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측정대상에 대한 디지털 홀로그램 데이터를 이용하여 3차원 측정 데이터를 획득하는 측정방법(S100)으로서, a) 측정대상을 홀로그램 측정방법을 이용하여 디지털 홀로그램 데이터를 획득하는 디지털 홀로그램 데이터 획득단계(S110); b) 디지털 홀로그램 데이터 획득단계(S110)로부터 획득한 디지털 홀로그램 데이터로부터 세기정보 데이터와 위상정보 데이터를 분리하는 데이터분리단계(S120); c) 세기정보 데이터로부터 측정대상의 패턴 영역을 분리하여 패턴인식 데이터를 추출하고, 각 패턴 영역에 인덱스정보를 부여하여 세그먼트 마스크 데이터를 작성하는 세기정보 산술처리단계(S130); d) 세그먼트 마스크 데이터를 위상정보 데이터와 융합하여 측정대상의 각 패턴의 3차원 데이터 구조를 생성하는 데이터 융합단계(S140); 및 e) 3차원 데이터 구조를 바탕으로 측정대상의 3차원 데이터를 추출하는 3차원 데이터 추출단계(S150);를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정방법
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측정대상에 대한 디지털 홀로그램 데이터를 이용하여 3차원 측정 데이터를 획득하는 측정방법(S100')으로서, a) 측정대상을 홀로그램 측정방법을 이용하여 디지털 홀로그램 데이터를 획득하는 디지털 홀로그램 데이터 획득단계(S110); b) 디지털 홀로그램 데이터 획득단계(S110)로부터 획득한 디지털 홀로그램 데이터로부터 세기정보 데이터와 위상정보 데이터를 분리하는 데이터분리단계(S120); c) 세기정보 데이터로부터 측정대상의 외각선, 꼭지점 또는 교차점 데이터를 포함하는 패턴 영역을 분리하여 패턴인식 데이터를 추출하고, 각 패턴 영역에 인덱스정보를 부여하여 세그먼트 마스크 데이터를 작성하는 세기정보 산술처리단계(S130'); d) 세그먼트 마스크 데이터를 위상정보 데이터와 융합하여 측정대상의 각 패턴의 3차원 데이터 구조를 생성하는 데이터 융합단계(S140); 및 e) 3차원 데이터 구조를 바탕으로 측정대상의 3차원 데이터를 추출하는 3차원 데이터 추출단계(S150);를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정방법
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 디지털 홀로그램 데이터 획득단계(S110)에서, 상기 홀로그램 측정방법은, 위상천이를 이용한 방법, Off-axis를 이용한 방법 및 In-line을 이용한 방법으로 구성된 군에서 하나 선택되는 것을 특징으로 하는 측정방법
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 디지털 홀로그램 데이터 획득단계(S110)는, 획득한 디지털 홀로그램 데이터를 Fresnel 복원 알고리즘 또는 Angular 복원 알고리즘을 이용하여 디지털 홀로그램 데이터를 가공 가능한 데이터로 복원하는 데이터복원단계(S115)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 측정방법
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제 1 항에 있어서, 상기 세기정보 산술처리단계(S130)는: c-1) 패턴 형태의 측정대상의 각 영역을 각기 따로 분리하는 패턴영역 분리단계(S131); c-2) 각 패턴 영역의 좌표 데이터를 추출하는 패턴영역 인식단계(S132); 및 c-3) 각 패턴 영역에 인덱스(index)를 부여하여 세그먼트 마스크 데이터를 작성하는 세그먼트 마스크 작성단계(S133);를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정방법
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제 2 항에 있어서, 상기 세기정보 산술처리단계(S130')는: c-1') 패턴 형태의 측정대상의 외각선, 꼭지점 또는 교차점 데이터를 포함하는 패턴 영역을 분리하여 패턴인식 데이터를 추출하고, 각 패턴 영역을 각기 따로 분리하는 패턴영역 분리단계(S131'); c-2) 각 패턴 영역의 좌표 데이터를 추출하는 패턴영역 인식단계(S132); 및 c-3) 각 패턴 영역에 인덱스(index)를 부여하여 세그먼트 마스크 데이터를 작성하는 세그먼트 마스크 작성단계(S133);를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정방법
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제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 패턴영역 분리단계(S131, S131')는, Circle detection 방법, Square detection 방법 및 Edge detection 방법으로 구성된 군에서 하나 이상 선택되는 방법을 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 측정방법
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제 7 항에 있어서, 상기 Circle detection 방법은 Hough transform에 기반을 둔 Circle detection 알고리즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 측정방법
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 데이터 융합단계(S140)는: d-1) 디지털 홀로그램 데이터의 위상정보 데이터에 세그먼트 마스크 데이터를 융합하는 제 1 데이터 융합단계(S141); d-2) 제 1 데이터 융합단계(S141)를 통해 획득한 융합 데이터를 바탕으로 측정대상의 패턴 영역을 인식하는 제 2 데이터 융합단계(S142); 및 d-3) 제 2 데이터 융합단계(S142)를 통해 인식된 측정대상의 패턴 영역에 대한 데이터를 3차원 데이터 구조(3D data structure) 형태로 저장하는 제 3 데이터 융합단계(S143);를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정방법
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 3차원 데이터 추출단계(S150)는: 측정대상으로부터 획득한 데이터를 바탕으로 전체 패턴 영역에 대한 균일도를 측정하는 균일도 측정단계(S155)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 측정방법
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제 1 항 또는 제 2 항에 따른 측정방법(S100, S100')에 의해 운용되는 것을 특징으로 하는 측정장치
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제 11 항에 있어서, 상기 측정장치는 마이크로 스케일의 투과형 광학소자를 측정하는 측정장치인 것을 특징으로 하는 측정장치
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제 11 항에 있어서, 상기 측정장치는 마이크로 스케일의 반사형 광학소자를 측정하는 측정장치인 것을 특징으로 하는 측정장치
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