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실리콘 콘택터 및 그 표면 처리 방법

  • 기술번호 : KST2015174171
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 실리콘 콘택터 및 그 표면 처리 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 도전성 분말의 이탈을 억제하여 도전패턴의 도전성이 상실되는 것을 방지할 수 있는 실리콘 콘택터 및 그 표면 처리 방법에 관한 것이다. 반도체 소자의 단자와 상기 반도체 소자의 양불을 테스트하기 위한 검사회로기판 사이에 설치되어 상기 반도체 소자 단자와 상기 검사회로기판 사이의 전기적 접속을 중계하는 반도체 소자 테스트용 실리콘 콘택터에 있어서, 절연성 실리콘 소재로 이루어진 메인 본체와, 상기 메인 본체의 상하를 연결하여 형성되며, 도전성 분말을 포함하는 도전패턴을 구비하는 본체를 포함하되, 상기 도전패턴의 상부 또는 하부 중 적어도 하나를 덮은 상태로 상기 메인 본체에 부착되어 상기 도전패턴을 이루는 상기 도전성 분말의 이탈을 방지하는 메쉬를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 콘택터를 제공한다. 본 발명에 의하면 도전패턴에 함유된 도전성 분말의 이탈 및 도전패턴의 마모를 방지하여 반도체 소자의 단자와 도전패턴 사이에 양호한 통전상태가 이루어지도록 할 수 있다는 효과가 있다. 반도체, 테스트, 콘택터, 실리콘, 인쇄회로기판
Int. CL H01L 21/66 (2014.01) G01R 31/26 (2014.01) G01R 1/067 (2014.01)
CPC G01R 31/2863(2013.01) G01R 31/2863(2013.01) G01R 31/2863(2013.01) G01R 31/2863(2013.01) G01R 31/2863(2013.01)
출원번호/일자 1020090018164 (2009.03.03)
출원인 광주과학기술원, 에이케이이노텍주식회사
등록번호/일자 10-1029826-0000 (2011.04.11)
공개번호/일자 10-2010-0099598 (2010.09.13) 문서열기
공고번호/일자 (20110415) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.03.03)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
2 주식회사 엠에스엘 대한민국 충청남도 천안시 동남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문해중 대한민국 서울 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인우인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 중평빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엠에스엘 충청남도 천안시 동남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2009-0131288-84
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2009.03.09 수리 (Accepted) 1-1-2009-0142898-72
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.26 수리 (Accepted) 4-1-2009-0026172-04
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.02.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.03.18 수리 (Accepted) 9-1-2010-0017799-28
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0542461-76
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.01.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0029903-09
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.01.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0029904-44
9 등록결정서
Decision to grant		 2011.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0171813-87
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.11 수리 (Accepted) 4-1-2011-5071087-52
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2011-5256205-93
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.10.16 수리 (Accepted) 4-1-2013-0048075-16
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.15 수리 (Accepted) 4-1-2014-5007669-94
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.15 수리 (Accepted) 4-1-2014-5007695-71
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.08.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5129456-18
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.12.05 수리 (Accepted) 4-1-2017-5198050-81
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체 소자의 단자와 상기 반도체 소자의 양불을 테스트하기 위한 검사회로기판 사이에 설치되어 상기 반도체 소자 단자와 상기 검사회로기판 사이의 전기적 접속을 중계하는 반도체 소자 테스트용 실리콘 콘택터에 있어서, 절연성 실리콘 소재로 이루어진 메인 본체(24)와, 상기 메인 본체(24)의 상하를 연결하여 형성되며, 도전성 분말을 포함하는 도전패턴(26)을 구비하는 본체(20)를 포함하며, 상기 도전패턴(26)의 상부 또는 하부 중 적어도 하나를 덮은 상태로 상기 메인 본체(24)에 부착되어 상기 도전패턴(26)을 이루는 상기 도전성 분말의 이탈을 방지하는 메쉬(30)를 더 포함하되, 상기 메쉬(30)는 비도전성 재질로 형성되고, 상기 메쉬(30)의 격자공에는 메쉬 충진용 도전성 분말이 삽입 고착되는 것을 특징으로 하는 실리콘 콘택터
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 비도전성 재질은 폴리에스터인 것을 특징으로 하는 실리콘 콘택터
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 도전패턴(26)은 실리콘 소재와 상기 도전성 분말이 혼합된 도전 혼합물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 콘택터
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 도전성 분말은 니켈 분말, 은 분말, 금 분말 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 실리콘 콘택터
7 7
반도체 소자의 단자와 상기 반도체 소자의 양불을 테스트하기 위한 검사회로기판 사이에 설치되어 상기 반도체 소자 단자와 상기 검사회로기판 사이의 전기적 접속을 중계하는 실리콘 콘택터의 표면 처리 방법에 있어서, (a) 절연성 실리콘 소재로 이루어진 메인 본체(24)와, 상기 메인 본체(24)의 상하를 연결하여 형성되며, 도전성 분말을 포함하는 도전패턴(26)을 구비하는 본체(20)를 형성하는 단계; (b) 상기 본체(20)의 일측면에 도전성을 갖는 메쉬(30)를 부착하는 단계; 및 (c) 서로 인접한 상기 도전패턴(26)들이 상기 메쉬(30)를 통해 통전되지 않도록 상기 부착된 메쉬(30)를 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 콘택터의 표면 처리 방법
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 메쉬(30)는 비도전성 재질로 형성되고, 상기 (c) 단계는 (c1) 상기 부착된 메쉬(30)의 상부에 메쉬 충진용 도전성 분말을 도포하는 단계; (c2) 상기 메쉬 충진용 도전성 분말이 도포된 메쉬(30)를 압착하는 단계; 및 (c3) 서로 인접한 상기 도전패턴(26)들이 상기 메쉬(30)를 통해 통전되지 않도록 상기 부착된 메쉬(30)를 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 콘택터의 표면 처리 방법
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