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소정의 기기 또는 부품 등으로부터 발생하는 열을 열교환을 통하여 외부로 방출하는 방열판에 있어서, 상기 방열판의 표면 상에 구리도금으로 형성된 마이크로-나노 구리 구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 방열판
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제 1 항에 있어서, 상기 마이크로-나노 구리 구조물 상에 구리산화물 나노와이어 또는 구리 나노와이어가 성장된 것을 특징으로 하는 방열판
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구리로 이루어진 방열판을 성형하는 단계; 상기 방열판을 구리 소스와 함께 도금액이 채워진 도금조에 담그는 단계; 및 상기 구리 소스 및 방열판에 전원을 인가하여 상기 방열판 상에 마이크로-나노 구리 구조물을 형성하는 단계를 포함하는 방열판 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 도금액은 황산구리, 황산, 염산으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 방열판 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 구리 소스 및 방열판에 전원을 인가하는 방법은 펄스전압, 직류전압, 또는 이들을 번갈아 인가하는 것을 특징으로 하는 방열판 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 마이크로-나노 구리 구조물 상에 구리 산화물 나노와이어를 성장시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방열판 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 구리산화물 나노와이어의 성장은, 100℃ 이하의 저온에서 구리 표면을 산화 용액과 접촉시켜 기판 표면에 구리 산화물 나노와이어들을 성장시킨 것을 특징으로 하는 방열판 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 산화 용액은 아염소산나트륨 수용액과 수산화나트륨 수용액의 혼합액인 것을 특징으로 하는 방열판 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 산화 용액은 인산삼나트륨 수용액을 더 포함하는 것을 혼합액인 것을 특징으로 하는 방열판 제조방법
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10
제 7 항에 있어서, 상기 구리산화물 나노와이어들의 길이를 늘리기 위하여 구리 소스와 구리 기판에 전기장을 걸어주며, 상기 산화 용액에 잉여의 구리 이온을 주입한 것을 특징으로 하는 방열판 제조방법
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제 6 항에 있어서, 기판 표면에 구리 산화물 나노와이어들을 성장시킨 후에, 상기 구리산화물 나노와이어들을 구리 나노와이어들로 환원시킨 것을 특징으로 하는 방열판 제조방법
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제 11 항에 있어서, 상기 구리산화물 나노와이어들의 구리 나노와이어들로의 환원은, 상기 구리산화물 나노와이어들에 450℃ 이하의 온도에서 수소 환원가스를 공급하여 상기 구리산화물 나노와이어들을 구리 나노와이어들로 환원시킨 것을 특징으로 하는 방열판 제조방법
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13
제 11 항에 있어서, 상기 구리산화물 나노와이어들의 구리 나노와이어들로의 환원은, 상기 구리산화물 나노와이어들에 450℃ 이하의 온도에서 수소 환원가스 플라즈마를 공급하여 상기 구리산화물 나노와이어들을 구리 나노와이어들로 환원시킨 것을 특징으로 하는 방열판 제조방법
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