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무기박막의 고속 증착방법 및 이를 위한 제조장치(HIGH-RATE DEPOSITING METHOD OF INORGANIC THIN FILM, AND APPARATUS THEREFOR)

  • 기술번호 : KST2016006602
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 무기박막의 고속 증착 방법 및 상기 무기박막의 고속 증착을 위한 제조장치에 관한 것이다.
Int. CL C23C 16/22 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01)
CPC C23C 16/45538(2013.01) C23C 16/45538(2013.01) C23C 16/45538(2013.01)
출원번호/일자 1020150187842 (2015.12.28)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1685366-0000 (2016.12.06)
공개번호/일자 10-2016-0017646 (2016.02.16) 문서열기
공고번호/일자 (20161212) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2014-0100932 (2014.08.06)
관련 출원번호 1020140100932
심사청구여부/일자 Y (2015.12.28)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서상준 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 조성민 대한민국 경기도 군포시 산본로***번길 **, **
3 유지범 대한민국 서울특별시 서초구
4 정호균 대한민국 경기도 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태평양 대한민국 서울특별시 중구 청계천로 **, *층(다동, 예금보험공사빌딩)
2 특허법인엠에이피에스 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2015.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2015-1278167-46
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.01.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0066341-81
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.03.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-0296210-45
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.04.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0402535-88
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2016-0402495-49
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0616561-19
7 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2016.09.28 수리 (Accepted) 7-1-2016-0056054-41
8 [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2016.10.05 수리 (Accepted) 1-1-2016-0962902-10
9 [서류송달대표자선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Representative for Transmittal of Document] Report on Agent (Representative)
2016.10.05 수리 (Accepted) 1-1-2016-0962915-14
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.10.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0990568-64
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-0990567-18
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2016.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0822469-48
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기재가 로딩되는 기재 로딩부;상기 기재 로딩부에 결합되어 상기 기재를 교번하며 이동시키는 기재 수송부; 상기 기재 수송부의 하단에 구비되어 상기 기재를 가열하는 기재 가열부; 및상기 기재에 무기박막을 형성하는 무기박막 증착부를 포함하는, 무기박막의 제조장치로서, 상기 무기박막 증착부는 각각 독립된 복수의 소스 플라즈마 모듈 및 복수의 반응 플라즈마 모듈을 포함하고, 상기 소스 플라즈마 모듈 및 상기 반응 플라즈마 모듈 각각은 소스 가스 및 반응 가스를 각각 플라즈마 처리하여 상기 소스 가스 및 상기 반응 가스를 각각 플라즈마 상태로 상기 기재 상에 주입하는 것이며,상기 기재 수송부가 상기 소스 플라즈마 모듈 및 상기 반응 플라즈마 모듈을 교번하며 이동하여 상기 기재 상에 무기박막이 증착되는 것인, 무기박막의 제조장치를 이용하여, 각각 교대로 위치하는 독립된 상기 복수의 소스 플라즈마 모듈 및 상기 복수의 반응 플라즈마 모듈 각각에서 상기 소스 가스 및 상기 반응 가스를 각각 플라즈마 처리하여, 상기 소스 가스 및 상기 반응 가스를 각각 플라즈마 상태로 상기 기재 상에 주입함으로써 상기 기재 상에 소스 플라즈마와 반응 플라즈마를 분리하여 주입하고; 및상기 기재를 상기 소스 가스의 열분해 온도 이하로서 100℃ 내지 400℃의 저온에서 가열함으로써 상기 기재의 표면에서 상기 소스 플라즈마 및 상기 반응 플라즈마가 화학 반응하여 상기 기재 상에 무기박막이 형성되는 것이며,상기 소스 가스는 실리콘, 알루미늄, 아연, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 2 개 이상의 금속을 함유하는 전구체 및 불활성 기체를 포함하는 것이며,상기 각각 교대로 위치하는 독립된 상기 복수의 소스 플라즈마 모듈 및 상기 복수의 반응 플라즈마 모듈 각각에서 상기 소스 가스 및 상기 반응 가스를 플라즈마 처리하는 것을 동시에 또는 교번하여 수행함으로써 상기 기재 상에 상기 무기박막이 혼합 또는 적층되어 형성되는 것이고,상기 무기박막의 증착 속도는 5 Å/s 내지 10 Å/s의 고속인 것인,무기박막의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 불활성 기체는 Ar, He, Ne, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 무기박막의 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 반응 가스는 N2, H2, O2, N2O, NH3, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 무기박막의 제조방법
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서,상기 무기박막의 두께는 300 Å 내지 2,000 Å인 것인, 무기박막의 제조방법
6 6
삭제
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 성균관대학교 산학협력단 일반연구자지원사업(기본연구:리서치펠로우) 1/3 초극유연성 유무기 나노하이브리드 유연보호막 기술개발