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자동이송방식을 이용한 고온엠보싱 장치

  • 기술번호 : KST2016000261
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 챔버 내에서 기판을 자동으로 이송시키면서 다양한 온도와 압력 하에 임프린팅 스탬프의 패턴을 한 번 또는 연속적으로 전사시킬 수 있는 자동이송방식을 이용한 고온엠보싱 장치에 관한 것으로, 상기 챔버의 상판에 설치되어서 다수의 단계로 스탬프와 상기 기판 사이에 압력을 가하는 가압부재; 상기 스탬프를 고정시켜주는 고정부재; 상기 고정부재에 장착되어서 상기 스탬프를 균일하게 가열하는 제1 핫플레이트; 상기 기판을 스탬프 패턴 전사 위치까지 이동시키고 고정시키주며, 패턴이 전사된 기판을 챔버의 외부로 배출시켜주는 이송부재; 상기 이송부재의 하부에 설치되어서 상기 기판을 균일하게 가열하는 제2 핫플레이트; 상기 챔버의 하판과 상기 이송부재 사이에 설치되어서 상기 스탬프와 기판 사이의 평행도를 맞춰주는 레벨러; 상기 가압부재에 의해 상기 기판을 상하로 이동시킬 때에 좌우방향의 흔들림을 막아주는 균형유지부재; 및 시스템의 구동 및 동작을 제어하는 제어기;를 포함하는 것을 특징으로 하며, 고온과 고압만을 사용할 때의 작업 한계성을 극복할 뿐만 아니라 일정한 크기의 스탬프를 반복적인 패턴전사와 패턴전사가 끝난 기판을 한 스텝씩 이동시킬 수 있어 대면적 패턴전사가 가능하게 된다.엠보싱, 임프린팅 스탬프, 기판, 핫플레이트, 전사
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020070053831 (2007.06.01)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0885670-0000 (2009.02.19)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20090225) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.06.01)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재종 대한민국 대전시 서구
2 최기봉 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 강정만 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 ** *층(역삼동, 성보빌딩)(뉴서울국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2007-0403719-49
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.04.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.05.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0027421-17
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0333320-42
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2008.09.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0473725-79
6 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2008.10.14 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2008-0046405-18
7 등록결정서
Decision to grant
2008.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0584144-22
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
챔버(100) 내에서 기판(4)을 자동으로 이송시키면서 연속적으로 임프린팅 스탬프의 패턴을 전사하기 위한 자동이송방식을 이용한 고온엠보싱 장치에 있어서
2 2
제1항에 있어서, 상기 고정부재(20)는 상기 스탬프(2)의 측면을 고정하기 위한 척 또는 다수개의 집게로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자동이송방식을 이용한 고온엠보싱 장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 핫플레이트(30, 50)의 가열부재는 카트리지 히터인 것을 특징으로 하는 자동이송방식을 이용한 고온엠보싱 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 핫플레이트(30, 50)를 신속하게 냉각시킬 수 있는 냉각부재를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 자동이송방식을 이용한 고온엠보싱 장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 이송부재(40)는, 상기 챔버(100)의 내부에 설치되어서 소정 크기의 기판(4)을 패턴 전사 위치까지 이송시키며, 상기 기판(4)을 일정한 방향으로 회전시키는 제1 이송부재(42); 및상기 챔버(100)의 외부 일측에 설치되어서 길이가 긴 기판(4)을 상기 챔버(100)의 내부로 연속적으로 이송시키는 상하부 한 쌍의 롤러(43)와 상기 챔버(100) 내부의 기판(4)을 소정의 크기로 외부로 배출시키는 배출부재(45)로 이루어진 제2 이송부재(44)로 구성되는 것을 특징으로 하는 자동이송방식을 이용한 고온엠보싱 장치
6 6
제5항에 있어서, 상기 제1 이송부재(42)는,하나는 이송용 스크류(42-2)를 구비하고 다른 하나는 안내봉(42-6)을 구비하여서 상기 챔버(100) 내부의 양측 지지대(5)에 각각 설치된 두 개의 가이드(42-1)와,상기 스크류(42-2)를 회전시키기 위해서 상기 스크류(42-2)가 구비된 가이드(42-1)의 일측에 설치된 양방향 회전 모터(42-3)와, 상기 스크류(42-2)의 회전에 따라 전후방으로 이동하는 이동부재(42-5)와,상기 이동부재(42-5) 각각의 상부에 고정되어서 이동부재(42-5)가 이동될 때 동시에 이동되며, 상기 기판(4)이 안전하게 얹혀질 수 있게 하고 회전이 가능하도록 장착된 넓은 판(42-4)을 구비한 받침대(42-7)와,상기 기판(4)을 고정하고 위치를 결정하여 주도록 넓은 판(42-4)의 외측에 다수개 설치되며, 소정량의 힘을 받아 상기 넓은 판(42-4)을 회전시키는 고정치구(42-9)로 구성되는 것을 특징으로 하는 자동이송방식을 이용한 고온엠보싱 장치
7 7
제6항에 있어서, 상기 고정치구(42-9)의 선단부에는 피스톤 형태의 봉(B)과 결합된 볼(42-8)이 구비되며, 상기 고정치구(42-9)와 볼(42-8) 사이에는 스프링(S)이 구비되는 것을 특징으로 하는 자동이송방식을 이용한 고온엠보싱 장치
8 8
제5항에 있어서, 상기 롤러(43)를 통해 상기 챔버(100) 내부로 이송되는 기판(4)을 패턴 전사시킨 후 제2 이송부재(44)의 배출부재(45)를 통해서 배출하는 방식은,볼 스크류(46-2)의 회전운동에 따라 기판(4)을 배출시키는 스테이지방식과, 상하부 두 쌍의 롤러들(47-1, 47-2)의 회전운동에 의해 기판(4)을 배출하는 롤러방식으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자동이송방식을 이용한 고온엠보싱 장치
9 9
제8항에 있어서, 상기 스테이지방식에 이용되는 부재는,상기 챔버(100) 내부로부터 이동하는 패턴이 전사된 기판(4)이 얹혀지는 스테이지(46-1)와, 상기 스테이지(46-1)의 하부에 장착되어서 회전운동하는 상기 볼 스크류(46-2)와,상기 볼 스크류(46-2)와 나사산 체결되며, 상기 볼 스크류(46-2)의 회전운동에 따라 동시에 전후방향으로 선형이동하는 전방가이드 플레이트(46-3)와, 상기 볼 스크류(46-2)와 나사산 체결되되 상기 스테이지(46-1)에 고정 설치된 후방가이드 플레이트(46-4)와,상기 전방가이드 플레이트(46-3)의 양측에 장착되어서 기판(4)을 고정시키고 공압에 의해 상하방향으로 운동하는 제1 기판고정핀(46-5)과,상기 후방가이드 플레이트(46-4)의 양측에 장착되어서 기판(4)을 고정시키고 공압에 의해 상하방향으로 운동하는 제2 기판고정핀(46-6)과,상기 볼 스크류(46-2)를 회전시키고 전방가이드 플레이트(46-3)의 선형이동 위치를 제어하는 리니어 모터(46-7)로 구성되는 것을 특징으로 하는 자동이송방식을 이용한 고온엠보싱 장치
10 10
제8항에 있어서, 상기 롤러방식에 이용되는 부재는,상기 챔버(100) 내부로부터 패턴이 전사된 기판(4)을 배출 이동시키는 상하부 한 쌍의 제1 롤러(47-1)와, 상기 챔버(100) 내부로부터 패턴이 전사된 기판(4)을 이동시키고 이동을 저지하는 상하부 한 쌍의 제2 롤러(47-2)로 구성되는 것을 특징으로 하는 자동이송방식을 이용한 고온엠보싱 장치
11 11
제10항에 있어서, 상기 제1 롤러(47-1)의 반경은 상기 제2 롤러(47-2)의 반경보다 작은 것을 특징으로 하는 자동이송방식을 이용한 고온엠보싱 장치
12 12
제1항에 있어서, 상기 레벨러(60)는 중앙부의 주지점과 4개의 가장자리의 보조지점에 구비되는 것을 특징으로 하는 자동이송방식을 이용한 고온엠보싱 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업자원부 한국기계연구원 지역산업기술개발사업 극초미세형상 부품용 고온 엠보싱 장비 핵심요소기술 개발