맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

수소센서 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015160217
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 저농도의 수소 농도를 측정하기에 적합한 수소센서 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명에 따른 수소센서의 제조방법은 (a) 기판(110) 상에 제1 및 제2 전극(120, 130)을 형성하는 단계; (b) 제1 및 제2 전극(120, 130)간에 전압을 인가하여 나노선(160)을 형성하는 단계; 및 (c) 나노선(160) 상에 반응막(170)을 형성하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면, 기존의 벌크 및 박막 형태의 저항형 수소센서보다 응답 시간, 민감도 및 내구성(박리 현상 감소)이 향상되고, 아울러 제조 과정이 간단하여 제조 비용의 절감과 수율의 향상을 도모할 수 있는 수소센서의 제조가 가능하다. 수소센서, 저항형 수소센서, 나노선
Int. CL G01N 27/12 (2006.01) G01N 27/00 (2006.01)
CPC G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01)
출원번호/일자 1020080065702 (2008.07.07)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-0990815-0000 (2010.10.22)
공개번호/일자 10-2010-0005607 (2010.01.15) 문서열기
공고번호/일자 (20101029) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.07.07)
심사청구항수 11

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주영창 대한민국 서울 강남구
2 이신복 대한민국 서울 관악구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김한 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2008-0489556-21
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.03.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.04.14 수리 (Accepted) 9-1-2009-0023793-27
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.08.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0343463-00
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.10.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-0656064-02
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.10.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0656092-70
7 등록결정서
Decision to grant		 2010.10.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0459848-16
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 기판 상에 제1 및 제2 전극을 형성하는 단계; (b) 상기 제1 및 제2 전극간에 전압을 인가하여 나노선을 형성하는 단계; 및 (c) 상기 나노선 상에 반응막을 형성하는 단계 를 포함하며, 상기 (b) 단계에서 전압 인가 전에 상기 제1 및 제2 전극 중 적어도 하나의 전극 상에 물을 적하하는 것을 특징으로 하는 수소센서의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 전극은 은(Ag)을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소센서의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 전극간의 간격은 50㎛ 내지 500㎛의 범위인 것을 특징으로 하는 수소센서의 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 (b)에서 인가되는 전압은 0
5 5
제1항에 있어서, 상기 나노선은 은(Ag)을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소센서의 제조방법
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 전극 상에 절연성 캡을 설치하는 것을 특징으로 하는 수소센서의 제조방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 물에는 NaCl, Na2SO4, NaBr, NaF 중 적어도 하나 이상의 나노선 성장 제어물질을 첨가하는 것을 특징으로 하는 수소센서의 제조방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 반응막은 팔라듐(Pd)막인 것을 특징으로 하는 수소센서의 제조방법
10 10
제9항에 있어서, 상기 팔라듐막의 형성방법은 열증착법, 전자빔 증착법, 스퍼터링법 및 전기도금법을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소센서의 제조방법
11 11
제10항에 있어서, 상기 팔라듐막의 두께는 10㎛ 내지 500㎛의 범위인 것을 특징으로 하는 수소센서의 제조방법
12 12
제1항 내지 제5항, 제7항 내지 제11항 중 어느 한 항의 방법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 수소센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.