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반도체의 전기적 특성과 신뢰성 검사장치

  • 기술번호 : KST2015160510
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체의 전기적 특성과 신뢰성을 프로빙하는 반도체의 전기적 특성과 신뢰성 검사장치에 관한 것이다.본 발명의 주요한 기술적 구성은, 검사대상 반도체(DUT)를 상대로 복수 개가 구비되는 머니퓰레이터; 상기 복수 개의 머니퓰레이터에 각각 장착되며 상기 DUT의 전기적 특성 탐지를 위한 팁이 구비된 프로브; 상기 복수 개의 머니퓰레이터에 각각 설치되어 상기 DUT를 상대로 해당 프로브를 변위시키는 위상제어수단을 포함하여 이루어진다.본 발명은 개별 조작되는 복수 개의 머니퓰레이터를 구비함에 따라 여러 개의 DUT에 대한 전기적 특성 및 그에 따른 신뢰성 검사를 매우 신속하고 용이하게 수행할 수 있고, 개개의 머니퓰레이터에 구비된 위상제어수단에 의해 DUT의 패드 또는 해당 패드의 검사대상 부분에 대한 프로브 팁의 위치 설정이 용이하여, 작업 효율이 크게 향상되는 효과가 있다. 또, 본 발명은 복수 개의 머니퓰레이터 각각이 개별적으로 구비하고 있는 프로브에 의해 DUT의 검사를 수행하게 되므로, 단일 프로브로 여러 개의 DUT에 대한 검사를 수행하는 종래의 경우에 비하여 프로브 팁의 교체 빈도를 줄일 수 있어 경제적인 면에서 매우 유리한 효과가 기대된다. 또한, 본 발명은 다양한 종류의 DUT를 상대로 검사를 수행할 수 있는 범용성을 가지므로 경제적인 면에서 매우 유리한 효과가 있다.반도체, 전기적 특성, 검사, 멀티-머니퓰레이터, 프로브
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01R 1/06733(2013.01) G01R 1/06733(2013.01)
출원번호/일자 1020070016963 (2007.02.20)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-0864416-0000 (2008.10.14)
공개번호/일자 10-2008-0077441 (2008.08.25) 문서열기
공고번호/일자 (20081020) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.02.20)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주영창 대한민국 서울 강남구
2 황상수 대한민국 서울 관악구
3 이신복 대한민국 서울 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고길수 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **, *층 (서초동)(정석국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2007-0148879-75
2 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2007.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2007-0151851-79
3 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)		 2007.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2007-0628623-20
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.12.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.01.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0000456-38
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0030200-09
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5015497-73
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.03.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0204585-95
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2008-0204586-30
10 등록결정서
Decision to grant		 2008.07.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0381179-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
DUT를 상대로 복수 개가 구비되는 머니퓰레이터;상기 복수 개의 머니퓰레이터에 각각 장착되며, 상기 DUT의 전기적 특성과 신뢰성 탐지를 위한 팁이 구비된 프로브; 및상기 복수 개의 머니퓰레이터에 각각 설치되어 상기 DUT를 상대로 해당 프로브를 변위시키는 위상제어수단을 포함하며, 상기 위상제어수단은, 상기 DUT를 상대로 상기 프로브를 x축과 y축 및 z축 방향으로 각각 변위시키는 x축 제어부와 y축 제어부 및 z축 제어부를 포함하여 이루어지고, 상기 x축 제어부는, 상기 DUT를 상대로 일군의 프로브들이 동시에 x축 방향으로 변위될 수 있도록, 상기 일군의 프로브들이 장착된 각각의 머니퓰레이터들에 의해 공유된 것을 특징으로 하는 반도체의 전기적 특성과 신뢰성 검사장치
2 2
제1항에 있어서,상기 머니퓰레이터는, 머니퓰레이터가 설치될 부위에 고정이 되는 베이스; 상기 DUT에 대해 x축 방향으로 미세 이동할 수 있도록 상기 베이스에 설치되는 제1가동부; 상기 DUT에 대해 y축 방향으로 미세 이동할 수 있도록 상기 제1가동부에 설치되는 제2가동부; 상기 DUT에 대해 z축 방향으로 미세 이동할 수 있도록 상기 제2가동부에 설치되는 제3가동부를 포함하여 이루어지며,상기 프로브의 변위는 상기 제1∼제3가동부의 미세 이동에 따라 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체의 전기적 특성과 신뢰성 검사장치
3 3
제2항에 있어서,상기 위상제어수단은,상기 제1가동부와 제2가동부 및 제3가동부 각각의 미세 이동을 제어하는 x축 제어부와 y축 제어부 및 z축 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체의 전기적 특성과 신뢰성 검사장치
4 4
제2항에 있어서,상기 머니퓰레이터는 상기 제3가동부에 설치되어 상기 DUT를 상대로 선회할 수 있게 되는 제4가동부를 더 포함하여 이루어지고, 상기 프로브는 상기 제4가동부의 선회에 따라 선회하는 것을 특징으로 하는 반도체의 전기적 특성과 신뢰성 검사장치
5 5
제4항에 있어서,상기 위상제어수단은,상기 제4가동부의 선회 각도를 제어하는 선회각 제어부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체의 전기적 특성과 신뢰성 검사장치
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서,상기 위상제어수단은,상기 DUT를 상대로 상기 프로브의 선회 각도를 제어하는 선회각 제어부를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체의 전기적 특성과 신뢰성 검사장치
8 8
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.