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트리메틸갈륨(TMGa)의 재활용 방법

  • 기술번호 : KST2015199366
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요약 본 발명에 따른 사용후 TMGa의 재활용 방법은 복수개의 사용후 캐니스터(canister)에 잔존하는 액체 TMGa(trimethylgallium)에 불활성 가스를 유입시켜 상기 액체 TMGa를 각각의 캐니스터로부터 회수하는 TMGa 회수 단계; 상기 액체 TMGa를 가열시킨 상태에서 상기 불활성 가스를 유입시켜 상기 액체 TMGa를 기화시킨 다음, 상기 액체 TMGa의 기화로 발생된 TMGa 가스를 냉각에 의해 액화시켜 정제된 액체 TMGa를 획득하는 TMGa 정제 단계: 정제된 상기 액체 TMGa의 순도 및 화학적 구조를 분석하여 상기 액체 TMGa의의 재활용 여부를 결정하는 TMGa 분석 단계: 및 정제된 상기 액체 TMGa의 분석 결과 기설정값을 만족하여 상기 액체 TMGa의 재활용이 결정된 경우, 상기 액체 TMGa에 불활성 가스를 유입시켜 상기 액체 TMGa를 전처리된 복수개의 캐니스터에 각각 충진하는 TMGa 충진 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC C23C 16/4402(2013.01) C23C 16/4402(2013.01) C23C 16/4402(2013.01)
출원번호/일자 1020120067610 (2012.06.22)
출원인 (주)덕산테코피아, 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1326554-0000 (2013.11.01)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20131107) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.06.22)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 (주)덕산테코피아 대한민국 충남 천안시 동남구
2 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이상섭 대한민국 대전 대덕구
2 신선섭 대한민국 대전 대덕구
3 양영경 대한민국 울산 울주군
4 윤재식 대한민국 대전 유성구
5 양재열 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정수 대한민국 서울시 송파구 올림픽로 ***(방이동) *층(이수국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)덕산테코피아 충남 천안시 동남구
2 한국기초과학지원연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2012-0500557-10
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.08.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0620057-74
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184331-50
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184293-13
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.04.05 수리 (Accepted) 9-1-2013-0023716-50
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058545-81
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058386-17
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0284825-10
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.06.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0521138-64
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-0521136-73
12 등록결정서
Decision to grant
2013.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0739168-71
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-0067164-06
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068484-18
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.10.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5210791-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
복수개의 사용후 캐니스터(canister)에 잔존하는 액체 TMGa(trimethylgallium)에 불활성 가스를 유입시켜 상기 액체 TMGa를 각각의 캐니스터로부터 저장 용기로 회수하는 TMGa 회수 단계;상기 액체 TMGa를 가열시킨 상태에서 상기 불활성 가스를 유입시켜 상기 액체 TMGa를 기화시킨 다음, 상기 액체 TMGa의 기화로 발생된 TMGa 가스를 냉각에 의해 액화시켜 정제된 액체 TMGa를 획득하는 TMGa 정제 단계:정제된 상기 액체 TMGa의 순도 및 화학적 구조를 분석하여 상기 액체 TMGa의 재활용 여부를 결정하는 TMGa 분석 단계: 및정제된 상기 액체 TMGa의 분석 결과 기설정값을 만족하여 상기 액체 TMGa의 재활용이 결정된 경우, 상기 액체 TMGa에 불활성 가스를 유입시켜 상기 액체 TMGa를 전처리된 복수개의 캐니스터에 각각 충진하는 TMGa 충진 단계;를 포함하고,상기 TMGa 정제 단계는,상기 저장 용기에 저장된 상기 액체 TMGa를 가열시킨 상태에서 불활성 가스를 유입시켜 상기 액체 TMGa를 기화시키는 TMGa 기화 공정;상기 TMGa 가스를 액화시켜 정제된 액체 TMGa를 제 1회수 용기에 1차적으로 회수하는 TMGa 제 1정화 공정; 및상기 TMGa 제 1정화 공정에서 액화되지 않은 TMGa 가스를 액화시켜 정제된 액체 TMGa를 제 2회수 용기에 2차적으로 회수하는 TMGa 제 2정화 공정;을 포함하며,상기 TMGa 기화 공정은,상기 저장 용기에 연결된 제 1유입관을 통해 상기 불활성 가스를 상기 저장 용기 내부로 유입시키고, 상기 저장 용기를 수용하는 핫 배스(hot bath)에 의해 상기 저장 용기를 가열하여 상기 TMGa 가스를 생성하며, 상기 저장 용기에 연결된 제 1배출관을 통해 상기 TMGa 가스 및 불활성 가스를 상기 저장 용기 외부로 배출시키고,상기 TMGa 제 1정화 공정은,상기 제 1회수 용기에 연결된 제 2유입관을 통해 상기 저장 용기 외부로 배출된 TMGa 가스 및 불활성 가스를 상기 제 1회수 용기 내부로 유입시키고, 상기 제 1회수 용기를 수용하는 쿨 배스(cool bath)에 의해 상기 제 1회수 용기를 냉각하여 정제된 액체 TMGa를 회수하며, 상기 제 1회수 용기에 연결된 제 2배출관을 통해 액화되지 않은 TMGa 가스 및 불활성 가스를 상기 제 1회수 용기 외부로 배출시키는 것을 특징으로 하는 사용후 TMGa의 재활용 방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 TMGa 제 2정화 공정은,상기 제 2회수 용기에 연결된 제 3유입관을 통해 상기 제 1회수 용기에서 액화되지 않은 TMGa 가스 및 불활성 가스를 상기 제 2회수 용기 내부로 유입시키고,상기 제 2회수 용기에 연결된 제 3배출관을 통해 상기 불활성 가스를 상기 제 2회수 용기 외부로 배출시키며,상기 제 3유입관 및 제 3배출관 사이에 설치되는 냉매관이 제 3유입관 및 제 3배출관을 냉각하여 상기 제 3유입관 및 제 3배출관에 포함된 TMGa 가스를 액화시켜 상기 제 2회수 용기에 정제된 액체 TMGa를 회수하는 것을 특징으로 하는 사용후 TMGa의 재활용 방법
3 3
제 1항에 있어서,상기 TMGa 제 2정화 공정은,상기 제 2회수 용기에 연결된 제 3유입관을 통해 상기 제 1회수 용기에서 액화되지 않은 TMGa 가스 및 불활성 가스를 상기 제 2회수 용기 내부로 유입시키고,상기 제 2회수 용기에 연결된 제 3배출관을 통해 상기 불활성 가스를 상기 제 2회수 용기 외부로 배출시키며,상기 제 3유입관 및 제 3배출관에 각각 구비된 코일 형상부가 상기 제 2회수 용기 상에 설치된 냉매탱크에 수용되고,상기 냉매탱크에 저장된 냉매가 상기 코일 형상부를 냉각하여 상기 제 3유입관 및 제 3배출관에 포함된 TMGa 가스를 액화시켜 상기 제 2회수 용기에 정제된 액체 TMGa를 회수하는 것을 특징으로 하는 사용후 TMGa의 재활용 방법
4 4
제 1항에 있어서,상기 TMGa 분석 단계에서,상기 TMGa의 순도는 플라즈마를 이온원으로 사용하는 질량분석장치인 ICP-MS(inductively coupled plasma mass spectrometry)을 이용하여 분석하고,상기 TMGa의 화학적 구조는 핵자기공명(Nuclear Magnetic Resonance, NMR)을 이용하여 분석하는 것을 특징으로 하는 사용후 TMGa의 재활용 방법
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제 4항에 있어서,상기 TMGa 충진 단계에서,정제된 상기 액체 TMGa는 N2 퍼지 상태의 글로브 박스 안에서 상기 제 1회수 용기 또는 제 2회수 용기로부터 음압이 걸린 전처리된 캐니스터로 충진되는 것을 특징으로 하는 사용후 TMGa의 재활용 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.