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플라즈마 처리, 잉크젯 프린팅 및 기상증착중합법을 이용한 전도성 고분자의 마이크로패턴 형성

  • 기술번호 : KST2014037349
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전도성 고분자를 다양한 지지체 위에 잉크젯 프린팅과 기상증착중합법을 혼용하여 패턴을 자유로이 형성함에 있어 플라즈마 처리라는 간단한 공정을 통하여 지지체의 표면을 개질화하여 보다 우수한 품질의 패턴을 형성할 수 있도록 하는 방법에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명은 중합개시제 용액을 잉크젯 프린팅이 가능하도록 제조하여 원하는 모양으로 프린팅을 함에 있어, 지지체의 표면에 대한 개질화 공정을 통하여 프린팅된 모양과 선폭을 보다 선명하고 섬세하게 구현되게 하여 이에 기상증착중합을 시행하였을때, 보다 우수한 전도성 고분자의 패턴을 현성하는 것에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 전도성 고분자를 잉크젯 프린팅을 통하여 간단하고 빠르게 유연한 지지체의 위에 패턴을 형성하는데 있어서 지지체의 표면을 플라즈마 처리를 통하여 간단하게 개질화하여, 지지체 위에서 끊어진 부분이 없이 폭이 좁고 연속적인 선형 및 면형의 패턴을 구현할 수 있으며, 공정 과정 측면에서 잉크젯 프린팅 공정에 사용되는 중합개시제의 분산 용매로서 물을 사용하고, 기상증착중합과정에 유기화학용매를 전혀 사용하지 않음으로써 친환경적인 공정이라는 장점이 있다. 더욱이, 플라즈마 처리에 있어서, 캐리어 기체의 종류와 전압 및 처리시간 등의 설정을 바꾸어주는 것만으로도 간단히 지지체의 표면에너지를 변화시킬 수 있으므로, 얻어지는 패턴의 최소 선폭과 모양이 형성되는 정도를 조절할 수 있는 장점이 있다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020100130313 (2010.12.17)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0068617 (2012.06.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.17)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장정식 대한민국 서울특별시 관악구
2 장용진 대한민국 서울특별시 관악구
3 조준혁 대한민국 서울특별시 관악구
4 신경환 대한민국 서울특별시 관악구

대리인

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2010-0836191-69
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.10.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.11.18 수리 (Accepted) 9-1-2011-0091672-98
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0293454-51
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2012.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0574788-53
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(A) 유연한 지지체에 플라즈마 처리를 하여 표면에너지를 변화시켜주어 지지체 표면을 개질화하는 단계;(B) 중합개시제를 물에 녹여 잉크젯 프린팅을 할 수 있는 중합개시제용액을 제조하는 단계; 및,(C) 상기의 중합개시제용액을 프린터 헤드에 주입하고 상기의 표면이 개질화된 지지체 위에 컴퓨터 프로그램을 이용하여 잉크젯 프린터로 형성하고자 하는 모양 및 크기로 프린팅 하는 단계; 및,(D) 상기 중합개시제용액이 프린팅된 지지체를 기상증착중합 반응기 내에 위치시키고 형성하고자 하는 전도성 고분자의 단량체와 반응에 참가하는 화학물질을 기화시켜 중합반응을 진행하고 전도성 고분자 패턴을 형성하는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 전도성 고분자의 패터닝 방법
2 2
제 1항에 있어서, 플라즈마 장비를 이용하여 지지체의 표면을 개질화하는 지지체의 종류가 포토용지, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리카보네이트(PC), 폴리이미드(PI) 중에서 한 종류를 사용하는 것을 특징으로 하는 전도성 고분자의 패터닝 방법
3 3
제 1항에 있어서, 플라즈마 장비로 표면을 처리할 때 장비에 인가되는 전압이 100 W 내지 200 W 인 것을 특징으로 하는 전도성 고분자의 패터닝 방법
4 4
제 1항에 있어서, 플라즈마 장비로 표면을 처리하는 시간이 10초 내지 1분인 것을 특징으로 하는 전도성 고분자의 패터닝 방법
5 5
제 1항에 있어서, 플라즈마 장비로 표면을 처리할 때 사용되는 캐리어 기체의 종류가 산소, 질소, 암모니아 기체 중 한 종류를 사용하는 것을 특징으로 하는 전도성 고분자의 패터닝 방법
6 6
제 1항에 있어서, 플라즈마 처리를 거친 지지체 표면에 전도성고분자 패턴을 형성할 때 사용되는 전도성 고분자의 단량체가 피롤, 아닐린, 에틸렌다이옥시싸이오펜 중 한 종류를 사용하는 것을 특징으로 하는 전도성 고분자의 패터닝 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 서울대학교 산학협력단 전자정보디바이스산업원천기술개발 차세대 고성능 유기나노 소재 및 프린팅 공정기술 개발