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나노구조의 기능성 복합재료의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015160574
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 집속 이온빔(FIB: focused ion beam)을 조사하여 나노 구조의 기능성 복합재료를 제조하는 방법에 관한 것으로, 기판 상에 어느 한 프리커서 가스(precursor gas)를 상기 집속 이온빔으로 증착하여 제 1 증착부를 형성하는 제 1 단계; 및 상기 제 1 단계에 의하여 증착된 제 1 증착부의 일측면 또는 상측면에 다른 프리커서 가스를 증착하여 제 2 증착부를 형성하는 제 2 단계를 포함하여, 상기 기판 상에 상이한 프리커서 가스를 상호 인접되거나 상하 적층되도록 하여 복합 재료를 형성하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 통하여 향상된 기계적·전기적 물성을 갖는 나노구조의 기능성 복합재료를 얻을 수 있다. 나노 구조, 집속 이온빔, 프리커서 가스, 증착, 복합재료
Int. CL B82Y 30/00 (2011.01) B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01)
출원번호/일자 1020080009114 (2008.01.29)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단, 서울과학기술대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0083128 (2009.08.03) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.29)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구
2 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안성훈 대한민국 경기 성남시 분당구
2 장동영 대한민국 서울 송파구
3 김충수 대한민국 서울 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양광남 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)
2 연무식 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2008-0075103-19
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.12.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0521985-27
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2010.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2010-0105052-86
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2010.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2010-0170514-81
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2010.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2010-0247699-91
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2010-0318158-56
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.05.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0318163-85
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.09.10 수리 (Accepted) 4-1-2010-5170442-78
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2010.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0435875-87
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.10.15 수리 (Accepted) 4-1-2010-5191552-28
11 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2010.11.01 수리 (Accepted) 7-1-2010-0045244-44
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2015-5084292-58
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5111449-53
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
집속 이온빔(FIB: focused ion beam)을 조사하여 나노 구조의 복합 재료를 가공하는 방법에 있어서, 기판 상에 어느 한 프리커서 가스(precursor gas)를 상기 집속 이온빔으로 증착하여 제 1 증착부를 형성하는 제 1 단계; 및 상기 제 1 단계에 의하여 증착된 제 1 증착부의 일측면 또는 상측면에 다른 프리커서 가스를 증착하여 제 2 증착부를 형성하는 제 2 단계를 포함하여, 상기 기판 상에 상이한 프리커서 가스를 상호 인접되거나 상하 적층되도록 하여 복합 재료를 형성하는 것을 특징으로 하는 나노구조의 기능성 복합재료의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 프리커서 가스는 탄소(C), 텅스텐(T) 또는 백금(Pt)인 것을 특징으로 하는 나노구조의 기능성 복합재료의 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 증착부는 다층 구조를 갖도록 기판의 수직방향으로 적층된 것을 특징으로 나노구조의 기능성 복합재료의 제조방법
4 4
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 각 증착부는 증착 두께가 상이하도록 형성된 것을 특징으로 하는 나노구조의 기능성 복합재료의 제조방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 각 증착부은 상호 결합된 복수의 영역으로 구분되며, 각 영역에 서로 다른 프리커서 가스가 증착되어 있는 것을 특징으로 하는 나노구조의 기능성 복합재료의 제조방법
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 각 영역은 증착 두께가 상이하도록 형성된 것을 특징으로 하는 나노구조의 기능성 복합재료의 제조방법
7 7
제 3 항에 있어서, 상기 각 증착부는 사각형 또는 원형으로 형성되어 적층된 것을 특징으로 하는 나노구조의 기능성 복합재료의 제조방법
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 각 증착부은 내부에 사각형 또는 원형의 중공이 형성되도록 증착되는 것을 특징으로 하는 나노구조의 기능성 복합재료의 제조방법
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 각 증착부에 형성된 중공에는 상기 각 증착부을 형성하는 프리커서 가스와 서로 다른 프리커서 가스로 증착되는 것을 특징으로 하는 나노구조의 기능성 복합재료의 제조방법
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 각 증착부는 소정의 각도로 경사면이 형성된 시편 홀더를 사용하여 상기 시편홀더를 시계방향 또는 반시계 방향으로 회전시키며 증착된 것을 특징으로 하는 나노구조의 기능성 복합재료의 제조방법
11 11
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 항의 방법으로 제조된 나노 구조의 복합 재료를 열처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노구조의 기능성 복합재료의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.