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기판 상부에 제거가 용이한 제거용 박막, 금속성 박막과 고분자 박막을 순차적으로 형성하는 단계와;
스트라이프 형상의 돌출부들이 주기적으로 형성되어 있는 스탬프로 상기 고분자 박막 상부를 가압하여, 상기 고분자 박막에 스트라이프 형상의 돌출부들을 형성하는 단계와;
상기 스트라이프 형상의 돌출부들이 형성되어 있지 않은 영역의 금속성 박막을 식각하여 스트라이프 형상의 돌출부들을 형성하는 단계와;
상기 고분자 박막 및 상기 제거용 박막을 제거하여, 금속성 박막의 스트라이프 형상의 돌출부들로 이루어진 금속성 공진기 파이버(Resonator fiber)를 분리시키는 단계로 구성된 무선 주파수 식별 태그용 금속성 공진기 파이버를 제조하는 방법
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기판 상부에 제거가 용이한 제거용 박막, 금속성 박막과 고분자 박막을 순차적으로 형성하는 단계와;
스트라이프 형상의 돌출부들이 주기적으로 형성되어 있는 스탬프로 상기 고분자 박막 상부를 가압하여, 상기 고분자 박막에 스트라이프 형상의 돌출부들을 형성하는 단계와;
상기 스트라이프 형상의 돌출부들이 형성되어 있지 않은 영역의 금속성 박막을 식각하여 스트라이프 형상의 돌출부들을 형성하는 단계와;
상기 고분자 박막 및 상기 제거용 박막을 제거하여, 금속성 박막의 스트라이프 형상의 돌출부들로 이루어진 금속성 공진기 파이버(Resonator fiber)들을 분리시키는 단계와;
상기 금속성 공진기 파이버들을 대상물에 분산시키는 단계로 구성된 무선 주파수 식별 태그를 제조하는 방법
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3
기판 상부에 제거가 용이한 제거용 박막을 형성하고, 상기 제거용 박막 상부에 복수개의 스트라이프 형상으로 반원 단면을 갖는 홈들을 형성하는 단계와;
상기 제거용 박막 상부에 금속성 박막 및 고분자 박막을 순차적으로 형성하는 단계와;
스트라이프 형상으로 반원 단면을 갖는 홈들이 주기적으로 형성되어 있는 스탬프로 상기 고분자 박막 상부를 가압하여, 상기 고분자 박막에 스트라이프 형상으로 반원 단면을 갖는 돌출부들을 형성하는 단계와;
상기 고분자 박막 및 상기 금속성 박막을 식각하여 스트라이프 형상으로 원상의 단면을 갖는 금속성 공진기 파이버들을 형성하는 단계와;
상기 제거용 박막을 제거하여, 상기 금속성 공진기 파이버들을 분리하는 단계와;
상기 금속성 공진기 파이버들을 대상물에 분산시키는 단계로 구성된 무선 주파수 식별 태그를 제조하는 방법
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4
기판 상부에 접착용 박막, 금속성 박막 및 고분자 박막을 순차적으로 형성하는 단계와;
미세 홈들이 분산되어 형성되어 있는 스탬프로 상기 고분자 박막 상부를 가압하여, 상기 고분자 박막에 미세 돌출부들을 형성하는 단계와;
상기 미세 돌출부들이 형성되어 있지 않은 영역의 금속성 박막을 식각하여 상기 금속성 박막에 미세 돌출부들로 이루어진 금속성 공진기 파이버를 형성하는 단계와;
상기 고분자 박막을 제거하고, 상기 금속성 박막 상부에 접착용 시트를 접착하는 단계와;
상기 접착용 시트를 대상물에 접착시키고, 상기 접착용 박막 및 기판을 이탈시켜, 상기 대상물에 금속성 공진기 파이버를 분산시키는 단계로 구성된 무선 주파수 식별 태그를 제조하는 방법
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5
청구항 4에 있어서,
상기 접착용 박막의 접착력보다 상기 접착용 시트의 접착력이 큰 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 제조하는 방법
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6
청구항 4에 있어서,
상기 금속성 공진기 파이버들 일부의 크기 또는 형상은 다른 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 제조하는 방법
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7
청구항 2 내지 6 중 한 항에 있어서,
상기 대상물은,
종이 또는 플라스틱인 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 제조하는 방법
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8
청구항 2 내지 6 중 한 항에 있어서,
상기 대상물에 금속성 공진기 파이버를 랜덤(Ramdom)하게 분산시키는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 제조하는 방법
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9
청구항 2 내지 6 중 한 항에 있어서,
상기 금속성 박막은,
금속과 금속 산화물, 전도성 고분자, 카본(Carbon) 중 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 제조하는 방법
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10
청구항 2 내지 6 중 한 항에 있어서,
상기 금속성 박막은,
스퍼터링, 전자빔 증착, 펄스 레이저 증착, 화학기상 증착, 잉크젯 프린팅, 스크린 프린팅, 스핀 코팅, 딥 코팅과 롤 코팅 중 하나로 형성하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 제조하는 방법
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11
청구항 2 내지 6 중 한 항에 있어서,
상기 스탬프는,
PDMS(polydimethysiloxane), 폴리이미드(polyimide), 폴리우레탄(polyureth anes)과 교차결합 노볼락 수지(cross-linked NovolacTM resins) 중 하나로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 제조하는 방법
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12
청구항 2 내지 6 중 한 항에 있어서,
상기 금속성 공진기 파이버의 직경은,
100nm~10um인 것을 특징으로 하는 무선 주파수 식별 태그를 제조하는 방법
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