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1
프로그래밍을 위해 예비 가열되는 영역을 갖는 퓨즈; 및
상기 퓨즈에 프로그래밍 전류를 인가하기 위한 전류 인가수단;을 포함하는 퓨즈소자
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2
제 1 항에 있어서,
상기 퓨즈의 상기 예비 가열되는 영역 상에 다른 부분보다 얇은 절연층이 구비된 퓨즈소자
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3
제 1 항에 있어서, 상기 전류 인가수단은,
상기 퓨즈에 연결된 구동소자; 및
상기 구동소자와 연결된 전원;을 포함하는 퓨즈소자
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4
제 3 항에 있어서,
상기 구동소자와 상기 전원은 상기 구동소자에 접촉된 도전성플러그 및 상기 도전성플러그와 접촉된 배선을 포함하는 연결구조체에 의해 연결되고,
상기 퓨즈는 상기 배선과 동일 높이 또는 그보다 낮은 높이로 구비된 퓨즈소자
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5
제 1 항에 있어서,
상기 퓨즈는 금속 및 실리사이드 중 적어도 하나를 포함하는 퓨즈소자
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6
제 1 항에 있어서,
다수의 상기 퓨즈가 일렬로 평행하게 배열되고,
상기 각 퓨즈의 상기 예비 가열되는 영역과 그들 사이의 영역 상에 다른 부분보다 얇은 절연층이 구비된 퓨즈소자
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7
퓨즈를 가열하는 단계; 및
상기 가열된 퓨즈에 프로그래밍 전류를 인가하는 단계;를 포함하는 퓨즈소자의 동작방법
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8
제 7 항에 있어서,
상기 퓨즈는 광(light)을 이용하여 가열하는 퓨즈소자의 동작방법
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9
제 8 항에 있어서,
상기 퓨즈에 상기 광을 정 포커싱시키거나 아웃 포커싱시켜 상기 퓨즈를 가열하는 퓨즈소자의 동작방법
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10
제 7 항에 있어서,
상기 퓨즈의 가열영역 상에 다른 부분보다 얇은 절연층이 구비되고,
상기 가열영역 위쪽에 상기 퓨즈의 가열을 위한 가열수단이 구비되는 퓨즈소자의 동작방법
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11
제 7 항에 있어서,
상기 퓨즈는 다수 개로 배열되고,
상기 다수의 퓨즈 중 적어도 한 개를 가열하며,
상기 가열된 퓨즈 중 선택된 적어도 하나에 상기 프로그래밍 전류를 인가하는 퓨즈소자의 동작방법
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12
제 11 항에 있어서,
상기 다수의 퓨즈 중 적어도 두 개를 동시에 가열하는 퓨즈소자의 동작방법
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