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표면 형상 검사법 및 그 기기

  • 기술번호 : KST2015228571
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 표면 형상 검사 장치는 검사 대상물의 표면 형상을 검사하기 위한 것으로, 광원부, 광 분배부, 부분반사막, 지지부, 구동부 및 감지부를 포함한다. 광원부는 복수의 파장을 순차적으로 스캔하여 파장 가변이 반복되는 광을 방출하고, 광 분배부는 광원부로부터의 광을 검사 대상물이 위치한 방향으로 전달한다. 부분반사막은 광 분배부로부터의 광들 중 일부인 제1 광을 반사시키고, 지지부는 광 분배부로부터의 광들 중 부분반사막에서 반사되지 않은 제2 광이 상기 검사 대상물에서 반사되도록 검사 대상물을 지지한다. 구동부는 제1 광과 제2 광의 경로차에 의하여 간섭이 일어날 수 있도록 부분반사막과 지지부 사이의 거리를 광의 가간섭거리(coherence length)보다 작게 형성되도록 부분반사막 및 지지부 중 적어도 하나의 위치를 조절한다. 감지부는 간섭 신호를 생성하는 제1 광 및 제2 광을 수신하고, 간섭 신호를 통하여 검사 대상물의 표면 형상에 관한 정보를 획득한다. 따라서 표면 형상 검사 장치는 대면적의 검사 대상물의 표면 형상 정보를 빠른 시간 내에 고 해상도로 획득할 수 있다.
Int. CL G01B 11/24 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01)
CPC G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01)
출원번호/일자 1020120027227 (2012.03.16)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1415857-0000 (2014.06.30)
공개번호/일자 10-2013-0105090 (2013.09.25) 문서열기
공고번호/일자 (20140709) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020140012178;
심사청구여부/일자 Y (2012.03.16)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김창석 대한민국 부산 남구
2 정명영 대한민국 부산 금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0214997-09
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.04.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0046422-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0526116-78
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0884123-48
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0985473-04
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2013-1101738-32
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-1205870-67
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
10 지정기간연장관련안내서
Notification for Extension of Designated Period		 2014.01.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0000930-16
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-0104932-19
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.02.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0105024-56
13 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2014.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-0104781-11
14 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2014-0239124-77
15 등록결정서
Decision to grant		 2014.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0435000-14
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
검사 대상물의 표면 형상을 검사하기 위한 검사 장치에 있어서,복수의 파장을 순차적으로 스캔하여 파장 가변이 반복되는 광을 방출하는 광원부;상기 광원부로부터 방출된 광들 중 일부인 제1 광을 반사시키기 위한 부분반사막;상기 광원부로부터 방출된 광들 중 상기 부분반사막에서 반사되지 않은 제2 광이 상기 검사 대상물에서 반사되도록 상기 검사 대상물을 지지하기 위한 지지부;상기 제1 광과 상기 제2 광의 경로차에 의하여 간섭이 일어날 수 있도록 상기 부분반사막과 상기 지지부 사이의 거리를 상기 광의 가간섭거리(coherence length)보다 작게 형성되고 상기 부분반사막과 상기 지지부가 서로 평행하게 위치하도록 상기 부분반사막 및 상기 지지부 중 적어도 하나의 위치를 조절하는 구동부; 및간섭 신호를 생성하는 상기 제1 광 및 상기 제2 광을 수신하고, 상기 간섭 신호를 통하여 상기 검사 대상물의 표면 형상에 관한 정보를 획득하는 감지부를 포함하되,상기 지지부는 상기 검사 대상물을 안착시켜 상기 검사 대상물의 하부를 지지하기 위한 제1 지지대 및 상기 제1 지지대의 가장자리에 위치하고, 상기 검사 대상물의 높이보다 더 높게 형성된 기둥 형상의 제2 지지대를 포함하고, 상기 구동부는 상기 부분반사막의 하부면 가장자리가 상기 제2 지지대의 상부면과 접하도록 상기 부분반사막 및 상기 지지부 중 적어도 하나의 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
2 2
검사 대상물의 표면 형상을 검사하기 위한 검사 장치에 있어서,복수의 파장을 순차적으로 스캔하여 파장 가변이 반복되는 광을 방출하는 광원부;상기 광원부로부터 방출된 광들 중 일부인 제1 광을 반사시키기 위한 부분반사막;상기 광원부로부터 방출된 광들 중 상기 부분반사막에서 반사되지 않은 제2 광이 상기 검사 대상물에서 반사되도록 상기 검사 대상물을 지지하기 위한 지지부;상기 제1 광과 상기 제2 광의 경로차에 의하여 간섭이 일어날 수 있도록 상기 부분반사막과 상기 지지부 사이의 거리를 상기 광의 가간섭거리(coherence length)보다 작게 형성되도록 상기 부분반사막 및 상기 지지부 중 적어도 하나의 위치를 조절하는 구동부; 및간섭 신호를 생성하는 상기 제1 광 및 상기 제2 광을 수신하고, 상기 간섭 신호를 통하여 상기 검사 대상물의 표면 형상에 관한 정보를 획득하는 감지부를 포함하되,상기 지지부는 상기 검사 대상물을 안착시켜 상기 검사 대상물의 하부를 지지하기 위한 제1 지지대 및 상기 제1 지지대의 가장자리에 위치하고, 상기 검사 대상물의 높이보다 더 높게 형성된 기둥 형상의 제2 지지대를 포함하고, 상기 구동부는 상기 부분반사막의 하부면 가장자리가 상기 제2 지지대의 상부면과 접하도록 상기 부분반사막 및 상기 지지부 중 적어도 하나의 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 광원부로부터의 광을 상기 검사 대상물이 위치한 방향으로 전달하기 위한 광 분배부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
4 4
제3항에 있어서, 상기 광 분배부는 상기 부분반사막으로부터 반사되는 제1 광과 상기 검사대상물에서 반사되는 제2 광을 상기 감지부가 위치한 방향으로 통과시키며, 상기 제1 광과 제2 광이 상기 감지부의 축으로 합쳐지도록 하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
5 5
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 부분반사막의 표면은 광의 반사율과 반사 위치의 조절이 가능한 재질로 코팅되는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
6 6
제5항에 있어서, 상기 부분반사막의 표면 중 상기 검사 대상물로 향하는 표면은 광의 반사를 억제시키는 재질로 코팅되는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
7 7
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 구동부는 상기 부분반사막의 위치를 제어하는 제1 구동부; 및상기 지지부의 위치를 제어하는 제2 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
8 8
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 부분반사막과 상기 지지부 사이의 거리가 상기 광의 가간섭거리(coherence length)보다 작도록 형성됨으로써, 상기 제1 광이 진행하는 제1 소요시간과 상기 제2 광이 진행하는 제2 소요시간의 차이가 상기 광의 가간섭시간(coherence time)보다 작은 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
9 9
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 감지부가 일차적으로 인식하는 영역이 상기 검사 대상물의 크기보다 작은 경우에는 상기 감지부가 상기 간섭 신호를 이용하여 상기 검사 대상물의 표면 형상 정보를 획득한 이후에, 상기 감지부가 감지하지 못한 상기 검사 대상물의 나머지 영역의 표면 형상을 감지하기 위하여 상기 지지부의 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
10 10
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 감지부가 일차적으로 인식하는 영역이 상기 검사 대상물의 크기보다 작은 경우에는 상기 감지부가 상기 간섭 신호를 이용하여 상기 검사 대상물의 표면 형상 정보를 일차적으로 획득한 이후에, 상기 감지부가 감지하지 못한 상기 검사 대상물의 나머지 영역의 표면 형상을 감지하기 위하여 상기 검사대상물의 위치를 고정한 상태로 상기 광원부, 상기 부분반사막 및 상기 감지부 중 적어도 하나의 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
11 11
제3항에 있어서, 상기 광원부와 상기 광 분배부의 사이에 위치하고, 상기 광원부로부터 방출된 광을 상기 검사 대상물의 크기에 대응되는 선의 형태 또는 면의 형태로 공간 확장시키기 위한 제1 광학계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
12 12
제3항에 있어서, 상기 광 분배부와 상기 부분반사막의 사이에 위치하고, 상기 광 분배부로부터의 광을 상기 검사 대상물의 크기에 대응되는 선의 형태 또는 면의 형태로 공간 확장시키기 위한 제2 광학계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
13 13
제3항에 있어서, 상기 광 분배부와 상기 감지부의 사이에 위치하고, 상기 부분반사막과 상기 검사 대상물로부터 반사되고 상기 광 분배부를 통과한 광을 선의 형태 또는 면의 형태로 공간 확장시키기 위한 제3 광학계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
14 14
제3항에 있어서, 상기 광원부와 상기 광 분배부의 사이에 위치하고, 상기 광원부로부터 방출된 광을 상기 검사 대상물의 크기에 대응되는 선의 형태 또는 면의 형태로 공간 확장시키기 위한 제1 광학계, 상기 광 분배부와 상기 부분반사막의 사이에 위치하고, 상기 광 분배부로부터의 광을 상기 검사 대상물의 크기에 대응되는 선의 형태 또는 면의 형태로 공간 확장시키기 위한 제2 광학계, 및 상기 광 분배부와 상기 감지부의 사이에 위치하고, 상기 부분반사막과 상기 검사 대상물로부터 반사되고 상기 광 분배부를 통과한 광을 선의 형태 또는 면의 형태로 공간 확장시키기 위한 제3 광학계 중 적어도 하나의 광학계를 포함하고,상기 제1 광학계, 제2 광학계 및 제3 광학계는 단일 경로의 광을 선 또는 면의 형태로 확장하기 위한 렌즈를 구비하고, 상기 렌즈의 배율은 상기 검사 대상물의 크기에 대응하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
15 15
제14항에 있어서, 상기 검사 대상물의 크기가 변하는 경우에는, 상기 검사 대상물의 크기 변화에 대응하여 상기 렌즈의 배율이 조절되는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
16 16
제14항에 있어서, 상기 렌즈에 의하여 경로가 확장된 광을 평행하게 진행시키기 위한 콜리메이터(collimator)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
17 17
삭제
18 18
삭제
19 19
삭제
20 20
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 감지부는 상기 제1 광과 상기 제2 광의 경로차에 의하여 생성된 상기 간섭 신호를 통하여 상기 검사 대상물의 표면 형상을 상기 검사 대상물의 표면의 각 위치에 대응하는 픽셀 별로 감지하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
21 21
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 감지부는 중심 파장의 스캔에 의하여 주기적인 광 세기의 변화를 갖는 상기 간섭 신호를 푸리에 변환(Fourier Transform)하여 상기 주기 값에 대응하는 스펙트럼 신호를 획득하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
22 22
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 감지부는 상기 광의 복수의 파장에 대한 스캔에 소요되는 한 주기 이상의 시간 동안 각 픽셀에서 상기 간섭 신호를 연속적으로 획득하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
23 23
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 감지부는 상기 광 세기의 변화를 갖는 간섭 신호의 광 세기의 한 주기보다 적어도 절반 이하의 시간 간격마다 각 픽셀에서 새로운 광 세기를 획득하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 검사 장치
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1 산업통상자원부 부산대학교 산학협력단 산업융합원천기술개발사업(신산업.주력산업) (RCMS)초고속 OCT 이미징 연동 전안부 펨토초 레이저 정밀시술 시스템 개발