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불소 원자가 결합된 그래핀 산화물을 포함하는 가스센서 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019011534
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 불소 원자가 결합된 그래핀 산화물을 포함하는 가스센서 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 구체적으로 실리콘 산화막이 증착된 기판; 상기 실리콘 산화막 상부에 다수의 전극이 교대로 배열된 IDE(interdigitated electrode) 패턴 형태로 형성된 전극; 및 상기 전극 상부에 형성된 불소 원자가 결합된 그래핀 산화물;을 포함하는 것을 특징으로 하는 불소 원자가 결합된 그래핀 산화물을 포함하는 가스센서 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL G01N 27/407 (2006.01.01) G01N 27/407 (2006.01.01) B05D 3/10 (2006.01.01) B05D 1/26 (2006.01.01) G01N 33/00 (2006.01.01) G01N 33/00 (2006.01.01) G01N 33/00 (2006.01.01)
CPC G01N 27/407(2013.01) G01N 27/407(2013.01) G01N 27/407(2013.01) G01N 27/407(2013.01) G01N 27/407(2013.01) G01N 27/407(2013.01) G01N 27/407(2013.01) G01N 27/407(2013.01) G01N 27/407(2013.01) G01N 27/407(2013.01) G01N 27/407(2013.01)
출원번호/일자 1020140148680 (2014.10.29)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1606148-0000 (2016.03.18)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20160325) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.29)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장호원 대한민국 서울특별시 관악구
2 최유림 대한민국 경기도 하남시 상

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교 산학협력단 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2014-1043108-84
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.12.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.02.05 수리 (Accepted) 9-1-2016-0008518-23
6 등록결정서
Decision to grant		 2016.03.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0186260-62
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
그래핀 산화물에 불소화제 및 강산을 혼합하고 가열한 후 증류수에 분산시켜 불소 원자가 결합된 그래핀 산화물의 현탁액을 제조하는 단계;기판 위에 포토리소그래피로 인터디지테이티드 전극(interdigitated electrode) 패턴을 형성시킨 후 금속을 증착시켜 금속이 증착된 인터디지테이티드 전극을 제조하는 단계; 및상기 금속이 증착된 인터디지테이티드 전극에 상기 제조된 불소 원자가 결합된 그래핀 산화물 현탁액을 적하하여 불소 원자가 결합된 그래핀 산화물을 전극에 부착시켜 센서를 제조하는 단계;를 포함하는 불소 원자가 결합된 그래핀 산화물을 포함하는 가스센서의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 불소화제는 [Et2NSF2]BF4인 것을 특징으로 하는 불소 원자가 결합된 그래핀 산화물을 포함하는 가스센서의 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 불소화제는 그래핀 산화물 총중량에 대해 1 ~ 2의 중량비로 혼합되는 것을 특징으로 하는 불소 원자가 결합된 그래핀 산화물을 포함하는 가스센서의 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 강산은 불산, 염산, 황산 및 질산으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 불소 원자가 결합된 그래핀 산화물을 포함하는 가스센서의 제조방법
5 5
제1항에 있어서,상기 강산은 그래핀 산화물 10 mg 당 10 ~ 20 mL로 혼합되는 것을 특징으로 하는 불소 원자가 결합된 그래핀 산화물을 포함하는 가스센서의 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 가열은 100 ~ 250 ℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 불소 원자가 결합된 그래핀 산화물을 포함하는 가스센서의 제조방법
7 7
제1항에 있어서,상기 기판은 SiO2 또는 Al2O3인 것을 특징으로 하는 불소 원자가 결합된 그래핀 산화물을 포함하는 가스센서의 제조방법
8 8
제1항에 있어서,상기 금속은 Pt, Au 및 Pd로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 불소 원자가 결합된 그래핀 산화물을 포함하는 가스센서의 제조방법
9 9
제1항에 있어서,상기 부착은 드롭 캐스팅법(drop-casting)을 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 불소 원자가 결합된 그래핀 산화물을 포함하는 가스센서의 제조방법
10 10
실리콘 산화막이 증착된 기판; 상기 실리콘 산화막 상부에 다수의 전극이 교대로 배열된 IDE(interdigitated electrode) 패턴 형태로 형성된 전극; 및상기 전극 상부에 형성된 불소 원자가 결합된 그래핀 산화물;을 포함하는 것을 특징으로 하는 불소 원자가 결합된 그래핀 산화물을 포함하는 가스센서
11 11
제10항에 있어서,상기 가스센서는 질소 가스, 암모니아 가스 및 수소 가스 검출용인 것을 특징으로 하는 가스센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 서울대학교 산학협력단 글로벌프런티어연구개발사업 모바일 실시간 환경 모니터링용 2차원 나노물질 기반고감도·고신뢰성·저소비 전력 화학센서 어레이 개발