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그래핀 패턴 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015144551
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 패턴 형성 장치 및 방법에 관한 것으로, 간단하면서도 경제적으로 그래핀 패턴을 형성할 수 있는 장치 및 방법에 관한 것이다. 이를 위해, 스탬프부의 접착층과 그래핀층이 맞닿은 상태에서 스탬프부를 가압하여 접착층과 결합된 그래핀층의 일부를 제거함으로써, 그래핀 패턴을 형성하는 장치와 방법을 제공한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020100010139 (2010.02.03)
출원인 한화테크윈 주식회사, 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0090397 (2011.08.10) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.05.13)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한화에어로스페이스 주식회사 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안종현 대한민국 경기도 수원시 장안구
2 홍병희 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2010-0075414-62
2 [전자문서첨부서류]전자문서첨부서류등 물건제출서
[Attachment to Electronic Document] Submission of Object such as Attachment to Electronic Document		 2010.02.08 수리 (Accepted) 1-1-2010-5004467-67
3 보정요구서
Request for Amendment		 2010.02.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0011935-42
4 직권수리안내서
Notification of Ex officio Acceptance		 2010.02.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0013446-74
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5131126-31
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
9 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2014.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2014-0449235-51
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.05.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0449234-16
11 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
12 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.05.11 수리 (Accepted) 9-1-2015-0033036-70
13 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0420318-11
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-5092726-15
15 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.08.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0820963-64
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2015-0820962-18
17 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2015.11.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0762840-54
18 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-1171225-76
19 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2015.11.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-1171226-11
20 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2015.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0875658-67
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.06.01 수리 (Accepted) 4-1-2017-5084566-32
23 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.05.16 수리 (Accepted) 4-1-2018-5086933-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
그래핀층에 패턴을 형성하는 방법으로서,패턴이 형성된 스탬프부에 접착층을 형성하는 단계;상기 스탬프부의 접착층을 상기 그래핀층과 접촉시키는 단계; 및상기 그래핀층 중 상기 접착층에 접촉되어 부착된 부분을 상기 그래핀층의 나머지 부분으로부터 분리하는 단계를 포함하는 그래핀 패턴 형성 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 스탬프부는 하부에 접착층이 형성된 대면적의 시트 형상으로,상기 접촉시키는 단계는,상기 스탬프부를 선형 이동시켜 상기 접착층과 상기 그래핀층을 접촉시키는 것인 그래핀 패턴 형성 방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 스탬프부는 외주면에 접착층이 형성된 롤러 형상으로,상기 접촉시키는 단계는,상기 스탬프부를 회전축을 중심으로 회전 이동시켜 상기 접착층과 상기 그래핀층을 접촉시키는 것인 그래핀 패턴 형성 방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 스탬프부는,폴리디메틸실록산(PDMS), a-PFPE, PDD - TFE, PFPE-DMA 의 소재 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것인 그래핀 패턴 형성 방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 그래핀층은 베이스 부재 상에 위치하는 것으로,상기 접착층과 상기 그래핀층 간 접착력은 상기 베이스 부재와 상기 그래핀층 간 접착력 보다 큰 것인 그래핀 패턴 형성 방법
6 6
제 1 항에 있어서,상기 그래핀층의 부분 중 상기 접착층에 부착되어 분리된 부분을 기판에 전사하는 단계를 더 포함하는 그래핀 패턴 형성 방법
7 7
그래핀층에 패턴을 형성하는 방법으로서,패턴 홈을 갖는 스탬프부를 준비하는 단계;상기 스탬프부를 상기 그래핀층에 접촉시키는 단계; 및상기 그래핀층의 부분 중 상기 스탬프부와 접촉되어 부착된 부분을 상기 그래핀층의 나머지 부분으로부터 분리하는 단계를 포함하는 그래핀 패턴 형성 방법
8 8
제 7 항에 있어서,상기 스탬프부는 대면적의 시트 형상으로,상기 접촉시키는 단계는,상기 스탬프부를 선형이동시켜 상기 스탬프부 중 상기 패턴 홈이 형성되지 않은 부분과 상기 그래핀층을 접촉시키는 것인 그래핀 패턴 형성 방법
9 9
제 7 항에 있어서,상기 스탬프부는 롤러 형상으로,상기 접촉시키는 단계는,상기 스탬프부를 회전축을 중심으로 회전 이동시켜 상기 스탬프중 상기 패턴 홈이 형성되지 않은 부분과 상기 그래핀층을 접촉시키는 것인 그래핀 패턴 형성 방법
10 10
제 7 항에 있어서,상기 스탬프부는,폴리디메틸실록산(PDMS), a-PFPE, PDD - TFE, PFPE-DMA 의 소재 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것인 그래핀 패턴 형성 방법
11 11
제 7 항에 있어서,상기 그래핀층은 베이스 부재 상에 위치하는 것으로,상기 스탬프부와 상기 그래핀층 간 접착력은 상기 베이스 부재와 상기 그래핀층 간 접착력 보다 큰 것인 그래핀 패턴 형성 방법
12 12
제 7 항에 있어서,상기 스탬프부 준비 단계와 상기 접촉 단계 사이에는,상기 스탬프부 중에서 상기 패턴 홈이 형성되지 않은 부분에 접착층을 형성하는 단계를 더 포함하는 그래핀 패턴 형성 방법
13 13
제 7 항에 있어서,상기 그래핀층의 부분 중 상기 스탬프부와 부착되어 분리된 부분을 기판에 전사하는 단계를 더 포함하는 그래핀 패턴 형성 방법
14 14
패턴이 형성된 스탬프부;일 면에 그래핀층이 형성된 베이스 부재;상기 베이스 부재를 상기 스탬프부의 하부로 이동시키는 그래핀 이동부; 및상기 스탬프부를 이동시켜 상기 그래핀층에 접촉시키는 스탬프 이동부를 포함하는 그래핀 패턴 형성 장치
15 15
제 14 항에 있어서,상기 스탬프부는 대면적의 시트 형상인 그래핀 패턴 형성 장치
16 16
제 14 항에 있어서,상기 스탬프부는 원통형의 롤러 형상인 그래핀 패턴 형성 장치
17 17
제 14 항에 있어서,상기 스탬프부는 상기 그래핀층과 접착력이 있는 소재로서, 상기 스탬프부에는 패턴 홈이 형성된 것인 그래핀 패턴 형성 장치
18 18
제 17 항에 있어서, 상기 스탬프부와 상기 그래핀층 간 접착력은 상기 베이스 부재와 상기 그래핀층 간 접착력 보다 큰 것인 그래핀 패턴 형성 장치
19 19
제 14 항에 있어서,상기 스탬프부는 패턴을 갖는 접착층을 포함하는 그래핀 패턴 형성 장치
20 20
제 19 항에 있어서,상기 접착층과 상기 그래핀층 간 접착력은 상기 베이스 부재와 상기 그래핀층 간 접착력 보다 큰 것인 그래핀 패턴 형성 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.