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펄스 레이저로 여기시켜 발생된 초음파가 물체를 전파한 후 레이저 간섭계로 감지하여 물체의 두께나 결함 등의 상태를 검사하는 레이저 초음파 장치에 있어서, 측정 대상체(10)의 일측 위치(A)로 레이저빔을 조사하는 초음파 여기용 펄스 레이저(1)와, 이로 부터 조사된 빔을 차단 또는 통과시키는 셔터(2)와, 이 셔터를 거친 레이저빔의 세기를 조절하는 중성농도 필터(Neutral density filter)(3)와, 중성농도필터를 거친 레이저빔의 입사각도를 변환시키는 거울(4, 5) 및 거울을 지난 레이저빔을 집속하는 집속렌즈(6)로 구성되는 레이저를 이용한 초음파 여기장치와; 이 집속된 레이저빔에 의해 여기되어 측정대상체의 표면을 따라 타측 위치(B)에 전파된 초음파를 수신하는 간섭계로 구성하되, 이 간섭계는 레이저를 조사하는 연속발진레이저(21)와, 이 안정화된 연속발진 레이저를 나누는 빔가르개(22)와, 빔가르개(22)에 의해 나뉘어져 반사된 빔(기준빔)의 편광을 회전시키는 반파장판(23)과, 반파장판에서 나온 빔을 비스듬하게 광굴절결정(30)으로 직접 입사시키는 거울(24)과, 상기 빔가르개를 투과한 연속발진 레이저빔(물체빔)의 입사각도를 변환시키는 거울(25)과, 이 거울에 의해 입사된 빔을 확산시키는 빔확산 부품(26)과, 빔확산부품을 지난 빔을 편광반사시키는 편광 빔가르개(27)와, 이 편광반사된 빔의 편광상태를 바꾸는 1/4파장판(28)과, 1/4파장판(28)으로부터 나온 빔을 집속시키는 집속렌즈(29)와, 상기 거울(24)에 의해 비스듬한 각도로 반사된 레이저 빔(기준빔)을 직접 입사받음과 동시에 상기 집속렌즈(29)와 1/4 파장판(28)을 거쳐 편광이 90도 회전되어 편광 빔가르개(27)를 투과한 후 집속된 레이저 빔(물체빔)을 입사받는 광굴절결정(30)과, 이 광굴절 결정을 통과한 물체빔과 광굴절 결정에서 회절된 기준빔이 만드는 간섭무늬를 집속하는 영상렌즈(31)와, 집속된 간섭무늬를 입사받아 광신호를 검출하는 다중 광센서(32)와, 다중광센서(32)에서 검출된 다중 광신호를 수신하여 처리하는 신호 수신 장치(33)로 구성되어 여러 점에서의 초음파 신호를 동시에 처리할 수 있는 간섭계 장치로 구성된 것을 특징으로 하는 다중 광센서를 사용하는 레이저 초음파 검사 장치
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제 1항에 있어서, 상기한 빔가르개를 통과한 물체빔을 확산시키는 확산 광학 부품으로 선모양의 레이저빔을 만들어 측정 대상체에 선모양의 빔으로 조사시키는 원통형 렌즈를 사용하여 구성한 것을 특징으로 하는 다중 광센서를 사용하는 레이저 초음파 검사 장치
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제 1항에 있어서, 상기한 빔가르개를 통과한 물체빔을 확산시키는 확산 광학 부품으로 다중 점모양의 레이저빔을 만들어 측정 대상체에 다중 점모양의 빔으로 조사시키는 회절격자를 사용하여 구성한 것을 특징으로 하는 다중 광센서를 사용하는 레이저 초음파 검사 장치
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펄스 레이저로 여기시켜 발생된 초음파가 물체를 전파한 후 레이저 간섭계로 감지하여 물체의 두께나 결함 등의 상태를 검사하는 방법에 있어서, 제 1항 내지 3항의 장치를 구비한 후 펄스 레이저로 여기시켜 발생한 초음파 신호가 물체를 전파하거나 반사한 후 측정위치에서 미소한 표면 변위를 일으키는 단계와; 안정화된 연속발진 레이저를 빔가르개로 나누어 반사된 하나의 빔(기준빔)은 반 파장판을 거쳐 광굴절 결정에 비스듬한 각도로 직접 입사시키고, 빔가르개를 투과한 상기한 연속발진 레이저빔(물체빔)은 빔확산 부품을 거쳐 확산시킨 후 편광 빔가르개에서 반사된 후 1/4파장판을 거친 후 집속렌즈에서 집속되어 측정 대상체에 입사되는 단계와; 측정 대상체에서 반사된 연속발진 레이저빔은 다시 집속렌즈와 1/4 파장판을 거쳐 편광이 90도 회전되어 상기한 편광 빔가르개를 투과하여 광굴절 결정에 집속되어 입사되는 단계와; 광굴절 결정을 통과한 물체빔과 광굴절 결정에서 회절된 기준빔은 간섭무늬를 만드는데, 이 간섭무늬를 포함한 빔은 또 다른 영상렌즈에서 집속되어 다중 광센서에 입사하는 단계와; 다중 광센서에서 검출된 다중 광신호는 전용의 신호검출 및 처리 장치로 획득되어 여러 점에서의 초음파 신호를 동시에 처리하는 단계; 로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 초음파 검사 방법
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펄스 레이저로 여기시켜 발생된 초음파가 물체를 전파한 후 레이저 간섭계로 감지하여 물체의 두께나 결함 등의 상태를 검사하는 방법에 있어서, 제 1항 내지 3항의 장치를 구비한 후 펄스 레이저로 여기시켜 발생한 초음파 신호가 물체를 전파하거나 반사한 후 측정위치에서 미소한 표면 변위를 일으키는 단계와; 안정화된 연속발진 레이저를 빔가르개로 나누어 반사된 하나의 빔(기준빔)은 반 파장판을 거쳐 광굴절 결정에 비스듬한 각도로 직접 입사시키고, 빔가르개를 투과한 상기한 연속발진 레이저빔(물체빔)은 빔확산 부품을 거쳐 확산시킨 후 편광 빔가르개에서 반사된 후 1/4파장판을 거친 후 집속렌즈에서 집속되어 측정 대상체에 입사되는 단계와; 측정 대상체에서 반사된 연속발진 레이저빔은 다시 집속렌즈와 1/4 파장판을 거쳐 편광이 90도 회전되어 상기한 편광 빔가르개를 투과하여 광굴절 결정에 집속되어 입사되는 단계와; 광굴절 결정을 통과한 물체빔과 광굴절 결정에서 회절된 기준빔은 간섭무늬를 만드는데, 이 간섭무늬를 포함한 빔은 또 다른 영상렌즈에서 집속되어 다중 광센서에 입사하는 단계와; 다중 광센서에서 검출된 다중 광신호는 전용의 신호검출 및 처리 장치로 획득되어 여러 점에서의 초음파 신호를 동시에 처리하는 단계; 로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 초음파 검사 방법
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