| 1 |
1
직교성을 갖는 불소계 소재 및 용매를 이용해 소자의 패턴 대상층을 형성하는 방법으로서,상기 불소계 소재로 인쇄하여 기판의 표면에 노출부와 비노출부를 구비한 마스크 템플릿을 형성하는 제1 단계와,상기 노출부를 패턴 대상물질로 코팅하는 제2 단계, 및 상기 비노출부를 상기 불소계 용매로 리프트-오프하여 상기 노출부에 상기 패턴 대상층을 형성하는 제3 단계를 포함하는 직교 패터닝 방법
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서, 상기 제2 단계에서는 상기 패턴 대상물질로 상기 비노출부의 표면을 더 코팅하는 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 3 |
3
청구항 2에 있어서, 상기 제1 단계 내지 제3 단계를 반복하여 상기 패턴 대상층을 좌우로 다중 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 4 |
4
청구항 2에 있어서, 상기 제1 단계 내지 제3 단계를 반복하여 상기 패턴 대상층을 상하로 다층 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 5 |
5
청구항 2에 있어서,상기 제1 단계와 제2 단계의 사이에서 상기 비노출부를 경화시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 6 |
6
청구항 2에 있어서, 상기 불소계 소재는 과불소계 소재를 포함하고, 상기 불소계 용매는 과불소계 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 7 |
7
청구항 6에 있어서, 상기 과불소계 소재는 폴리-1,1,2,4,4,5,5,6,7,7-데카플루오로-3-옥사-1,6-헵타디엔(Poly-1,1,2,4,4,5,5,6,7,7-decafluoro-3-oxa-1,6-heptadiene)과 퍼플루오로트리알킬아민(Perfluorotrialkylamine)을 혼합한 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 8 |
8
청구항 6에 있어서, 상기 과불소계 소재는 폴리[4,5-디플루오로-2,2-비스(트리플루오로메틸)-1,3-디옥솔-코-테트라플루오로에틸렌(Poly[4,5-difluoro-2,2-bis(trifluoromethyl)-1,3-dioxole-co-tetrafluoroethylene])인 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 9 |
9
청구항 6에 있어서, 상기 과불소계 소재는 폴리테트라플루오로에틸렌(Polytetrafluoroethylene ; PTFE)인 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 10 |
10
청구항 6에 있어서, 상기 과불소계 용매는 퍼플루오로트리-n-부틸아민(Perfluorotri-n-butylamine)과 퍼플루오로-n-디부틸메틸아민(Perfluoro-n-dibutylmethylamine)을 혼합한 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 11 |
11
청구항 2에 있어서, 상기 패턴 대상물질은 유기물, 무기물 또는 하이브리드 물질인 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 12 |
12
청구항 2에 있어서, 상기 기판은 단단하거나 유연한 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 13 |
13
청구항 2에 있어서, 상기 제1 단계 이전에 상기 기판의 표면을 상기 불소계 소재로 인쇄 가능한 형태로 사전처리하는 전처리 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 14 |
14
청구항 2에 있어서,상기 기판의 표면은 기능층을 더 구비하며, 상기 제1 단계는 상기 기능층 위에서 수행하는 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 15 |
15
청구항 2에 있어서, 상기 패턴 대상층은 반도체, 절연체, 전도체, 전극, 발광, 전하수송 중 어느 하나의 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 16 |
16
청구항 2에 있어서,상기 소자는 산화물 TFT(Thin Film Transistor), OTFT(Organic Thin Film Transistor), 메모리, 다이오드, OLED(Organic Light Emitting Diode), OLED 조명, 터치스크린패널, RFID(radio frequency identification) 태그, 세포 검출기 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 17 |
17
청구항 3에 있어서,상기 소자는 OLED 디스플레이 장치 또는 세포 검출기인 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 18 |
18
청구항 4에 있어서,상기 소자는 산화물 TFT 또는 OTFT인 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 19 |
19
청구항 2에 있어서, 상기 제2 단계에서의 코팅은 증착 또는 용액공정으로 수행하는 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
| 20 |
20
청구항 2에 있어서, 상기 기판의 표면은 평면 또는 비평면인 것을 특징으로 하는 직교 패터닝 방법
|
