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유기 박막 트랜지스터 전극, 이의 제조방법 및 이를 이용한 표시소자

  • 기술번호 : KST2015197364
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기 박막 트랜지스터 전극, 이의 제조방법 및 이를 이용한 표시소자에 관한 것으로, 특히 유기 박막 트랜지스터의 소스 및 드레인 전극 패턴을 미세하게 형성할 수 있어, 전하 이동도 등 소자의 특성 및 정밀도가 향상된 표시소자를 제공할 수 있다. 본 발명은 게이트 전극; 게이트 절연막; 소스 전극 및 드레인 전극; 및 반도체를 포함하고, 상기 소스 전극 및 드레인 전극은 수계 잉크를 사용하여 형성된 패턴을 갖고, 상기 게이트 절연막은 상부에 소수성 표면 처리층을 포함하는 유기 박막 트랜지스터 전극을 제공한다.
Int. CL H01L 51/10 (2006.01) H01L 51/40 (2006.01) H01L 51/30 (2006.01)
CPC H01L 51/0529(2013.01) H01L 51/0529(2013.01) H01L 51/0529(2013.01) H01L 51/0529(2013.01)
출원번호/일자 1020110110477 (2011.10.27)
출원인 단국대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0046110 (2013.05.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.09.04)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 단국대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 수지구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 진병두 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 윤대건 대한민국 서울특별시 동작구
3 박재균 대한민국 인천시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서만규 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동, 현죽빌딩)(특허법인성암)
2 서경민 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동, 현죽빌딩)(특허법인성암)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0843697-58
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.03.07 수리 (Accepted) 4-1-2012-5047629-25
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2012-0711567-59
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.09.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0711583-80
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.11.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.12.17 수리 (Accepted) 9-1-2013-0103928-87
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.06 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000870-18
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.01.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0020040-18
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.03.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0230373-74
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.03.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-0230371-83
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0426342-02
12 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2014.07.23 수리 (Accepted) 7-1-2014-0027901-60
13 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2014.07.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0721152-74
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-0721151-28
15 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0587848-78
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.10.26 수리 (Accepted) 4-1-2020-5239146-54
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판; 게이트 전극; 게이트 절연막; 소스 전극 및 드레인 전극; 및 반도체를 포함하고,상기 소스 전극 및 드레인 전극은 전도성 수계 잉크를 사용하여 형성된 패턴을 갖고,상기 게이트 절연막은 상부에 소수성 표면 처리층을 포함하는 유기 박막 트랜지스터 전극
2 2
제1항에 있어서,상기 전도성 수계 잉크는 은 나노 입자 잉크인 유기 박막 트랜지스터 전극
3 3
제1항에 있어서,상기 소수성 표면 처리층은 실란계 헥사메틸다이실란 (Hexamethyldisilane; HMDS), 메타크릴록시프로필트리메톡실란(Methacryloxy propyl trimethoxysilane; MPS), 옥타데실트리클로로실란(Octadecyltrichlorosilane; OTS), 플로로알킬트리클로로실란 (Fluoroalkyltrichlorosilane; FTS), 데실트리클로로실란 (Decyltrichlorosilane; DTS)로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하는 유기 박막 트랜지스터 전극
4 4
제1항에 있어서,상기 유기 박막 트랜지스터 전극의 액체 표면 접촉각이 100°~110°인 유기 박막 트랜지스터 전극
5 5
제1항에 있어서,상기 소수성 표면처리층의 두께가 10~50nm인 유기 박막 트랜지스터 전극
6 6
제1항에 있어서,상기 반도체 층은 펜타센[pentacene], 6,13-비스(트리이소프로필실릴에티닐) 펜타센[6,13-bis(triisopropylsilylethynyl) (TIPS) pentacene], 폴리-3-헥실티오펜[poly-3-hexylthiophene, P3HT], 폴리(2-메틸,5-(3',7'-디메틸옥틸옥시))-1,4-페닐렌비닐렌[poly(2-methyl,5-(3',7'-dimethyloctyloxy))-1,4-phenylenevinylene, MDMO-PPV], C60, 및 페닐-C61-뷰티릭엑시드 메틸에스터[[6,6]phenyl-C61-butyric acid methyl ester, PCBM] 로 이루어진 군으로부터 선택된 1 종 이상으로 이루어진 유기 박막 트랜지스터 전극
7 7
제1항에 있어서,상기 기판은 폴리에스터 필름, 폴리이미드 필름, 폴리에테르설폰 (PES) 필름, 폴리카보네이트(polycarbonate), PEN(polyethylene-naphthelate), PET(polye또는 박형 유리인 유기 박막 트랜지스터 전극
8 8
제1항에 있어서,상기 소스 전극 및 드레인 전극의 두께는 10nm ~ 1㎛ 인 유기 박막 트랜지스터 전극
9 9
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 유기 박막 트랜지스터 전극을 이용한 표시소자
10 10
제9항에 있어서,상기 표시소자는 유기발광디스플레이, 전자종이 또는 액정디스플레이로부터 선택되는 표시소자
11 11
기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 기판 상에 상기 게이트 전극을 덮는 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 게이트 절연막 상에 소수성 표면 처리층을 형성하는 단계;상기 소수성 표면 처리층에 수계 잉크로 패턴을 형성하여 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계; 및 상기 게이트 전극과 중첩하게 반도체를 형성하는 단계;를 포함하는 유기 박막 트랜지스터 전극의 제조방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 소스 및 드레인 전극은 은 나노 입자를 포함하는 전도성 수계 잉크를 사용하여 잉크젯 프린팅 방식으로 형성되는 유기 박막 트랜지스터 전극의 제조방법
13 13
제11항에 있어서, 상기 소수성 표면 처리층 형성 단계가 소수성 표면 처리층 구성 물질을 도포한 후 70~90℃에서 20분 동안 1차 열처리 한 후, 용매로 세척하고 70~90℃에서 20 동안 2차 열처리하는 단계를 포함하고, 상기 소수성 표면 처리층 구성 물질이 실란계 헥사메틸다이실란 (Hexamethyldisilane; HMDS), 메타크릴록시프로필트리메톡실란(Methacryloxy propyl trimethoxysilane; MPS), 옥타데실트리클로로실란(Octadecyltrichlorosilane; OTS), 플로로알킬트리클로로실란 (Fluoroalkyltrichlorosilane; FTS), 데실트리클로로실란(Decyltrichlorosilane; DTS)로 이루어진 군으로부터 선택된 1 종 이상인 유기 박막 트랜지스터 전극의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 단국대학교 시스템집적반도체기반기술개발사업 복합프린팅공정 및 이종용액 적층기술 개발(4/4)
2 지식경제부 단국대학교 산학협력단 선진기술국가국제공동기술개발사업 적층형 차세대 유기태양전지 소재 및 소자 개발