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빛을 발광하는 광원부; 상기 광원부를 구동하는 광원구동기;상기 광원부로부터 받은 빛을 커플링하여 빛을 두 개의 경로로 분리시키며, 그 하나는 제 2 광전변환부로 보내고, 다른 하나는 렌즈 파이버로 보내고, 상기 렌즈 파이버로부터 입력된 빛은 제 1 광전변환부로 보내는 광 커플러; 상기 광 커플러로부터 입력받은 빛을 피검체에 발광하여 상기 피검체로부터 반사된 빛을 다시 상기 광 커플러로 보내는 렌즈 파이버; 상기 광 커플러로부터 입력 받은 빛을 전기 신호로 변환하는 제 1 및 제 2 광전변환부; 및상기 제 1 광전변환부로부터 입력받은 전기 신호를 분석하여, 상기 피검체의 나노 변위를 연산하는 연산부;를 포함하는 광섬유형 피조 간섭계를 이용한 나노 변위 및 표면 형상 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 광원부와 상기 광 커플러 사이, 상기 광 커플러와 상기 렌즈 파이버 사이, 상기 광 커플러와 상기 제 1 광전변환부 사이, 및 상기 광 커플러와 상기 제 2 광전변환부 사이는 광섬유로 연결되는 것을 특징으로 하는, 광섬유형 피조 간섭계를 이용한 나노 변위 및 표면 형상 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 광원부는 레이저 다이오드이고, 상기 제 1 및 제 2 광전변환부는 포토 다이오드인 것을 특징으로 하는 광섬유형 피조 간섭계를 이용한 나노 변위 및 표면 형상 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 피검체가 배치되는 나노 스테이지를 더 구비하는 것을 특징으로 하는, 광섬유형 피조 간섭계를 이용한 나노 변위 및 표면 형상 측정 장치
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제 4 항에 있어서, 상기 연산부의 명령에 따라, 상기 나노 스테이지를 이동시키는 나노 스테이지 구동부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는, 광섬유형 피조 간섭계를 이용한 나노 변위 및 표면 형상 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 피검체와 상기 렌즈 파이버 사이의 거리를 측정하기 위한 동작 거리 측정부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는, 광섬유형 피조 간섭계를 이용한 나노 변위 및 표면 형상 측정 장치
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제 6 항에 있어서, 상기 동작 거리 측정부는, 상기 피검체와 상기 렌즈 파이버 사이를 촬영하는 촬상소자를 더 구비하고, 상기 촬상소자에서 촬영된 이미지를 처리하여 상기 피검체와 상기 렌즈 파이버 간의 거리를 계산하는 것을 특징으로 하는, 광섬유형 피조 간섭계를 이용한 나노 변위 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 렌즈 파이버는, 상기 광섬유 끝단에 직접 렌즈를 가공하여, 광섬유와 렌즈가 일체화된 것을 특징으로 하는, 광섬유형 피조 간섭계를 이용한 나노 변위 및 표면 형상 측정 장치
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제 8 항에 있어서, 상기 렌즈 파이버는, 빔 스팟 크기(Beam spot size)를 줄이고, 샘플 표면에서 반사된 빛의 광섬유로의 결합을 높일 수 있도록 렌즈의 파라미터를 설계한 것 특징으로 하는, 광섬유형 피조 간섭계를 이용한 나노 변위 및 표면 형상 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 광전변환부로부터 입력되는 신호를 기초로 하여 상기 광원구동기를 되먹임 제어하여 상기 광원부의 출력을 안정화시키는 제어기를 더 포함하는, 광섬유형 피조 간섭계를 이용한 나노 변위 및 표면 형상 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 연산부는, 상기 제 1 광전변환부로부터 입력되는 간섭 전기 신호의 피크에서 피크까지의 변위가, 상기 광원부의 빛의 파장의 절반인 경우, 상기 피검체와 상기 렌즈 파이버 사이의 거리가 동작 거리라고 판단하는 것을 특징으로 하는, 광섬유형 피조 간섭계를 이용한 나노 변위 및 표면 형상 측정 장치
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제 11 항에 있어서, 상기 피검체와 상기 렌즈 파이버 사이를 촬영하는 촬상소자; 및 상기 촬상소자에서 촬영된 이미지를 처리하여 상기 피검체와 상기 렌즈 파이버 간의 거리를 계산하는 동작 거리 측정부를 더 구비하고, 상기 연산부에서, 상기 광전변환부로부터 입력되는 간섭 전기 신호의 피크에서 피크까지의 변위가, 상기 광원부의 빛의 파장의 절반인 경우, 상기 피검체와 상기 렌즈 파이버 사이의 거리가 동작 거리라고 판단하는 것을, 상기 동작 거리 측정부의 계산 결과로 검증하는 것을 특징으로 하는, 광섬유형 피조 간섭계를 이용한 나노 변위 및 표면 형상 측정 장치
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