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내 플라즈마 세라믹 코팅막 형성방법

  • 기술번호 : KST2015222187
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 내 플라즈마 특성이 향상되는 세라믹 코팅막을 형성하기 위해서는 0.1 내지 1.0um의 입경을 갖는 세라믹 분말로 분산 시킨 후 코팅 대상체의 표면으로 고속 분출시켜 충돌 및 파쇄시킨다. 이후, 파쇄된 세라믹 분말을 코팅 대상체 표면에 고착시킨다. 그 결과 상기 코팅 대상체 표면에는 기공의 함유율이 0.1 내지 1%인 세라믹 코팅막이 형성된다. 코팅, 플라즈마, 세라믹코팅막, 분출
Int. CL B32B 27/06 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 21/02104(2013.01) H01L 21/02104(2013.01) H01L 21/02104(2013.01) H01L 21/02104(2013.01)
출원번호/일자 1020080072864 (2008.07.25)
출원인 주식회사 미코, 재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원
등록번호/일자 10-1043588-0000 (2011.06.16)
공개번호/일자 10-2010-0011586 (2010.02.03) 문서열기
공고번호/일자 (20110622) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.07.25)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 미코 대한민국 경기도 안성시
2 재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원 대한민국 강원도 철원군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황철호 대한민국 경기도 안성시
2 서준호 대한민국 강원도 철원군
3 김형인 대한민국 강원도 철원군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박영우 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)코미코 경기도 안성시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2008-0536987-88
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.04.10 수리 (Accepted) 9-1-2009-0020980-44
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.04.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0223066-35
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.06.26 수리 (Accepted) 4-1-2009-5125733-91
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.04.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0143887-19
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2010.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2010-0358314-10
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.07.06 수리 (Accepted) 1-1-2010-0436564-14
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.07.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0436550-86
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2010.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0496095-44
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.11.02 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2010-0714588-53
12 등록결정서
Decision to grant		 2011.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0298666-50
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025708-25
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.07.30 수리 (Accepted) 4-1-2013-5106044-89
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.11.21 수리 (Accepted) 4-1-2013-5156526-90
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2019-5040789-66
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(A) 2 내지 10um의 입경을 갖는 예비 세라믹 분말을 분쇄 또는 파쇄하여 서로 응집된 상태를 갖는 제1 세라믹 분말을 마련하는 단계; (B) 응집된 상태를 갖는 제1 세라믹 분말을 캐리어 가스와 함께 분산유닛 내부로 고속 유입시켜 분산유닛 내부에서 충돌을 유발시킴으로서 상기 응집된 제1 세라믹 분말을 응집이 발생되지 않으면서 0
2 2
제1항에 있어서, 상기 제1 세라믹 분말은 산화이트륨, 산화알루미늄 또는 이들의 혼합물을 포함하며, 충진 밀도가 99
3 3
제1항에 있어서, 상기 제1 세라믹 분말은 플라즈마 냉각법에 의해 형성되며, 상기 플라즈마 냉각법은 2 내지 10um의 입경을 갖는 세라믹 분말을 플라즈마 용융시키는 단계 및 질소가스 하에서 냉각 분쇄시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 내 플라즈마성의 세라믹 코팅막 형성방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 제2 세라믹 분말의 파쇄가 용이하도록 기계적 볼밀 공정에 의한 파쇄 또는 플라즈마 저온 파쇄 공정을 더 수행하는 것을 특징으로 하는 내 플라즈마성의 세라믹 코팅막 형성방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 제1 세라믹 분말은 그 표면에 굴곡 또는 홈이 발생되어 다각형 형상을 갖도록 식각처리된 것을 특징으로 하는 내 플라즈마성의 세라믹 코팅막 형성방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 제2 세라믹 분말은 캐리어 가스와 함께 상기 코팅 대상체 표면으로 250 내지 400m/s의 속도로 분출됨으로 인해 파쇄 및 고착되는 것을 특징으로 하는 내 플라즈마성의 세라믹 코팅막 형성방법
7 7
삭제
8 8
제1항에 있어서, 상기 코팅 대상체의 표면은 0
9 9
제1항에 있어서, 상기 세라믹 코팅막은 20 내지 35℃의 상온에서 형성하는 것을 특징으로 하는 내 플라즈마성의 세라믹 코팅막 형성방법
10 10
삭제
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2010011116 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
2 WO2010011116 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2010011116 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
2 WO2010011116 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.