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이온빔 소오스에 그리드 전압을 제공하기 위한 고주파 전압과 직류 바이어스 전압의 동기화 장치에 있어서,상용 전원을 적어도 하나의 미리 설정된 공급 전압으로 변환하는 전원 공급부;상기 공급 전압을 조정이 가능한 전압 범위 내에서 소정 전압으로 변환하는 전압 조정부;상기 소정 전압의 크기를 미리 정해진 배수만큼 변환하여 적어도 하나의 그리드 전압을 제공하는 전압 변환부;고주파 신호의 온 구간 및 오프 구간에 상응하여 상기 적어도 하나의 그리드 전압을 출력하기 위한 구동 제어 신호를 제공하는 제어부; 및상기 구동 제어 신호에 기초하여 상기 전압 변환부로부터 제공된 상기 적어도 하나의 그리드 전압의 출력을 제어하는 출력 구동부를 포함하는 고주파 전압과 직류 바이어스 전압의 동기화 장치
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제1항에 있어서, 상기 전원 공급부는상기 상용 전원을 제1 공급 전압으로 변환하여 상기 전압 조정부 및 상기 출력 구동부에 제공하는 제1 전원 공급 모듈; 및상기 상용 전원을 제2 공급 전압으로 변환하여 상기 제어부에 제공하는 제2 전원 공급 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 전압과 직류 바이어스 전압의 동기화 장치
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제1항에 있어서, 상기 전압 조정부는복수의 전압 조정 모듈을 포함하고, 각각의 전압 조정 모듈은 상기 공급 전압을 조정이 가능한 전압 범위 내에서 소정 전압으로 변환하는 것을 특징으로 하는 고주파 전압과 직류 바이어스 전압의 동기화 장치
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제3항에 있어서, 상기 전압 변환부는상기 복수의 전압 조정 모듈의 수와 동일한 수의 전압 변환 모듈을 포함하고, 각각의 전압 변환 모듈은 연결된 각 전압 조정 모듈로부터 제공된 상기 소정 전압의 크기를 미리 정해진 소정 배수만큼 변환하여 상기 그리드 전압을 제공하는 것을 특징으로 하는 고주파 전압과 직류 바이어스 전압의 동기화 장치
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제4항에 있어서, 상기 전압 조정부는상기 공급 전압을 조정이 가능한 전압 범위 내에서 제1 전압으로 변환하는 제1 전압 조정 모듈;상기 공급 전압을 조정이 가능한 전압 범위 내에서 제2 전압으로 변환하는 제2 전압 조정 모듈;상기 공급 전압을 조정이 가능한 전압 범위 내에서 제3 전압으로 변환하는 제3 전압 조정 모듈; 및상기 공급 전압을 조정이 가능한 전압 범위 내에서 제4 전압으로 변환하는 제4 전압 조정 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 전압과 직류 바이어스 전압의 동기화 장치
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제5항에 있어서, 상기 전압 변환부는상기 제1 전압을 제1 그리드 전압으로 변환하는 제1 전압 변환 모듈;상기 제2 전압을 제2 그리드 전압으로 변환하는 제2 전압 변환 모듈;상기 제3 전압을 제3 그리드 전압으로 변환하는 제3 전압 변환 모듈; 및상기 제4 전압을 제4 그리드 전압으로 변환하는 제4 전압 변환 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 전압과 직류 바이어스 전압의 동기화 장치
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제4항에 있어서, 상기 전압 조정부는상기 공급 전압을 조정이 가능한 전압 범위 내에서 제1 전압으로 변환하는 제1 전압 조정 모듈; 및상기 공급 전압을 조정이 가능한 전압 범위 내에서 제2 전압으로 변환하는 제2 전압 조정 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 전압과 직류 바이어스 전압의 동기화 장치
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제7항에 있어서, 상기 전압 변환부는상기 제1 전압을 제1 그리드 전압으로 변환하는 제1 전압 변환 모듈; 및상기 제2 전압을 제2 그리드 전압으로 변환하는 제2 전압 변환 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 전압과 직류 바이어스 전압의 동기화 장치
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제1항에 있어서, 상기 제어부는상기 고주파 신호의 한 주기 내의 온 구간에서는 제1 그리드 전압 및 제4 그리드 전압을 출력하기 위한 제1 구동 제어 신호를 제공하고, 상기 고주파 신호의 한 주기 내의 오프 구간에서는 제2 그리드 전압 및 제3 그리드 전압을 출력하기 위한 제2 구동 제어 신호를 제공하는 것을 특징으로 하는 고주파 전압과 직류 바이어스 전압의 동기화 장치
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제9항에 있어서, 상기 출력 구동부는상기 제1 구동 제어 신호에 상응하여 상기 온 구간에서 논리 하이(logic high)인 상기 제1 그리드 전압 및 논리 로우(logic low)인 제4 그리드 전압을 출력하고, 상기 제2 구동 제어 신호에 상응하여 상기 오프 구간에서 논리 로우인 상기 제2 그리드 전압 및 논리 하이인 제3 그리드 전압을 출력하는 것을 특징으로 하는 고주파 전압과 직류 바이어스 전압의 동기화 장치
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제9항에 있어서,상기 제1 및 제3 그리드 전압의 크기는 동일하고, 상기 제2 및 제4 그리드 전압의 크기는 동일하며, 상기 제1 그리드 전압과 상기 제2 그리드 전압의 크기는 상이한 것을 특징으로 하는 고주파 전압과 직류 바이어스 전압의 동기화 장치
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제1항에 있어서, 상기 출력 구동부는상기 구동 제어 신호에 기초하여 상기 그리드 전압의 출력을 제어하는 적어도 하나의 게이트 구동 모듈; 및상기 전압 공급부로부터 제공된 상기 공급 전압을 상기 게이트 구동 모듈의 동작을 위한 출력 구동 전압으로 변환한 후, 상기 변환된 출력 구동 전압을 상기 게이트 구동 모듈에 제공하는 적어도 하나의 DC-DC 변환 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 전압과 직류 바이어스 전압의 동기화 장치
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제12항에 있어서, 상기 적어도 하나의 게이트 구동 모듈은상기 전압 변환부로부터 제공된 제1 그리드 전압의 출력을 제어하는 제1 게이트 구동 모듈;상기 전압 변환부로부터 제공된 제2 그리드 전압의 출력을 제어하는 제2 게이트 구동 모듈;상기 전압 변환부로부터 제공된 제3 그리드 전압의 출력을 제어하는 제3 게이트 구동 모듈; 및상기 전압 변환부로부터 제공된 제4 그리드 전압의 출력을 제어하는 제4 게이트 구동 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 전압과 직류 바이어스 전압의 동기화 장치
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제12항에 있어서, 상기 적어도 하나의 게이트 구동 모듈은상기 전압 변환부로부터 공통으로 제공된 제1 그리드 전압의 출력을 제어하는 제1 게이트 구동 모듈 및 제3 게이트 구동 모듈과,상기 전압 변환부로부터 공통으로 제공된 제2 그리드 전압의 출력을 제어하는 제2 게이트 구동 모듈 및 제4 게이트 구동 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 전압과 직류 바이어스 전압의 동기화 장치
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제1항에 있어서, 상기 전압 조정부, 상기 전압 변환부, 상기 제어부 및 상기 출력 구동부는 하나의 케이스에 설치되고, 상기 전원 공급부는 상기 케이스와 다른 케이스에 설치되는 것을 특징으로 하는 고주파 전압과 직류 바이어스 전압의 동기화 장치
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