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기판;상기 기판 상에 위치하되, 산화물계 물질을 포함하는 수직자기이방성 유도층;상기 수직자기이방성 유도층 상에 위치하되, 반강자성물질을 포함하는 수직반강자성층;상기 수직반강자성층 상에 위치하되, 수직자기이방성을 갖는 제1 강자성층;상기 제1 강자성층 상에 위치하는 터널링 배리어층; 및상기 터널링 배리어층 상에 위치하되, 수직자기이방성을 갖는 제2 강자성층을 포함하고,상기 반강자성물질은 Fe, Co 및 Mn로 구성된 군에서 선택된 어느 하나를 포함하는 합금이며,상기 수직반강자성층은 상기 수직자기이방성 유도층과의 계면의 수직 결정 배향성에 의한 수직자기이방성이 발생됨으로써, 상기 수직반강자성층 및 상기 제1 강자성층 간에 교환자기이방성이 발생되는 것을 특징으로 하는 수직자기이방성을 갖는 MTJ 구조
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제1항에 있어서,상기 산화물계 물질은 금속산화물인 것을 특징으로 하는 수직자기이방성을 갖는 MTJ 구조
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제2항에 있어서,상기 금속산화물은 코발트산화물, 니켈산화물 또는 철산화물을 포함하는 수직자기이방성을 갖는 MTJ 구조
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제1항에 있어서,상기 제1 강자성층은 Fe, Co, Ni, B, Si, Zr, Pt, Tb, Pd, Cu, W, Ta 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 수직자기이방성을 갖는 MTJ 구조
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제1항에 있어서,상기 제1 강자성층은 상기 수직반강자성층과의 교환자기이방성에 의하여 보자력을 확보하는 것을 특징으로 하는 수직자기이방성을 갖는 MTJ 구조
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7
제1항에 있어서,상기 수직반강자성층 및 상기 제1 강자성층 사이에 위치하되, 비자성금속을 포함하는 스페이서층을 더 포함하는 수직자기이방성을 갖는 MTJ 구조
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제7항에 있어서,상기 수직반강자성층 및 상기 스페이서층 사이에 위치하되, 강자성물질을 포함하는 인접 강자성층을 더 포함하는 수직자기이방성을 갖는 MTJ 구조
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기판;상기 기판 상에 위치하되, 수직자기이방성을 갖는 제1 강자성층;상기 제1 강자성층 상에 위치하는 터널링 배리어층;상기 터널링 배리어층 상에 위치하되, 수직자기이방성을 갖는 제2 강자성층;상기 제2 강자성층 상에 위치하되, 반강자성물질을 포함하는 수직반강자성층; 및상기 수직반강자성층 상에 위치하되, 산화물계 물질을 포함하는 수직자기이방성 유도층을 포함하고,상기 반강자성물질은 Fe, Co 및 Mn로 구성된 군에서 선택된 어느 하나를 포함하는 합금이고,상기 수직반강자성층은 상기 수직자기이방성 유도층과의 계면의 수직 결정 배향성에 의한 수직자기이방성이 발생됨으로써, 상기 수직반강자성층 및 상기 제1 강자성층 간에도 교환자기이방성이 발생되는 것을 특징으로 하는 수직자기이방성을 갖는 MTJ 구조
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제9항에 있어서,상기 제2 강자성층은 Fe, Co, Ni, B, Si, Zr, Pt, Tb, Pd, Cu, W, Ta 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 수직자기이방성을 갖는 MTJ 구조
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제9항에 있어서,상기 제2 강자성층은 상기 수직반강자성층과의 교환자기이방성에 의하여 보자력을 확보하는 것을 특징으로 하는 수직자기이방성을 갖는 MTJ 구조
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제9항에 있어서,상기 제2 강자성층 및 상기 수직반강자성층 사이에 위치하되, 비자성금속을 포함하는 스페이서층을 더 포함하는 수직자기이방성을 갖는 MTJ 구조
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제13항에 있어서,상기 스페이서층 및 상기 수직반강자성층 사이에 위치하되, 강자성물질을 포함하는 인접 강자성층을 더 포함하는 수직자기이방성을 갖는 MTJ 구조
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복수개의 디짓 라인들;상기 디짓 라인들의 상부를 가로지르는 복수개의 비트 라인들; 및상기 디짓 라인과 상기 비트 라인 사이에 개재된 제1항 내지 제 3항 및 제5항 내지 9항, 제 11항 내지 14항 중 어느 한 항의 MTJ 구조를 포함하는 자성소자
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