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톱니 모양 격자 형성 방법 및 이를 사용한 회절 광학 소자 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014008142
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 직선형의 톱니 모양을 구현할 수 있는 톱니 모양 격자 형성 방법 및 이를 사용한 회절 광학 소자 제조방법이 개시되어 있다. 회절 광학 소자 제조방법은 기판 상에 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계, 포토레지스트 패턴을 구비하는 기판에 하기 수학식을 만족하는 각도로 식각빔을 조사하는 단계, 식각빔을 조사하여 포토레지스트 패턴 및 기판을 식각하는 단계, 포토레지스트 패턴 및 기판을 식각하여 표면에 격자를 갖는 금형을 형성하는 단계 및 금형을 사용하여 표면에 격자를 갖는 수지 기판을 성형하는 단계를 포함한다. 따라서, 직선형의 톱니 모양을 구현함으로써 회절격자의 효율이 향상된 톱니 모양 수지 기판을 제조할 수 있다. 003c#수학식003e# 톱니 격자, E-beam, 고속원자빔, 수지기판, 패터닝
Int. CL G02B 5/18 (2006.01)
CPC G02B 5/1857(2013.01) G02B 5/1857(2013.01) G02B 5/1857(2013.01) G02B 5/1857(2013.01)
출원번호/일자 1020080016241 (2008.02.22)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-0934541-0000 (2009.12.21)
공개번호/일자 10-2009-0090781 (2009.08.26) 문서열기
공고번호/일자 (20091229) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.02.22)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이차범 대한민국 광주광역시 북구
2 이선규 대한민국 광주광역시 북구
3 주재영 대한민국 광주광역시 북구
4 우도균 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 프리미스 서울특별시 송파구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2008-0132869-34
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.01.14 수리 (Accepted) 9-1-2009-0002903-27
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0179411-64
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2009.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2009-0380706-41
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2009.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2009-0380679-06
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.07.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0460306-46
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.07.28 수리 (Accepted) 1-1-2009-0460296-77
9 등록결정서
Decision to grant		 2009.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0489777-96
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 패턴이 형성된 기판을 하기 수학식을 만족시키는 각도로 기울이는 단계; 및 상기 기판 및 상기 포토레지스트 패턴 상에 고속원자빔을 조사하여 격자를 형성하는 단계를 포함하는 격자 형성 방법: 003c#수학식003e# 상기 수학식에서, θ는 기판의 법선과 식각빔이 이루는 각, P는 회절격자의 주기, F는 하나의 주기에서 포토레지스트가 차지하는 비율, h는 포토레지스트의 높이를 나타낸다
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 고속원자빔은 직진성을 갖는 것을 특징으로 하는 격자 형성 방법
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 고속원자빔은 상기 기판과 상기 포토레지스트 패턴에 대해 1:1의 식각 선택비를 갖는 것을 특징으로 하는 격자 형성 방법
4 4
삭제
5 5
기판 상에 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 패턴이 형성된 기판을 하기 수학식을 만족시키는 각도로 기울이는 단계; 상기 기판 및 상기 포토레지스트 패턴 상에 고속원자빔을 조사하여 톱니모양의 격자로 구성된 금형을 형성하는 단계; 및 상기 금형을 사용하여 표면에 톱니모양의 격자를 갖는 수지 기판을 성형하는 단계를 포함하는 회절 광학 소자 제조 방법: 003c#수학식003e# 상기 수학식에서, θ는 기판의 법선과 식각빔이 이루는 각, P는 회절격자의 주기, F는 하나의 주기에서 포토레지스트가 차지하는 비율, h는 포토레지스트의 높이를 나타낸다
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 수지 기판은 PMMA(poly-methyl methacrylate) 기판인 것을 특징으로 하는 회절 광학 소자 제조 방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계는 상기 기판 상에 제1 포토레지스트층을 형성하는 단계; 상기 제1 포토레지스트층 상에 접착층을 형성하는 단계; 상기 접착층 상에 제2 포토레지스트층을 형성하는 단계; 및 상기 제2 포토레지스트층, 상기 접착층 및 상기 제1 포토레지스트층을 차례로 패터닝하는 단계를 포함하는 격자 형성 방법
8 8
제5항에 있어서, 상기 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계는 상기 기판 상에 제1 포토레지스트층을 형성하는 단계; 상기 제1 포토레지스트층 상에 접착층을 형성하는 단계; 상기 접착층 상에 제2 포토레지스트층을 형성하는 단계; 및 상기 제2 포토레지스트층, 상기 접착층 및 상기 제1 포토레지스트층을 차례로 패터닝하는 단계를 포함하는 회절 광학 소자 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.