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초박막 용액 공정 산화물 절연체의 대면적 인쇄방법(Large-Scale Precise Printing of Ultra-Thin Sol-Gel Oxide Dielectrics for Directly-Patterned Solution-Processed Metal Oxide Transistor Arrays)

  • 기술번호 : KST2017000968
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 높은 유전 상수를 지닌 산화물 졸겔의 아주 묽은 용액을 이용한 바코팅 방법을 이용하,여 수 나노미터 스케일의 정교한 두께를 조절하고 동시에 높은 유전율과 절연 특성을 지닌 산화물 절연막을 구현할 수 있으며, 또한 대면적화가 가능하다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02288(2013.01)
출원번호/일자 1020150101800 (2015.07.17)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0009556 (2017.01.25) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.07.02)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤명한 대한민국 광주광역시 북구
2 이원준 대한민국 광주광역시 광산구
3 노용영 대한민국 대전광역시 유성구
4 박원태 대한민국 세종특별자치시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송정부 대한민국 서울특별시 마포구 양화로 **, ***호 (서교동, 삼인빌딩)(송특허법률사무소)
2 신용현 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, *층(삼성동, 삼영빌딩)(이버드특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.07.17 수리 (Accepted) 1-1-2015-0695521-08
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2016.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2016-0456166-32
3 [특허법 제42조의3제2항,제42조의3제3항에 따른 국어번역문]서류제출서
 2016.09.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0898598-97
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.09.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0898654-56
5 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
 2020.07.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-0689116-96
6 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2020.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2020-0740400-90
7 보정요구서
Request for Amendment		 2020.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2020-0104544-08
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번호 청구항
1 1
산화물 절연체를 형성할 수 있는 전구체 용액을 준비하는 과정;상기 준비된 전구체 용액을 기판의 표면에 투입하는 과정;상기 기판 위에 투입된 상기 전구체 용액을 금속 와이어가 감겨진 바를 접촉시켜 일 방향으로 이동시키면서 상기 기판 위에 도포시켜 막을 형성시키는 과정; 및상기 형성된 막을 건조시키는 과정을 포함하는 초박막 용액 공정 산화물 절연체의 대면적 인쇄방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 포항공과대학교 나노기반 소프트 일렉트로닉스 연구 소프트 일렉트로닉스용 기능성 박막 개발