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가시광선을 제공하는 가시광선 광원; 근적외선을 제공하는 근적외선 광원;상기 가시광선 광원으로부터의 상기 가시광선과, 상기 근적외선 광원으로부터의 상기 근적외선의 적어도 일부분을 중첩시켜 중첩광으로 변환시키는 제1 이색 거울;상기 중첩광을 빔스플리팅하여 일부는 레퍼런스단으로 보내고 다른 일부는 측정 대상물이 놓인 샘플단으로 보내는 빔스플리터;상기 레퍼런스단 및 상기 샘플단으로부터 반사된 후 상기 빔스플리터를 통해 전달되는 반사광을 다시 가시광선 및 근적외선 파장의 광신호로 나누는 제2 이색 거울; 상기 제2 이색 거울을 통해 전달되는 상기 가시광선 파장의 광신호를 측정하여 상기 측정 대상물의 표면의 이미지를 획득하는 표면 측정부; 및상기 제2 이색 거울을 통해 전달되는 상기 근적외선 파장의 광신호를 측정하여 상기 측정 대상물의 단층 이미지를 획득하는 단층 측정부;를 포함하며,상기 가시광선 광원으로부터 제공되는 가시광선 및 상기 근적외선 광원으로부터 제공되는 근적외선이 같은 각도로 상기 제1 이색 거울에 도달 가능하도록 상기 제1 이색 거울은 상기 가시광선 광원으로부터 조사되는 가시광의 조사 방향 및 상기 근적외선 광원으로부터 조사되는 근적외선 조사 방향의 45도 각도를 갖도록 경사지게 배치되는 도포 균일성 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 가시광선 광원은 복수 개이며,상기 가시광선 광원과 상기 이색 거울 사이에 배치되어 상기 가시광선 광원으로부터의 상기 가시광선을 평탄화시키는 빔 평탄화소자를 더 포함하는 도포 균일성 검사 장치
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제2항에 있어서,상기 빔 평탄화소자는 광학 디퓨져(diffuser), 다중 렌즈 어레이(Multi lens array), 다중 모드 광섬유(multi mode fiber), 광섬유 다발(fiber array), 렌즈형 광섬유 다발(lensed-fiber array), 라이트 파이프 다발, 광학 격자(optical grating), 빔 형상 변환기(beam shaper) 중 어느 하나인 도포 균일성 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 근적외선 광원과 상기 제1 이색 거울 사이에 배치되어 상기 근적외선 광원으로부터의 상기 근적외선의 반사 방향을 조절하는 반사 방향 가변 거울을 더 포함하는 도포 균일성 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 제2 이색 거울과, 상기 표면 측정부의 사이에 개재되어 상기 가시광선 파장의 광신호로부터 외부광에 의한 스펙트럼 간섭을 제거하는 파장 필터를 더 포함하는 도포 균일성 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 표면 측정부 또는 상기 단층 측정부에 의해 획득된 영상을 디스플레이하는 디스플레이부를 더 포함하는 도포 균일성 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 가시광선 광원은 단색 가시광 대역의 광원이고,상기 근적외선 광원은 근적외선 대역의 파장 가변 레이저인 도포 균일성 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 가시광선 광원 또는 상기 근적외선 광원은, VCSEL(vertical cavity surface-emitting laser), MEMS(micro electro mechanical system) 기반 소자, ECL(external cavity laser) 기반 소자, DFB(distributed feedback) 소자, DBR(distributed Bragg reflector) 소자이거나, 파장 가변 레이저를 대신하기 위한 중심파장이 서로 다른 하나 이상의 LED(light emitting diode), SLD(super luminescent diode), 할로겐 램프, 제논 램프, CCFL인 도포 균일성 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 가시광선 광원 또는 상기 근적외선 광원은, 캐비티(cavity) 길이를 조정하거나 격자 또는 반사 각도를 조정하거나 작동 온도를 조절하거나 다수의 형광체를 이용하거나 입력 전류를 변화시킴으로써 출력광의 파장 또는 세기가 조정되는 도포 균일성 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 표면 측정부 또는 상기 단층 측정부는, 이미징 센서 또는 광검출부기로서 CCD 또는 CMOS를 갖는 고화소 센서이거나 PD(photo diode) 또는 APD(avalanche photo diode)인 도포 균일성 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 표면 측정부에 전달된 상기 가시광선 파장의 광신호 또는 상기 단층 측정부에 전달된 상기 근적외선 파장의 광신호를 푸리에 변환하거나 파수 선형화 보정하거나 영값 삽입을 포함하는 처리를 함으로써 출력 영상의 왜곡을 보정하는 보정부를 더 포함하는 도포 균일성 검사 장치
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