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1
서로 이격된 캐소드와 애노드; 및
상기 캐소드와 상기 애노드를 연결하는 퓨즈 링크;를 구비하며,
상기 퓨즈 링크는 적층된 적어도 두 개의 금속층을 포함하고,
상기 적어도 두 개의 금속층 중 블로잉(blowing)되는 금속층의 수는 상기 퓨즈 링크에 인가되는 전압의 세기 및 인가 시간 중 어느 하나에 따라 달라지는 전기적 퓨즈 소자
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2
제 1 항에 있어서,
상기 퓨즈 링크는 제1하부금속층; 및
상기 제1하부금속층 상에 제1상부금속층;을 포함하는 전기적 퓨즈 소자
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3
제 2 항에 있어서,
상기 제1하부금속층과 상기 제1상부금속층은 서로 다른 전기저항을 갖는 전기적 퓨즈 소자
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4
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 제1하부금속층과 상기 제1상부금속층은 서로 다른 녹는점을 갖는 전기적 퓨즈 소자
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5
제 2 항에 있어서,
상기 제1하부금속층과 상기 제1상부금속층 중 하나는 W, Al, Cu, Ag, Au 및 Pt 중 하나를 포함하는 전기적 퓨즈 소자
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6
제 5 항에 있어서,
상기 제1하부금속층과 상기 제1상부금속층 중 다른 하나는 Ti, TiN, Ta, TaN, TiSi, TaSi, TiSiN, TaSiN, TiAl3 및 TiON 중 하나를 포함하는 전기적 퓨즈 소자
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7
제 2 항에 있어서,
상기 제1하부금속층과 상기 제1상부금속층 중 하나는 Ti, TiN, Ta, TaN, TiSi, TaSi, TiSiN, TaSiN, TiAl3 및 TiON 중 하나를 포함하는 전기적 퓨즈 소자
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8
제 2 항에 있어서,
상기 퓨즈 링크는 상기 제1하부금속층 아래에 제2하부금속층을 더 포함하는 전기적 퓨즈 소자
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9
제 8 항 있어서,
상기 제1하부금속층, 상기 제2하부금속층 및 상기 제1상부금속층 중 적어도 두 개는 서로 다른 전기저항을 갖는 전기적 퓨즈 소자
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10
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
상기 제1하부금속층, 상기 제2하부금속층 및 상기 제1상부금속층 중 적어도 두 개는 서로 다른 녹는점을 갖는 전기적 퓨즈 소자
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11
제 8 항에 있어서,
상기 제1하부금속층, 상기 제2하부금속층 및 상기 제1상부금속층 중 하나는 W, Al, Cu, Ag, Au 및 Pt 중 하나를 포함하는 전기적 퓨즈 소자
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12
제 11 항에 있어서,
상기 제1하부금속층, 상기 제2하부금속층 및 상기 제1상부금속층 중 다른 하나는 Ti, TiN, Ta, TaN, TiSi, TaSi, TiSiN, TaSiN, TiAl3 및 TiON 중 하나를 포함하는 전기적 퓨즈 소자
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13
제 12 항에 있어서,
상기 제1하부금속층, 상기 제2하부금속층 및 상기 제1상부금속층 중 또 다른 하나는 Ti, TiN, Ta, TaN, TiSi, TaSi, TiSiN, TaSiN, TiAl3 및 TiON 중 하나를 포함하는 전기적 퓨즈 소자
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14
제 2 항 또는 제 8 항에 있어서,
상기 퓨즈 링크는 상기 제1상부금속층 상에 적어도 하나의 다른 금속층을 더 포함하는 전기적 퓨즈 소자
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15
제 14 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 다른 금속층은 ARC층(anti-reflective coating layer)인 전기적 퓨즈 소자
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16
제 14 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 다른 금속층은 Ti, TiN, Ta, TaN, TiSi, TaSi, TiSiN, TaSiN, TiAl3 및 TiON 중 적어도 하나를 포함하는 단층 또는 다층 구조를 갖는 전기적 퓨즈 소자
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17
캐소드와 애노드 사이에 퓨즈 링크를 구비하고, 상기 퓨즈 링크는 적층된 적어도 두 개의 금속층을 포함하는 전기적 퓨즈 소자의 동작방법에 있어서,
상기 적어도 두 개의 금속층 중 적어도 하나를 블로잉(blowing)시키는 단계;를 포함하는 전기적 퓨즈 소자의 동작방법
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18
제 17 항에 있어서,
상기 캐소드와 상기 애노드 사이에 인가하는 전압이 일정할 때, 상기 전압의 인가 시간에 따라 상기 적어도 두 개의 금속층 중 블로잉되는 금속층의 개수가 결정되는 전기적 퓨즈 소자의 동작방법
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19
제 17 항에 있어서,
상기 캐소드와 상기 애노드 사이에 인가하는 전압의 세기에 따라 상기 적어도 두 개의 금속층 중 블로잉되는 금속층의 개수가 결정되는 전기적 퓨즈 소자의 동작방법
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20
제 17 항에 있어서,
상기 적어도 두 개의 금속층 중 적어도 두 개는 서로 다른 전기저항을 갖는 전기적 퓨즈 소자의 동작방법
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21
제 17 항 또는 제 20 항에 있어서,
상기 적어도 두 개의 금속층 중 적어도 두 개는 서로 다른 녹는점을 갖는 전기적 퓨즈 소자의 동작방법
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