1 |
1
기판 상에, n-형 질화갈륨층, 일반식(I)의 질화인듐갈륨으로 형성된 우물과 질화갈륨, 질화알루미늄갈륨 및 일반식(II)의 질화인듐갈륨으로 이루어진 군으로부터 선택된 물질로 형성된 장벽을 포함하는 양자우물 구조의 2가지 이상의 조합, 및 p-형 질화갈륨층을 차례로 포함하는 백색 발광 다이오드: 화학식 1 InxGa1-xN (I) 화학식 2 InyGa1-yN (II) 상기 식에서, x 및 y는 각각 0 보다 크고 1보다 작은 수이며, 단, y는 x보다 작다
|
2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 양자우물 구조의 조합이, In0
|
3 |
3
제 1 항에 있어서, 상기 양자우물 구조의 조합이, In0
|
4 |
4
제 1 항에 있어서, 상기 양자우물 구조가, 두께가 2 내지 7㎚인 질화인듐갈륨 우물 및 두께가 5 내지 10㎚인 장벽으로 이루어진 층을 1 내지 15층 포함하는 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드
|
5 |
5
1) 기판 상에 n-형 질화갈륨층을 형성시키는 단계; 2) 일반식(I)의 질화인듐갈륨 우물층을 형성시키는 단계; 3) 상기 우물층 상에 질화갈륨, 질화알루미늄갈륨 및 일반식(II)의 질화인듐갈륨으로 이루어진 군으로부터 선택된 물질로 장벽을 형성시켜 양자우물 구조를 형성시키는 단계; 선택적으로, 4) 단계 2) 및 3)을 반복하는 단계; 5) 단계 2) 내지 4)를 1회 이상 반복하여 2가지 이상의 양자우물 구조의 조합을 형성시키는 단계; 및 6) p-형 질화갈륨층을 형성시키는 단계를 포함하는 백색 발광 다이오드의 제조방법
|
6 |
6
제 5 항에 있어서, 상기 양자우물 구조가, 두께가 2 내지 7㎚인 질화인듐갈륨 우물 및 두께가 5 내지 10㎚인 장벽으로 이루어진 층을 1 내지 15층 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
|
7 |
7
제 5 항에 있어서, 단계 2)를, 인듐 전구체 1 내지 100 마이크로몰/분, 갈륨 전구체 10 내지 100 마이크로몰/분, 성장속도 0
|