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식물의 수액 흐름 측정용 마이크로 니들 프로브에 있어서,길이방향으로 상기 식물에 삽입되고, 두께 및 폭이 마이크로미터 단위인 기판; 상기 기판 상에 설치되며, 상기 수액의 흐름을 측정하기 위한 센서부; 및상기 기판 상에서 상기 기판의 길이방향으로 상기 센서부의 전방 및 후방 중 적어도 한 곳에 돌출 형성되며, 두께가 상기 센서부의 두께보다 큰 보호벽부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 니들 프로브
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청구항 1에 있어서,상기 기판의 일 단부가 예리하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 니들 프로브
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청구항 1에 있어서,상기 기판 중에서 식물에 삽입되는 측에 위치하는 박육부(薄肉部)는 반대 측에 위치하는 후육부(厚肉部)에 비하여 두께가 얇게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 니들 프로브
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청구항 1에 있어서,상기 기판 중에서 식물에 삽입되는 측과 반대측에 위치하며, 상기 기판의 폭 방향으로의 크기가 점차 커지도록 테이퍼진 경사면이 설치되어 있는 베이스부에 상기 기판의 길이 방향으로 돌출부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 니들 프로브
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식물의 수액 흐름 측정용 마이크로 니들 프로브에 있어서,길이방향으로 상기 식물에 삽입되고, 두께 및 폭이 마이크로미터 단위인 단일의 기판; 및상기 단일의 기판 상에 설치되며, 상기 수액의 흐름을 측정하기 위한 센서부를 포함하고,상기 센서부는,서로 상기 단일의 기판의 길이방향에 수직인 방향으로 이격되는 두 개의 온도 측정 센서; 및상기 두 개의 온도 측정 센서 사이에 제공되는 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 니들 프로브
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청구항 6에 있어서,상기 센서부의 온도 측정 센서는 금속 패턴의 저항 온도 계수(temperature coefficient of resistance)를 이용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 니들 프로브
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청구항 1에 있어서,상기 센서부는 상기 기판의 길이 방향으로 복수개 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 니들 프로브
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청구항 1에 있어서,상기 기판에 형성되는 공동부와;상기 공동부에 설치되는 서스펜션부(suspension)를 더 포함하며, 상기 센서부는 상기 서스펜션부 상에 설치되어 상기 센서부와 기판 사이의 열전달을 방지하는 것을 특징으로 하는 마이크로 니들 프로브
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청구항 10에 있어서,상기 서스펜션부는 양극산화 알루미늄(Anodized Aluminum Oxide)과 질화규소(SiN)의 박막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 니들 프로브
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청구항 1에 있어서,상기 센서부와 연결되는 BUS 선을 외부 터미널과 연결하고 패키징하는 컨택트 패드를; 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 니들 프로브
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식물의 수액 흐름 측정 장치에 있어서,전류를 발생시키는 전류 발생부와;상기 전류 발생부의 구동에 필요한 전원을 공급하는 전원 공급부와;청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 8, 청구항 10 내지 청구항 12 중 어느 한 항에 기재된 마이크로 니들 프로브로서, 상기 전류 발생부로부터 전류를 전달받고 식물에 삽입되어 목부 내의 수액과 접촉하여 측정 회로를 구성하는 마이크로 니들 프로브와;상기 마이크로 니들 프로브의 센서부로부터 측정되는 값으로부터 수액 흐름 속도(Sap Flow Density)를 산출하는 제어부를; 포함하는 것을 특징으로 하는 식물의 수액 흐름 측정 장치
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청구항 13에 있어서,상기 마이크로 니들 프로브는 복수개로 구성되어 식물의 복수 지점에서의 수액 흐름을 산출하는 것을 특징으로 하는 식물의 수액 흐름 측정 장치
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식물의 수액흐름 측정용 마이크로 니들 프로브를 제조하는 방법에 있어서,기판 상에 실리콘 산화층을 형성하는 단계;상기 실리콘 산화층의 상측에 수액의 흐름을 측정하기 위한 센서부를 패터닝하여 형성하는 단계; 및상기 기판의 길이방향으로 상기 센서부의 전방 및 후방 중 적어도 한 곳에 보호벽부를 형성하는 단계를 포함하고,상기 기판은, 길이방향으로 상기 식물에 삽입되며, 두께 및 폭이 마이크로미터 단위이고,상기 보호벽부의 두께는 상기 센서부의 두께보다 큰 것을 특징으로 하는 마이크로 니들 프로브 제조방법
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식물의 수액흐름 측정용 마이크로 니들 프로브를 제조하는 방법에 있어서,단일의 기판 상에 실리콘 산화층을 형성하는 단계; 및상기 실리콘 산화층의 상측에 수액의 흐름을 측정하기 위한 센서부를 패터닝하여 형성하는 단계를 포함하고,상기 센서부를 패터닝하여 형성하는 단계는,두 개의 온도 측정 센서를 상기 단일의 기판의 길이방향에 수직인 방향으로 이격시켜 형성하는 단계; 및상기 두 개의 온도 측정 센서 사이에 히터를 형성하는 단계를 포함하고,상기 단일의 기판은, 길이방향으로 상기 식물에 삽입되고, 두께 및 폭이 마이크로미터 단위인 것을 특징으로 하는 마이크로 니들 프로브 제조방법
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청구항 15에 있어서, 상기 실리콘 산화층 상에 다공성 박막으로 이루어지는 서스펜션부를 형성하는 단계; 및상기 기판에서 상기 서스펜션부의 아래에 위치하는 부분을 에칭하여 공동부를 형성하는 단계를; 더 포함하고,상기 센서부는 상기 서스펜션부 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 니들 프로브 제조방법
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청구항 15에 있어서,상기 기판의 일 단부를 실리콘 불순물 도핑과 선택적인 에칭을 수행하여 예리하게 형성하는 단계를; 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 니들 프로브 제조방법
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