압 플라즈마 발생장치 |
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[KST2014027387][성균관대학교] |
페라이트 구조체를 구비하는 플라즈마 소스 및 이를채택하는 플라즈마 발생장치 |
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[KST2015144079][성균관대학교] |
플라즈마의 생성영역을 조절할 수 있는 대면적 플라즈마 발생장치 |
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[KST2015143479][성균관대학교] |
더블 방전 시스템을 이용한 대기압 플라즈마 발생 장치 |
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[KST2021000003][성균관대학교] |
나노입자 코팅 장치 |
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[KST2017010072][성균관대학교] |
혼합 소스가스를 이용한 박막 증착 방법(THIN FILM DEPOSITING METHOD USING MIXED SOURCE GAS) |
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[KST2015214482][성균관대학교] |
모듈식 초대면적 플라스마 발생장치 |
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[KST2015143880][성균관대학교] |
하이브리드 플라즈마 소스 및 이를 이용한 하이브리드 플라즈마 발생장치 |
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[KST2014040035][성균관대학교] |
하이브리드 플라즈마 소스 및 이를 채용한 플라즈마 발생 장치 |
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