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전이금속막이 제공된 기판을 제공하는 것; 및상기 전이금속막 상에 제1 분자구조의 칼코겐물질을 제공하는 것을 포함하며,상기 제1 분자구조의 칼코겐물질을 제공하는 것은 칼코겐소스를 증발시켜서 제2 분자구조의 칼코겐물질을 형성하는 단계 및 상기 제2 분자구조의 칼코겐물질을 분해하여서 상기 제1 분자구조의 칼코겐물질을 형성하는 단계를 포함하며,상기 제1 분자구조는 상기 제2 분자구조보다 상대적으로 적은 원자들을 포함하는 분자구조인 전이금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 기판을 제1 가열하는 공정을 수행하는 것을 더 포함하는 전이금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 2 항에 있어서,상기 제1 가열 공정의 온도는 50 ℃ 내지 350 ℃ 인 전이금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제1 분자구조의 칼코겐물질을 제공하는 것은 상기 전이금속막이 제공된 상기 기판을 공기 중에 노출시킨 후 수행되는 전이금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 칼코겐소스를 증발시키는 것은 상기 칼코겐소스를 제2 가열하는 공정을 수행하는 것을 포함하는 전이금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제2 분자구조의 칼코겐물질을 분해하는 것은 상기 제2 분자구조의 칼코겐물질을 제3 가열하는 공정을 수행하는 것을 포함하며,상기 제3 가열 공정의 온도는 상기 제2 가열 공정의 온도보다 높은 전이금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 전이금속막은 몰리브덴(Mo)막인 전이금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 칼코겐물질은 황(S)인 전이금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 전이금속 칼코겐화합물 박막은 단일층(mono-layer) 또는 이중층(double-layer) 구조를 포함하는 전이금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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기판 상에 전이금속물질 및 제1 분자구조의 칼코겐물질을 제공하는 것을 포함하며,상기 제1 분자구조의 칼코겐물질을 제공하는 것은 칼코겐소스를 증발시켜서 제2 분자구조의 칼코겐물질을 형성하는 단계 및 상기 제2 분자구조의 칼코겐물질을 분해하여서 상기 제1 분자구조의 칼코겐물질을 형성하는 단계를 포함하며,상기 제1 분자구조는 상기 제2 분자구조보다 상대적으로 적은 원자들을 포함하는 분자구조인 전이금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 기판을 제1 가열하는 공정을 수행하는 것을 더 포함하는 전이금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 11 항에 있어서,상기 제1 가열 공정의 온도는 50 ℃ 내지 350 ℃ 인 전이금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 칼코겐소스를 증발시키는 것은 상기 칼코겐소스를 제2 가열하는 공정을 수행하는 것을 포함하는 전이금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 제2 분자구조의 칼코겐물질을 분해하는 것은 상기 제2 분자구조의 칼코겐물질을 제3 가열하는 공정을 수행하는 것을 포함하며,상기 제3 가열 공정의 온도는 상기 제2 가열 공정의 온도보다 높은 전이금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 전이금속물질은 몰리브덴(Mo)인 전이금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 칼코겐물질은 황(S)인 전이금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 전이금속 칼코겐화합물 박막은 단일층(mono-layer) 또는 이중층(double-layer) 구조를 포함하는 전이금속 칼코겐화합물 박막의 제조 방법
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