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물질의 결정 구조를 이용한 패턴 형성 방법 및 그 구조를갖는 기능성 소자

  • 기술번호 : KST2015158730
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 물질의 결정구조를 이용한 패턴 형성방법으로, 결정구조를 갖는 물질을 투과 전자 현미경의 챔버에 위치시키고, 전자선을 조사하고, 결정구조를 갖는 물질을 투과 및 회절된 전자 빔의 간섭을 이용하여 피조사 물질의 표면에 결정구조를 갖는 물질의 격자 이미지를 위상 콘트라스트 영상법을 이용하여 형성하고, 이렇게 형성된 결정구조를 갖는 물질의 격자 이미지로 패턴을 형성함으로써 제어가능한 방법으로 양자점을 형성할 수 있는 이점이 있다.
Int. CL H01L 21/263 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020010001422 (2001.01.10)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-0597014-0000 (2006.06.28)
공개번호/일자 10-2002-0060380 (2002.07.18) 문서열기
공고번호/일자 (20060706) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.09.16)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기범 대한민국 서울 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 권혁록 대한민국 서울특별시 종로구 경희궁길 **, *층 리앤권법률특허사무소 (신문로*가, 서광빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 김기범 서울특별시 강남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2001.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2001-0006559-66
2 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2001.01.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2001-0007222-64
3 과오납통지서
Notice of Erroneous Payment
2001.01.16 수리 (Accepted) 1-5-2001-0003506-25
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.11.09 수리 (Accepted) 4-1-2001-0126432-06
5 출원인변경신고서
Applicant change Notification
2003.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2003-5219124-67
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2003.11.19 수리 (Accepted) 4-1-2003-0061264-43
7 대리인 선임 신고서
Notification of assignment of agent
2004.02.06 수리 (Accepted) 1-1-2004-0050830-15
8 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2004.09.16 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2004-0419893-80
9 출원심사청구서
Request for Examination
2004.09.16 수리 (Accepted) 1-1-2004-0419926-09
10 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.11.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
11 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.12.02 수리 (Accepted) 9-1-2005-0080039-52
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2005.12.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0634099-68
13 의견서
Written Opinion
2006.02.09 수리 (Accepted) 1-1-2006-0095404-46
14 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.02.09 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0095408-28
15 등록결정서
Decision to grant
2006.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0364511-13
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5015497-73
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
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번호 청구항
1 1
결정구조를 가지는 하나의 단결정 또는 다결정 물질을 챔버에 위치시키는 단계;상기 물질에 전자선을 조사시키는 단계;피조사 물질의 표면에 상기 전자선을 조사시킨 물질을 통과한 투과전자선과 회절전자선의 간섭에 의해 형성된 상기 하나의 단결정 또는 다결정 물질의 격자이미지 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 하나의 단결정 또는 다결정 물질의 격자 이미지는 위상 콘트라스트 방법으로 형성됨을 특징으로 하는 패턴형성방법
3 3
결정구조를 가지는 하나의 단결정 또는 다결정 물질을 챔버에 위치시키는 단계;상기 물질에 전자선을 조사시키는 단계;기판상의 전자빔 감광물질의 표면에 상기 전자선을 조사시킨 상기 하나의 단결정 또는 다결정 물질을 통과한 투과전자선과 회절전자선의 간섭에 의해 형성된 상기 하나의 단결정 또는 다결정 물질의 격자자이미지 패턴을 형성하는 단계;상기 전자빔 감광물질을 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴형성방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 기판은 반도체 기판, 금속 기판, 또는 표면에 산화층 또는 질화층이 도포되어 있는 기판임을 특징으로 하는 패턴형성방법
5 5
반도체 기판;상기 반도체 기판에 위치하는 소오스 영역;상기 반도체 기판에 위치하며 상기 소오스 영역으로부터 이격되어 있는 드레인 영역;상기 소오스 영역과 상기 드레인 영역 사이에 위치하며, 하나의 단결정 또는 다결정 물질을 마스크로 하여 상기 하나의 단결정 또는 다결정 물질에 조사된 전자선이 상기 하나의 단결정 또는 다결정을 통과한 투과전자선과 회절전자선의 간섭에 의해 형성된 상기 하나의 단결정 또는 다결정 물질의 격자이미지로부터의 패턴을 사용하여 형성된 상기 반도체 기판 영역상의 양자점층을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자
6 6
기능성소자에 있어서,결정구조를 가지는 하나의 단결정 또는 다결정 물질을 챔버에 위치시키는 단계;상기 물질에 전자선을 조사시키는 단계;기판상에 위치하는 양자점 또는 양자선을 형성할 양자층의 상부에 전자빔 감광물질의 표면에 상기 전자선을 조사시킨 상기 하나의 단결정 또는 다결정 물질물질을 통과한 투과전자선과 회절전자선의 간섭에 의해 형성된 상기 하나의 단결정 또는 다결정 물질의 격자이미지 패턴을 형성하는 단계;상기 감광물질을 패터닝하는 단계;상기 양자층을 식각하여 양자점 또는 양자선을 형성하는 단계에 의해서 형성된 양자점 또는 양자선을 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 소자
7 7
제6항에 있어서, 상기 기능성 소자는 반도체 소자 또는 광소자임을 특징으로 하는 기능성 소자
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP01350264 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 JP16518277 JP 일본 FAMILY
3 US06767771 US 미국 FAMILY
4 US20030052342 US 미국 FAMILY
5 US20040209415 US 미국 FAMILY
6 WO2002056354 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP1350264 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
2 EP1350264 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 JP2004518277 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP2004518277 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 JP2004518277 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 US2003052342 US 미국 DOCDBFAMILY
7 US2004209415 US 미국 DOCDBFAMILY
8 US6767771 US 미국 DOCDBFAMILY
9 WO02056354 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
10 WO02056354 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.