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산화물 반도체 소자(OXIDE SEMICONDUCTOR DEVICE)

  • 기술번호 : KST2016016860
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판, 상기 기판 상의 제 1 게이트 전극, 상기 제 1 게이트 전극 상의 제 1 절연층, 상기 제 1 절연층 상의 채널층, 상기 제 1 절연층 상에 배치되되, 상기 채널층을 사이에 두고 상호 이격되는 소스 전극 및 드레인 전극, 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극과 상기 채널층을 덮는 제 2 절연층, 상기 제 2 절연층 상의 제 2 게이트 전극, 및 상기 제 1 절연층과 상기 채널층 사이의 터널링 절연층을 포함할 수 있다.상기 제 1 및 제 2 게이트 전극들 각각은 평면적 관점에서 상기 채널층과 오버랩될 수 있다.상기 터널링 절연층은 그의 하부에 상기 제 1 절연층과 접하는 나노 파티클들을 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 29/786 (2006.01.01) H01L 29/06 (2006.01.01)
CPC H01L 29/7869(2013.01) H01L 29/7869(2013.01) H01L 29/7869(2013.01)
출원번호/일자 1020150034586 (2015.03.12)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0110794 (2016.09.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양종헌 대한민국 대전시 유성 은구
2 변춘원 대한민국 대전광역시 유성구
3 조경익 대한민국 대전광역시 유성구
4 황치선 대한민국 대전시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2015-0244037-55
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번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상의 제 1 게이트 전극;상기 제 1 게이트 전극 상의 제 1 절연층; 상기 제 1 절연층 상의 채널층;상기 제 1 절연층 상에 배치되되, 상기 채널층을 사이에 두고 상호 이격되는 소스 전극 및 드레인 전극;상기 소스 전극, 상기 드레인 전극 및 상기 채널층을 덮는 제 2 절연층;상기 제 2 절연층 상의 제 2 게이트 전극; 및상기 제 1 절연층과 상기 채널층 사이의 터널링 절연층을 포함하되,평면적 관점에서, 상기 제 1 및 제 2 게이트 전극들 각각은 상기 채널층과 오버랩되고, 상기 터널링 절연층은 그의 하부에 상기 제 1 절연층과 접하는 나노 파티클들을 포함하는 산화물 반도체 소자
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국전자통신연구원 ETRI연구개발지원사업 미래광고 서비스를 위한 에너지절감형 환경적응 I/O (Input/Output) 플랫폼 기술 개발