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복수개의 EUV(Extreme Ultraviolet) 투과층 및 열방출층이 교대로 적층된 펠리클 멤브레인을 준비하는 단계; 및 상기 펠리클 멤브레인의 상기 열방출층이 노출된 가장자리 측면(sidewall) 상에 상기 펠리클 멤브레인으로부터 열을 흡수하는 냉각구조체를 배치하는 단계를 포함하되, 상기 열방출층은 복수개의 상기 EUV 투과층 사이에 배치되고, 상기 열방출층의 상기 가장자리 측면이 상기 냉각구조체와 직접 접촉하는 것을 포함하는 EUV 펠리클 구조체의 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 냉각구조체는, 제1 방향으로 서로 마주보며 연장하는 제1 및 제2 부분, 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 서로 마주보며 연장하는 제3 및 제4 부분을 포함하고, 상기 제1 내지 제4 부분은 일체(one body)로 구성되고, 상기 냉각구조체를 배치하는 단계는, 일체의 상기 냉각구조체 내에 상기 펠리클 멤브레인을 삽입하는 것을 포함하는 EUV 펠리클 구조체의 제조 방법
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제2 항에 있어서, 상기 냉각구조체는, 상기 제1 내지 제4 부분으로 둘러싸인 내부로 돌출된 수용부를 더 포함하고, 상기 냉각구조체를 배치하는 단계는, 상기 냉각구조체의 상기 수용부 상에 상기 펠리클 멤브레인이 배치되도록, 상기 냉각구조체 내에 상기 펠리클 멤브레인을 삽입하는 것을 포함하는 EUV 펠리클 구조체의 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 냉각구조체는, 제1 방향으로 서로 마주보며 연장하는 제1 및 제2 세그먼트(segment), 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 서로 마주보며 연장하는 제3 및 제4 세그먼트를 포함하고,상기 냉각구조체를 배치하는 단계는, 상기 제1 내지 제4 세그먼트를 독립적으로 상기 펠리클 멤브레인에 부착시키는 것을 포함하는 EUV 펠리클 구조체의 제조 방법
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제4 항에 있어서, 상기 냉각구조체는, 상기 제1 내지 제4 세그먼트로 둘러싸인 내부로 돌출된 수용부를 더 포함하고, 상기 냉각구조체를 배치하는 단계는,상기 냉각구조체의 상기 수용부 상에 상기 펠리클 멤브레인이 배치되도록, 상기 냉각구조체 내에 상기 펠리클 멤브레인을 삽입하는 것을 포함하는 EUV 펠리클 구조체의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 열방출층은, 상기 EUV 투과층으로부터 흡수한 열을 상기 냉각구조체로 전달하고,상기 냉각구조체는, 상기 EUV 투과층 및 상기 열방출층으로부터 흡수한 열을 외부로 방열하는 것을 포함하는 EUV 펠리클 구조체의 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 냉각구조체를 배치하기 전, 펠리클 프레임을 준비하는 단계; 및상기 펠리클 프레임 상에 상기 펠리클 멤브레인을 부착시키는 단계를 더 포함하는 EUV 펠리클 구조체의 제조 방법
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제7 항에 있어서, 상기 냉각구조체는, 상기 펠리클 프레임의 외면을 덮는 것을 포함하는 EUV 펠리클 구조체의 제조 방법
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복수개의 EUV(Extreme Ultraviolet) 투과층 및 열방출층이 교대로 적층된 펠리클 멤브레인; 및 상기 펠리클 멤브레인의 상기 열방출층이 노출된 가장자리 측면(sidewall) 상에 배치되어 상기 펠리클 멤브레인을 둘러싸고, 상기 펠리클 멤브레인으로부터 열을 흡수하는 냉각구조체를 포함하되, 상기 열방출층은 복수개의 상기 EUV 투과층 사이에 배치되고, 상기 열방출층의 상기 가장자리 측면이 상기 냉각구조체와 직접 접촉하는 것을 포함하는 EUV 펠리클 구조체
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제9 항에 있어서,상기 냉각구조체는, 상기 펠리클 멤브레인의 상기 열방출층과 직접 접촉(directly contact)하여 상기 열방출층으로부터 열을 전달받는 내면, 및 외부로 열을 방출하는 외면을 포함하는 EUV 펠리클 구조체
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제9 항에 있어서,상기 냉각구조체의 외면은, 돌출된 패턴 형상을 갖는 것을 포함하는 EUV 펠리클 구조체
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제9 항에 있어서, 상기 냉각구조체는, 상기 펠리클 멤브레인이 배치되는 상기 냉각구조체의 내부로 도출된 수용부를 더 포함하고, 상기 펠리클 멤브레인은 상기 수용부 상에 배치되는 것을 포함하는 EUV 펠리클 구조체
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제9 항에 있어서,상기 펠리클 멤브레인을 지지하고, 상기 냉각구조체로 둘러싸인 펠리클 프레임을 더 포함하는 EUV 펠리클 구조체
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