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가스 센서 및 그의 제조 방법

기술번호 : KST2015145328
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 가스 센서 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 제 1 극성을 갖는 불순물이 도핑된 기판과; 상기 기판 상부에 상호 이격되어 있으며, 제 1 극성과 반대의 제 2 극성을 갖는 불순물이 확산된 소스 및 드레인과; 상기 소스 및 드레인 사이의 상기 기판 상부에 형성된 산화막과; 상기 산화막 상부에 형성되고, Pt 또는 Pd로 이루어진 감지 전극과; 상기 감지 전극 상부에 형성되고, Pt 또는 Pd 입자가 포함되어 있는 감도 향상층으로 구성된다.따라서, 본 발명은 감지 전극 상부에 감지 향상층을 형성하여 수소 가스의 감지 감도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명은 감지 향상층 상부에 다공질막을 형성하여, 이종 가스로부터 감지층을 격리시키고, 수소 가스만 통과시켜 감도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.가스센서, 감도향상층, 다공질막, 수소, 나노, 입자
Int. CL	G01N 27/12 (2011.01) G01N 27/14 (2011.01) B28Y 15/00 (2011.01)
CPC	G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01)
출원번호/일자	1020060045187 (2006.05.19)
출원인	전자부품연구원, 주식회사 오토산업
등록번호/일자	10-0771526-0000 (2007.10.24)
공개번호/일자
공고번호/일자	(20071030) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2006.05.19)
심사청구항수	7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	한국전자기술연구원	대한민국	경기도 성남시 분당구
2	주식회사 오토산업	대한민국	인천광역시 부평구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	박준식	대한민국	경기도 군포시
2	박효덕	대한민국	경기도 성남시 분당구
3	김시동	대한민국	서울특별시 양천구
4	이성현	대한민국	서울특별시 양천구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	정종옥	대한민국	서울특별시 강남구 논현로길 , *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	(주)파란빌트인		서울특별시 성동구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2006.05.19	수리 (Accepted)	1-1-2006-0350986-56
2	서지사항보정서 Amendment to Bibliographic items	2006.05.23	수리 (Accepted)	1-1-2006-0360429-26
3	서지사항보정서 Amendment to Bibliographic items	2006.05.29	수리 (Accepted)	1-1-2006-0378111-89
4	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2007.02.07	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
5	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2007.03.13	수리 (Accepted)	9-1-2007-0014107-57
6	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2007.05.04	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2007-0246277-12
7	명세서등보정서 Amendment to Description, etc.	2007.06.28	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2007-0472706-52
8	의견서 Written Opinion	2007.06.28	수리 (Accepted)	1-1-2007-0472701-24
9	등록결정서 Decision to grant	2007.10.23	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2007-0564234-30
10	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.02.08	수리 (Accepted)	4-1-2011-5022600-48
11	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2013.04.17	수리 (Accepted)	4-1-2013-0013766-37
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2017.10.23	수리 (Accepted)	4-1-2017-5167972-35
13	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.08.24	수리 (Accepted)	4-1-2020-5189497-57

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 제 1 극성을 갖는 불순물이 도핑된 기판과; 상기 기판 상부에 상호 이격되어 있으며, 제 1 극성과 반대의 제 2 극성을 갖는 불순물이 확산된 소스 및 드레인과; 상기 소스 및 드레인 사이의 상기 기판 상부에 형성된 산화막과; 상기 산화막 상부에 형성되고, Pt 또는 Pd로 이루어진 감지 전극과; 상기 감지 전극 상부에 형성되고, Pt 또는 Pd 입자가 포함되어 있는 감도 향상층으로 구성된 가스 센서
2	2 제 1 항에 있어서,상기 감도 향상층 상부에 다공질막이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 센서
3	3 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 감도 향상층은,Pt 또는 Pd 입자가 흡착되어 있는 나노튜브 또는 Pt 또는 Pd 입자가 흡착되어 있는 나노카본인 것을 특징으로 하는 가스 센서
4	4 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판의 일부면에,히터가 더 형성되어 있거나 또는 열전소자가 더 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 센서
5	5 기판 상부에 상호 이격되어 있는 소스 및 드레인을 형성하고, 그 소스 및 드레인 사이의 기판 상부에 산화막을 형성하는 단계와;상기 산화막 상부에 Pt 또는 Pd 전극을 형성하는 단계와;상기 Pt 또는 Pd 전극 상부에 Pt 또는 Pd 입자가 포함되어 있는 감도 향상층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진 가스 센서의 제조 방법
6	6 제 5 항에 있어서,상기 Pt 또는 Pd 전극 상부에 Pt 또는 Pd 입자가 포함되어 있는 감도 향상층을 형성하는 단계 후에, 상기 감도 향상층 상부에 다공질막을 형성하는 공정이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 가스 센서의 제조 방법
7	7 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,Pt 또는 Pd 입자가 포함되어 있는 감도 향상층을 형성하는 공정은, Pt 또는 Pd 입자를 용매에 분산시키고, Pt 또는 Pd 입자가 분산된 용매를 상기 감도 향상층에 코팅한 후, 상기 Pt 또는 Pd 입자를 제외한 상기 용매를 제거하여, 상기 Pt 또는 Pd 입자가 포함되어 있는 감도 향상층을 Pt 또는 Pd 전극 상부에 형성하는 공정을 수행하거나,또는, Pt 또는 Pd가 포함된 고상(固狀)의 염화물을 용매에 녹이고, 상기 염화물이 녹아있는 용매에 나노튜브를 분산시키고, 상기 나노튜브가 분산된 용매를 상기 감도 향상층에 코팅한 후, 열처리하여 상기 용매를 제거하여, 상기 Pt 또는 Pd 입자가 흡착되어 있는 나노튜브로 이루어진 감도 향상층을 Pt 또는 Pd 전극 상부에 형성하는 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 가스 센서의 제조 방법

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허 등록번호 표입니다.
특허 등록번호	10-0771526-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20060519 출원 번호 : 1020060045187 공고 연월일 : 20071030 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20071023 청구범위의 항수 : 7 유별 : G01N 27/14 발명의 명칭 : 가스 센서 및 그의 제조 방법 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 주식회사 오토산업 서울특별시 구...
1	(권리자) 전자부품연구원 경기도 성남시 분당구...
2	(의무자) 전자부품연구원 경기도 성남시 분당구...
2	(의무자) 주식회사 오토산업 서울특별시 구...
2	(권리자) (주)파란빌트인 서울특별시 성동구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	229,500 원	2007년 10월 25일	납입
제 4 년분	금 액	194,000 원	2010년 07월 01일	납입
제 5 년분	금 액	194,000 원	2011년 07월 20일	납입
제 6 년분	금 액	194,000 원	2012년 07월 11일	납입
제 7 년분	금 액	366,000 원	2013년 06월 21일	납입
제 8 년분	금 액	366,000 원	2014년 07월 08일	납입
제 9 년분	금 액	366,000 원	2015년 06월 26일	납입
제 10 년분	금 액	737,500 원	2017년 04월 24일	납입
제 11 년분	금 액	625,000 원	2017년 10월 24일	납입
제 12 년분	금 액	625,000 원	2018년 10월 23일	납입
제 13 년분	금 액	745,000 원	2019년 10월 24일	납입
제 14 년분	금 액	767,350 원	2020년 10월 27일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2006.05.19	수리 (Accepted)	1-1-2006-0350986-56
2	서지사항보정서	2006.05.23	수리 (Accepted)	1-1-2006-0360429-26
3	서지사항보정서	2006.05.29	수리 (Accepted)	1-1-2006-0378111-89
4	선행기술조사의뢰서	2007.02.07	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
5	선행기술조사보고서	2007.03.13	수리 (Accepted)	9-1-2007-0014107-57
6	의견제출통지서	2007.05.04	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2007-0246277-12
7	명세서등보정서	2007.06.28	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2007-0472706-52
8	의견서	2007.06.28	수리 (Accepted)	1-1-2007-0472701-24
9	등록결정서	2007.10.23	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2007-0564234-30
10	출원인정보변경(경정)신고서	2011.02.08	수리 (Accepted)	4-1-2011-5022600-48
11	출원인정보변경(경정)신고서	2013.04.17	수리 (Accepted)	4-1-2013-0013766-37
12	출원인정보변경(경정)신고서	2017.10.23	수리 (Accepted)	4-1-2017-5167972-35
13	출원인정보변경(경정)신고서	2020.08.24	수리 (Accepted)	4-1-2020-5189497-57


과제고유번호	1410055305
세부과제번호	0500-SB1-030
연구과제명	인체및환경측정용초소형센서분석및기술지원
성과구분	등록
부처명	지식경제부
연구관리전문기관명	한국산업기술평가원
연구주관기관명	전자부품연구원
성과제출연도	2005
연구기간	200505~200604
기여율	0.5
연구개발단계명	응용연구
6T분류명	기타


과제고유번호	1480002414
세부과제번호	kiest20041000100160
연구과제명	고감도ㆍ고기능환경계측용가스센서개발
성과구분	등록
부처명	환경부
연구관리전문기관명	한국환경기술진흥원
연구주관기관명	오토전자
성과제출연도	2004
연구기간	200406~200505
기여율	0.5
연구개발단계명	개발연구
6T분류명	ET(환경기술)


과제고유번호	1410055305
세부과제번호	0500-SB1-030
연구과제명	인체및환경측정용초소형센서분석및기술지원
성과구분	출원
부처명	지식경제부
연구관리전문기관명	한국산업기술평가원
연구주관기관명	전자부품연구원
성과제출연도	2005
연구기간	200505~200604
기여율	1
연구개발단계명	응용연구
6T분류명	기타

특허성과

[1020060045187]	가스 센서 및 그의 제조 방법	새창보기

중요키워드

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