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X와 Y방향으로 이동하며, 기판 상부에 나노 패턴을 형성할 수 있는 병렬 프로프가 형성되어 있는 프로브 리소 스캐너와; 상기 프로브 리소 스캐너를 제어하는 프로브 리소 컨트롤러와; 상기 나노 패턴 이외 영역의 기판 상부에 자외선을 노광시키는 자외선 노광기와; 상기 자외선 노광기를 제어하는 자외선 리소 컨트롤러로 구성된 병렬 프로브를 이용한 나노 리소그래피 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 병렬 프로브는, 상기 프로브 리소 스캐너에 고정되고 부상되며 선단에 팁이 각각 형성된 복수개의 캔틸레버들로 구성된 것을 특징으로 하는 병렬 프로브를 이용한 나노 리소그래피 시스템
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제 2 항에 있어서, 상기 복수개의 캔틸레버 각각에는, 프로브와 기판 사이의 간격을 감지할 수 있는 마이크로 센서와, 상기 마이크로 센서에서 감지된 간격을 일정하게 유지하기 위해서 높이를 조절할 수 있는 마이크로 액추에이터가 더 형성되어 있으며, 상기 마이크로 센서와 마이크로 엑추에이터를 제어하는 제어부가 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 병렬 프로브를 이용한 나노 리소그래피 시스템
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X와 Y방향으로 이동할 수 있는 프로브 리소 스캐너에 고정된 병렬 프로브 하부에 나노 패턴을 형성할 기판의 상부를 위치시키는 제 1 단계와; 상기 프로브 리소 스캐너를 X와 Y방향으로 이동시켜 상기 병렬 프로브로 상기 기판 상부에 나노 패턴을 형성하는 제 2 단계와; 상기 나노 패턴이 형성된 기판을 자외선 노광기의 하부에 위치시키고, 상기 나노 패턴 이외 영역의 기판 상부를 자외선으로 노광시키는 제 3 단계로 구성된 병렬 프로브를 이용한 나노 리소그래피 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 제 2 단계에서 나노 패턴을 형성하는 것은, 형성할 나노 패턴의 선을 따라 패터닝해야 하는 기판 상부의 픽셀 부분만 스캐닝하는 벡터 스캐닝 방법을 이용하여 나노 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 병렬 프로브를 이용한 나노 리소그래피 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 제 3 단계는, 상기 기판 상에 형성된 나노 패턴과 동일한 형상의 개구가 형성된 마스크를 상기 기판 상부에 정렬시킨 다음, 상기 자외선 노광기로 상기 나노 패턴 이외 영역의 기판 상부를 노광시키는 것을 특징으로 하는 병렬 프로브를 이용한 나노 리소그래피 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 병렬 프로브는, 상기 프로브 리소 스캐너에 고정되고 부상되며 선단에 팁이 각각 형성된 복수개의 캔틸레버들로 구성된 것을 특징으로 하는 병렬 프로브를 이용한 나노 리소그래피 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 제 2 단계의 상기 병렬 프로브로 기판 상부에 나노 패턴을 형성하는 방법은, 상기 기판 상부에 감광막이 형성되어 있는 경우, 상기 병렬 프로브에 있는 캔틸레버들의 팁에서 방출되는 저에너지 전류에 의하여 감광막을 변화시켜 나노 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 병렬 프로브를 이용한 나노 리소그래피 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 제 2 단계의 상기 병렬 프로브로 기판 상부에 나노 패턴을 형성하는 방법은, 상기 기판 상부에 감광막이 형성되어 있고, 상기 팁이 NSOM(Near-field Scanning Optical Microscopy)용 팁인 경우, 상기 팁에서 방출되는 광을 이용하여 감광막에 나노 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 병렬 프로브를 이용한 나노 리소그래피 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 제 2 단계의 상기 병렬 프로브로 기판 상부에 나노 패턴을 형성하는 방법은, 상기 기판 상부에 감광막이 형성되어 있지 않고, 기판이 실리콘 기판이거나 기판 상부에 금속층이 형성되어 있는 경우, 실리콘 기판 또는 금속층에 강한 전기장이 인가된 팁으로 패턴이 형성될 영역을 산화시켜 나노 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 병렬 프로브를 이용한 나노 리소그래피 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 제 2 단계의 상기 병렬 프로브로 기판 상부에 나노 패턴을 형성하는 방법은, 상기 기판 상부에 감광막이 형성되어 있지 않은 경우, 병렬 프로브의 팁들 중, 나노패턴을 그릴 팁에 감광 용액을 묻혀 기판에 나노패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 병렬 프로브를 이용한 나노 리소그래피 방법
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프로브 리소 스캐너를 X와 Y방향으로 이동시켜 상기 병렬 프로브로 상기 기판 상부에 나노 패턴을 형성하는 제 1 단계와; X와 Y방향으로 이동할 수 있는 프로브 리소 스캐너에 고정된 병렬 프로브 하부에 나노 패턴을 형성할 기판의 상부를 위치시키는 제 2 단계와; 상기 나노 패턴이 형성된 기판을 자외선 노광기의 하부에 위치시키고, 상기 나노 패턴 이외 영역의 기판 상부를 자외선으로 노광시키는 제 3 단계로 구성된 병렬 프로브를 이용한 나노 리소그래피 방법
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프로브 리소 스캐너를 X와 Y방향으로 이동시켜 상기 병렬 프로브로 상기 기판 상부에 나노 패턴을 형성하는 제 1 단계와; X와 Y방향으로 이동할 수 있는 프로브 리소 스캐너에 고정된 병렬 프로브 하부에 나노 패턴을 형성할 기판의 상부를 위치시키는 제 2 단계와; 상기 나노 패턴이 형성된 기판을 자외선 노광기의 하부에 위치시키고, 상기 나노 패턴 이외 영역의 기판 상부를 자외선으로 노광시키는 제 3 단계로 구성된 병렬 프로브를 이용한 나노 리소그래피 방법
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