맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

내 플라즈마성 갖는 세라믹 코팅체

  • 기술번호 : KST2015222196
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 플라즈마 처리장치에 적용되는 내 플라즈마 특성이 향상된 세라믹 코팅체가 개시되어 있다. 상기 세라믹 코팅체는 플라즈마 장치에 적용되는 피 코팅체 및 상기 피 코팅체 표면에 형성되며 800W 파워에서 형성된 플라즈마에 대하여 13 내지 25nm/min의 식각율을 갖고, 기공의 함유율이 0.1 내지 1%인 세라믹 코팅막을 포함하는 구성을 갖는다. 이러한 구성을 갖는 세라믹 코팅체는 플라즈마에 장시간 노출되어도 그 표면 손상이 최소화 될 수 있다. 코팅, 플라즈마, 세라믹코팅막
Int. CL C23C 16/00 (2006.01) C23C 24/04 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020080072852 (2008.07.25)
출원인 주식회사 미코, 재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원
등록번호/일자 10-0966132-0000 (2010.06.17)
공개번호/일자 10-2010-0011576 (2010.02.03) 문서열기
공고번호/일자 (20100625) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.07.25)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주식회사 미코 대한민국 경기도 안성시
2 재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원 대한민국 강원도 철원군

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 황철호 대한민국 경기도 안성시
2 장재훈 대한민국 경기도 안성시
3 서준호 대한민국 강원도 철원군
4 김형인 대한민국 강원도 철원군

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 박영우 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 (주)코미코 경기도 안성시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2008-0536898-12
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.06.26 수리 (Accepted) 4-1-2009-5125733-91
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.11.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.12.08 수리 (Accepted) 9-1-2009-0066960-08
5 등록결정서
Decision to grant		 2010.06.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0246077-81
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025708-25
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.07.30 수리 (Accepted) 4-1-2013-5106044-89
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.11.21 수리 (Accepted) 4-1-2013-5156526-90
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2019-5040789-66
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
플라즈마 장치에 적용되는 피 코팅체; 및 상기 피 코팅체 표면에 형성되며 800W 파워에서 형성된 플라즈마에 대하여 13 내지 25nm/min의 식각율을 갖으면서 기공의 함유율이 0
2 2
제1항에 있어서, 상기 피 코팅체는 알루미늄, 스테인리스, 석영 또는 세라믹 물질을 포함하며, 가스 분배판, 정적척, 샤워헤드, 챔버의 내벽, 실린더 및 포커스 링로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 내 플라즈마성 세라믹 코팅체
3 3
제1항에 있어서, 상기 세라믹 코팅막은 산화이트륨막 또는 산화알루미늄막을 포함하는 것을 특징으로 하는 내 플라즈마성 세라믹 코팅체
4 4
제1항에 있어서, 상기 세라믹 코팅막은 (A) 세라믹 분말을 0
5 5
제4항에 있어서, 상기 세라믹 분말은 기계적 볼 밀 공정에 의한 파쇄 또는 플라즈마 저온 파쇄 공정을 포함하는 기계적 파쇄공정이 수행되어 그 표면이 굴곡 또는 홈을 포함하는 다각형 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 내 플라즈마성 세라믹 코팅체
6 6
제4항에 있어서, 상기 파쇄되어 형성된 세라믹 입자는 80 내지 200nm의 입경을 갖는 것을 특징으로 하는 내 플라즈마성 세라믹 코팅체
7 7
제1항에 있어서, 상기 세라믹 코팅막은 0
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN102105621 CN 중국 FAMILY
2 JP23528755 JP 일본 FAMILY
3 WO2010011113 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
4 WO2010011113 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN102105621 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN102105621 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 JP2011528755 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 WO2010011113 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
5 WO2010011113 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.