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B-N간의 결합이 sp2 공유결합이고 층간 결합이 반 데어 바알스 결합인 2차원 평면 구조체로서,1
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제1항에 있어서,상기 육방정계 질화붕소 시트의 층수가 1층 내지 10층인 것인 육방정계 질화붕소 시트
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제1항에 있어서,상기 육방정계 질화붕소 시트가 70% 이상의 순도로 육방정계 질화붕소를 포함하는 것인 육방정계 질화붕소 시트
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제1항에 있어서,상기 육방정계 질화붕소 시트의 라만스펙트럼중 1,367cm-1 피크의 FWHM이 17
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챔버 내에서 제1 열처리에 의해 그레인 크기가 증가된 시트 형상의 금속 촉매를 얻는 단계; 및질소 공급원 및 붕소 공급원을 상기 챔버에 기상으로 공급하면서, 제2 열처리에 의해 시트 형상의 h-BN을 생성하는 단계;를 포함하고,상기 제1 열처리 공정 후 상기 시트 형상의 금속 촉매의 적어도 일표면을 연마하는 공정을 더 포함하는 육방정계 질화붕소 시트의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 제1 열처리 공정에서 상기 시트 형상의 금속 촉매의 그레인 크기가, 제1 열처리 이전의 단위 그레인 면적과 대비하여 제1 열처리 후 적어도 100% 이상의 평균 면적 증가율을 가지는 것인 육방정계 질화붕소 시트의 제조방법
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7
제5항에 있어서,상기 제1 열처리 후 상기 시트 형상의 금속 촉매의 단위 그레인이 1㎛2 이상의 평균 면적을 갖는 것인 육방정계 질화붕소 시트의 제조방법
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8
제5항에 있어서,상기 제1 열처리 후 상기 금속 촉매의 제곱평균제곱근 표면 조도가 7
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9
제5항에 있어서,상기 제1 열처리가 (상기 금속 촉매의 융점X0
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10
제9항에 있어서,상기 (상기 금속 촉매의 융점X0
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11
제9항에 있어서,상기 (상기 금속 촉매의 융점X0
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12
삭제
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제5항에 있어서,상기 연마 공정이 화학적 연마, 물리적 연마, 기계화학적 연마 및 전해 연마 중 하나 이상을 포함하는 것인 육방정계 질화붕소 시트의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 연마 공정 후 상기 금속 촉매의 제곱평균제곱근 표면 조도가 5
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제13항에 있어서,상기 화학적 연마공정에 의해 상기 금속 촉매의 제곱평균제곱근 표면 조도가 1
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제5항에 있어서,상기 육방정계 질화붕소 시트의 횡방향 길이, 종방향 길이 혹은 이들 모두가1mm 이상인 것인 육방정계 질화붕소 시트의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 질소 공급원이 NH3 및 N2에서 선택된 하나 이상인 것인 육방정계 질화붕소 시트의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 붕소 공급원이 BH3, BF3, BCl3, B2H6, (CH3CH2)3B, 및 (CH3)3B에서 선택된 하나 이상인 것인 육방정계 질화붕소 시트의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 질소와 붕소 공급원이 H3NBH3 및 (BH)3(NH)3에서 선택된 하나 이상인 것인 육방정계 질화붕소 시트의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 금속 촉매가 니켈(Ni), 코발트(Co), 철(Fe), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 구리(Cu), 마그네슘(Mg), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 로듐(Rh), 실리콘(Si), 탈륨(Ta), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 우라늄(U), 바나듐(V) 및 지르코늄(Zr)으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속 또는 합금인 것인 육방정계 질화붕소 시트의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 제2 열처리가 불활성 가스, 수소가스, 또는 불활성가스와 수소가스의 혼합가스의 존재하에 수행하는 것인 육방정계 질화붕소 시트의 제조방법
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제5항 내지 제11항, 제13항 내지 제21항 중 어느 한 항에 따른 제조방법으로 얻어진 육방정계 질화붕소 시트
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 육방정계 질화붕소 시트; 및그래핀;을 구비하는 적층구조체
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제23항에 따른 적층구조체를 구비하는 전기소자
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제23항에 따른 적층구조체를 구비하는 트랜지스터
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