맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

포토리지스트를 이용한 곡선형 미소금형 제조방법 및곡률조정구

  • 기술번호 : KST2015157208
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미소금형(1) 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 식각 단계(S1)에 의해 형성된 기판(2) 상의 곡면을 구현할 부분에 포토리지스트패턴(5)을 형성하는 패턴 형성 단계(S2)와, 상기 포토리지스트패턴(5)을 액상으로 만들기 위해 상기 기판(2)을 가열하는 가열 단계(S3)와, 액상인 상기 포토리지스트패턴(5)을 굳어지도록 하는 고형 단계(S4)를 통하여 곡면을 완성하는 곡면 형성 단계(S5)와, 그리고 상기 기판(2)에 금속층(6)을 형성하는 금속층(6) 형성단계(S6)와, 상기 금속층(6)으로부터 상기 포토리지스트패턴(5) 및 상기 기판(2)을 분리하는 제거 단계(S7)에 의하며, 특히 곡률에 따라 알맞게 형성된 곡률조정구에 의해 곡면이 구현된 미소금형(1)을 제조하여, 정밀한 반도체 및 인쇄 회로 기판(2)을 생산할 수 있는 포토리지스트를 이용한 곡선형 미소금형 제조방법 및 곡률조정구를 제공한다. 미소금형, 인쇄 회로 기판, 포토리지스트패턴
Int. CL G03F 7/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01)
CPC G03F 7/18(2013.01) G03F 7/18(2013.01) G03F 7/18(2013.01) G03F 7/18(2013.01) G03F 7/18(2013.01)
출원번호/일자 1020040065560 (2004.08.19)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0661020-0000 (2006.12.18)
공개번호/일자 10-2006-0017056 (2006.02.23) 문서열기
공고번호/일자 (20061226) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.08.19)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 오범환 대한민국 인천광역시 연수구
2 이민우 대한민국 인천광역시 부평구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.08.19 수리 (Accepted) 1-1-2004-0371955-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.02.17 수리 (Accepted) 9-1-2006-0010681-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0113349-92
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2006-0287865-73
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2006-0377649-51
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0457512-60
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0541927-08
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.08.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0617040-20
10 의견서
Written Opinion		 2006.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2006-0616995-28
11 등록결정서
Decision to grant		 2006.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0749882-00
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.03.07 수리 (Accepted) 4-1-2008-0003929-31
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2008-5093865-89
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.17 수리 (Accepted) 4-1-2009-5220324-82
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
식각 단계(S1)에 의해 식각된 기판(2)에 금속층(6)을 형성하는 미소금형(1) 제조방법에 있어서, 상기 기판(2)에서 곡면을 구현할 부분에 포토리지스트패턴(5)을 이용하여 곡면을 형성하는 곡면 형성 단계(S5)와, 곡면을 형성한 상기 포토리지스트패턴(5)과 상기 기판(2)에 금속층(6)을 형성하는 금속층(6) 형성단계(S6)와, 상기 금속층(6)으로부터 상기 포토리지스트패턴(5) 및 상기 기판(2)을 분리하는 제거 단계(S7)를 포함한 것을 특징으로 하는 포토리지스트를 이용한 곡선형 미소금형 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 곡면 형성 단계(S5)는 상기 식각 단계(S1)에 의해 식각된 상기 기판(2)에서 곡면을 구현할 부분에 포토리지스트패턴(5)을 형성하는 패턴 형성 단계(S2)와, 상기 포토리지스트패턴(5)을 녹여 곡면이 구현된 액상으로 만들기 위해 상기 기판(2)을 가열하는 가열 단계(S3)와, 액상의 상기 포토리지스트패턴(5)이 곡면을 유지한 상태로 굳어지도록 하는 고형 단계(S4)를 포함한 것을 특징으로 하는 포토리지스트를 이용한 곡선형 미소금형 제조방법
3 3
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 금속층(6) 형성단계(S5)는 증착에 의한 방법 또는 전기도금에 의한 방법 중 어느 한 방법에 의하여 금속층(6)을 형성하는 것을 특징으로 하는 포토리지스트를 이용한 곡선형 미소금형 제조방법
4 4
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 패턴 형성 단계(S2)가양측으로 팔부분을 형성한 U자 형으로 형성되고, 양측 팔부분의 끝부분으로 감소하는 기울기를 갖는 곡률조정구를 구비하여, 상기 양측 팔부분에 의해 형성된 내측 공간부에 포토리지스트패턴(5)을 위치하여 곡면을 형성하는 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 포토리지스트를 이용한 곡선형 미소금형 제조방법
5 5
삭제
6 6
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.