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콜로이드 다중 입자층 구조를 이용한 반사 방지막과 이의제조방법

  • 기술번호 : KST2015174594
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 콜로이드 다중 입자층 구조를 이용한 반사 방지막과 이의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판상에 이와는 이종(異種)의 전하를 가지면서 균일한 크기를 가지는 콜로이드 입자를 단층으로 부착시키고, 평판형 스탬프로 콜로이드 입자의 표면에 이종의 전하를 부여한 후, 상기 콜로이드 입자의 표면 상부에 이보다 입자 크기가 작고 균일한 콜로이드 입자를 기판과 수직방향으로 적층시킴으로써, 대표면적이나 곡률을 갖는 기판에도 자유롭게 균일한 도입이 가능하고, 구조 재현 및 조절이 용이하며, 점진적 굴절률 분포를 갖는 미세 표면 요철구조를 저비용으로 제조할 수 있는 콜로이드 다중 입자 구조를 이용한 반사 방지막과 이의 제조방법에 관한 것이다. 다중 입자, 반사 방지막, 콜로이드, 평판형 스탬프
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC H01L 21/0276(2013.01) H01L 21/0276(2013.01)
출원번호/일자 1020040036059 (2004.05.20)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-0577693-0000 (2006.05.01)
공개번호/일자 10-2005-0111037 (2005.11.24) 문서열기
공고번호/일자 (20060510) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.05.20)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동유 대한민국 광주광역시서구
2 구혜영 대한민국 서울특별시강북구
3 박정호 대한민국 울산광역시남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
2 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2004-0213610-12
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.07.27 수리 (Accepted) 4-1-2004-0031183-30
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.08.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2005-0058519-05
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2005.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0600012-77
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.01.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0054690-82
7 의견서
Written Opinion
2006.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2006-0126870-15
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.02.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0126869-79
9 등록결정서
Decision to grant
2006.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0246690-21
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
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번호 청구항
1 1
기판 상부에,상기 기판과 반대의 전하로 하전되어 있으며 입자 크기가 균일한 콜로이드 입자(1)층과, 상기 콜로이드 입자(1)와 반대의 전하로 하전되어 있으며 상기 콜로이드 입자(1) 보다 크기가 작은 콜로이드 입자(2)층이,상기 기판과 수직방향으로 적층되어 다중 입자층 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 점진적인 굴절률 분포를 갖는 반사 방지막
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 콜로이드 입자는 폴리스티렌, 폴리메틸메타크릴레이트, 실리카(SiO2), 이산화티탄(TiO2), 금(Au), 은(Ag) 및 실리콘(Si) 중에서 선택된 입자인 것을 특징으로 하는 점진적인 굴절률 분포를 갖는 반사 방지막
4 4
고분자 전해질 용액에 기판을 반복 침지하여 기판 표면에 양전하 또는 음전하를 도입하는 제 1 단계; 상기 양전하 또는 음전하가 도입된 기판을, 균일한 크기를 가지고 있고 기판과는 반대 전하를 띠고 있는 콜로이드 입자가 분산된 용액에 침지하여 상기 콜로이드 입자를 기판에 부착시키는 제 2 단계; 상기 2 단계에서 기판에 부착된 콜로이드 입자의 표면 상부에 평판형 스탬프를 사용하여 콜로이드 입자와 반대의 전하를 전이시키는 제 3 단계; 및 상기 3 단계에서 양전하 또는 음전하가 전이된 콜로이드 입자가 부착된 기판을, 상기 2 단계에서 사용된 콜로이드 입자보다 크기가 작은 콜로이드 입자가 분산된 용액에 침지하여, 큰 콜로이드 입자의 표면 상부에 작은 콜로이드 입자를 부착시키는 제 4 단계 를 포함하는 것임을 특징으로 하는 점진적인 굴절률 분포를 갖는 반사 방지막의 제조방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 제 2 단계 내지 제 4 단계를 반복 수행하여 다중의 콜로이드 입자층을 형성시키는 것을 특징으로 하는 점진적인 굴절률 분포를 갖는 반사 방지막의 제조방법
6 6
제 4 항에 있어서, 상기 제 1 단계에서 양전하를 가지는 고분자는 함질소 고분자인 것임을 특징으로 하는 점진적인 굴절률 분포를 갖는 반사 방지막의 제조방법
7 7
제 4 항에 있어서, 상기 제 1 단계에서 음전하를 가지는 고분자는 카르복시산기, 술폰산기, 질산기 또는 인산기를 함유하는 고분자인 것임을 특징으로 하는 점진적인 굴절률 분포를 갖는 반사 방지막의 제조방법
8 7
제 4 항에 있어서, 상기 제 1 단계에서 음전하를 가지는 고분자는 카르복시산기, 술폰산기, 질산기 또는 인산기를 함유하는 고분자인 것임을 특징으로 하는 점진적인 굴절률 분포를 갖는 반사 방지막의 제조방법
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1 JP04263683 JP 일본 FAMILY
2 JP17331910 JP 일본 FAMILY

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1 JP2005331910 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP4263683 JP 일본 DOCDBFAMILY
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