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광 간섭 단층 촬영 장치에 있어서,광을 출력하는 광원;상기 광원으로부터 출력된 광을 제 1 광신호 및 제 2 광신호로 분할하여 출력하고, 상기 제 1 광신호에 대응하는 측정광 신호 및 상기 제 2 광신호에 대응하는 기준광 신호를 각각 피드백 받아 결합하는 간섭계;상기 간섭계를 통해 출력된 상기 제 1 광신호를 측정 대상물에 조사하고, 상기 측정 대상물로부터 반사된 상기 측정광 신호를 상기 간섭계로 피드백하는 대상 측정부;상기 간섭계를 통해 출력된 상기 제 2 광신호를 기준 거울에 조사하고, 상기 기준 거울로부터 반사된 상기 기준광 신호를 상기 간섭계로 피드백하는 기준광 생성부;상기 간섭계를 통해 결합된 상기 측정광 신호 및 상기 기준광 신호의 간섭 신호 세기를 계측하는 분광기; 및이전에 계측된 상기 간섭 신호 세기에 기초하여 상기 제 2 광신호의 상기 기준 거울로의 입사각 또는 상기 기준 거울에서의 반사각이 변경되도록 제어하여, 상기 기준 거울로부터 반사되어 상기 기준광 생성부로 피드백하는 상기 기준광 신호의 광량을 조절하는 기준광량 조절부를 포함하는 광 간섭 단층 촬영 장치
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제 1 항에 있어서,상기 기준광량 조절부는,상기 분광기의 광포화 임계값 및 상기 이전에 계측된 간섭 신호 세기에 기초하여 상기 기준광 신호의 목표 세기를 결정하고,상기 기준광 신호의 목표 세기에 기초하여 상기 제 2 광신호의 상기 기준 거울로의 입사각 또는 상기 기준 거울에서의 반사각을 변경하는 광 간섭 단층 촬영 장치
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제 2 항에 있어서,사전에 기준광 신호 세기 별로 상기 제 2 광신호의 상기 기준 거울로의 입사각 및 상기 기준 거울에서의 반사각 중 적어도 하나를 매칭하여 상기 기준광 신호에 대한 정규화 광량 맵을 생성하는 기준 생성부를 더 포함하되,상기 기준광량 조절부는,상기 정규화 광량 맵으로부터 상기 기준광 신호의 목표 세기에 매칭된 상기 입사각 또는 상기 반사각을 검출하는 광 간섭 단층 촬영 장치
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제 1 항에 있어서,상기 기준광량 조절부는,상기 기준 거울을 향해 출력된 상기 제 2 광신호를 각각 기설정된 반사각으로 반사시키는 하나 이상의 광학계; 및상기 이전에 계측된 간섭 신호 세기에 기초하여 상기 광학계 별 상기 반사각을 설정하고, 상기 광학계 별로 상기 반사각에 기초하여 설정된 방향 및 각도로 회동시키는 광학계 구동부를 포함하되,상기 복수의 광학계를 포함된 경우,상기 복수의 광학계는 각각 어느 하나의 다른 광학계로부터 반사된 광이 입사되도록 대향 배치된 것인 광 간섭 단층 촬영 장치
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제 4 항에 있어서,상기 복수의 광학계는,제 1 진행 방향으로 출력된 상기 제2 광신호를 상기 제 1 진행 방향과 상이한 제 2 진행 방향으로 반사시키는 제 1 광학계; 및상기 제 1 광학계로부터 반사된 광신호를 상기 제 1 진행 방향으로 반사시켜 상기 기준 거울에 입사시키는 제 2 광학계를 포함하는 광 간섭 단층 촬영 장치
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제 1 항에 있어서,상기 대상 측정부는 상기 간섭계를 통해 출력된 상기 제 1 광신호를 집광하여 상기 측정 대상물을 향해 평행광으로 출력하는 제 1 광시준기를 포함하고,상기 기준광 생성부는 상기 간섭계를 통해 출력된 상기 제 2 광신호를 집광하여 상기 기준 거울을 향해 평행광으로 출력하는 제 2 광시준기를 포함하는 광 간섭 단층 촬영 장치
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제 6 항에 있어서,상기 기준광량 조절부는,상기 이전에 계측된 간섭 신호 세기에 기초하여 상기 제 2 광시준기의 광출력각을 설정하고, 상기 제 2 광시준기를 상기 광출력각에 기초하여 설정된 방향 및 각도로 회동시키는 광시준기 구동부를 포함하는 광 간섭 단층 촬영 장치
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제 1 항에 있어서,상기 기준광량 조절부는,상기 이전에 계측된 간섭 신호 세기에 기초하여 상기 기준 거울의 반사각을 설정하고, 상기 기준 거울을 상기 반사각에 기초하여 설정된 방향 및 각도로 회동시키는 기준 거울 구동부를 포함하는 광 간섭 단층 촬영 장치
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제 1 항에 있어서,상기 분광기를 통해 계측된 간섭 신호 세기의 값을 신호 처리하여 상기 측정 대상물에 대한 단층 촬영 영상을 생성하는 단층 영상 처리부를 더 포함하는 광 간섭 단층 촬영 장치
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10
제 1 항에 있어서,상기 이전에 계측된 간섭 신호 세기는,상기 측정 대상물에 대해 상기 간섭계에 최초 피드백된 상기 측정광 신호 및 상기 기준광 신호에 따른 간섭 신호 세기의 초기 값인 광 간섭 단층 촬영 장치
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광 간섭 단층 촬영 장치를 통한 광 간섭 단층 촬영 방법에 있어서,(a) 광원으로부터 출력된 광을 제 1 광신호 및 제 2 광신호로 분할하여 출력하는 단계;(b) 상기 제 1 광신호를 측정 대상물에 조사하고, 상기 제 2 광신호를 기준 거울에 조사하는 단계;(c) 상기 제 1 광신호가 상기 측정 대상물로부터 반사된 측정광 신호 및 상기 제 2 광신호가 상기 기준 거울로부터 반사된 기준광 신호를 각각 피드백 받는 단계;(d) 상기 피드백된 측정광 신호 및 기준광 신호를 결합하는 단계; 및(e) 상기 결합된 측정광 신호 및 기준광 신호에 기초하여 간섭 신호 세기를 계측하는 단계를 포함하되,상기 (b) 단계는,이전에 계측된 상기 간섭 신호 세기에 기초하여 상기 제 2 광신호의 상기 기준 거울로의 입사각 또는 상기 기준 거울에서의 반사각을 변경하여 상기 제 2 광신호를 조사하고,상기 피드백 받은 기준광 신호는,상기 입사각 또는 상기 반사각을 변경하기 이전에 비해 광량이 조절된 것인 광 간섭 단층 촬영 방법
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제 11 항에 있어서,상기 (a) 단계 이전에,(f) 상기 간섭 신호 세기를 계측하는 분광기의 광포화 임계값 및 상기 이전에 계측된 간섭 신호 세기에 기초하여 상기 기준광 신호의 목표 세기를 결정하는 단계;(g) 상기 기준광 신호의 목표 세기에 기초하여 상기 제 2 광신호의 상기 기준 거울로의 입사각 또는 상기 기준 거울에서의 반사각을 설정하는 단계를 더 포함하는 광 간섭 단층 촬영 방법
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제 12 항에 있어서,상기 (g) 단계 이전에,(h) 기준광 신호 세기 별로 상기 제 2 광신호의 상기 기준 거울로의 입사각 또는 상기 기준 거울에서의 반사각을 매칭하여 상기 기준광 신호에 대한 정규화 광량 맵을 생성하는 단계를 더 포함하되,상기 (g) 단계는,상기 정규화 광량 맵으로부터 상기 기준광 신호의 목표 세기에 매칭된 상기 입사각 또는 상기 반사각을 검출하는 광 간섭 단층 촬영 방법
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제 11 항에 있어서,상기 이전에 계측된 간섭 신호 세기는,상기 측정 대상물에 대해 최초 피드백된 상기 측정광 신호 및 상기 기준광 신호에 따른 간섭 신호 세기의 초기 값인 광 간섭 단층 촬영 방법
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제 11 항에 있어서,상기 (e) 단계 이후에,상기 계측된 간섭 신호 세기의 값을 신호 처리하여 상기 측정 대상물에 대한 단층 촬영 영상을 생성하는 단계를 더 포함하는 광 간섭 단층 촬영 방법
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