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1
기판 상에 하부 전극, 버퍼층, 시드층, 자기 터널 접합, 캐핑층, 합성 교환 반자성층 및 상부 전극이 적층 형성되고,상기 자기 터널 접합은 제 1 자유층 및 제 2 자유층 사이에 분리층이 형성된 자유층과, 터널링 배리어 및 고정층을 포함하며,상기 분리층은 400℃ 이상의 온도에서 결정화되는 다결정의 도전 물질로 형성된 메모리 소자
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2
청구항 1에 있어서, 상기 시드층과 상기 제 1 자유층 사이에 형성된 하부 배리어를 더 포함하는 메모리 소자
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3
청구항 2에 있어서, 상기 하부 배리어는 상기 터널링 배리어와 동일 물질로 형성된 메모리 소자
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4 |
4
삭제
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5 |
5
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 분리층은 텅스텐으로 형성된 메모리 소자
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6 |
6
청구항 5에 있어서, 상기 분리층은 0
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7 |
7
청구항 2에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 자유층은 동일 두께 또는 다른 두께로 형성된 메모리 소자
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8 |
8
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 하부 전극, 시드층 및 캐핑층의 적어도 어느 하나는 400℃ 이상의 온도에서 결정화되는 물질로 형성된 메모리 소자
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9 |
9
청구항 8에 있어서, 상기 하부 전극, 시드층 및 캐핑층의 적어도 어느 하나는 텅스텐으로 형성된 메모리 소자
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10 |
10
청구항 1에 있어서, 상기 자기 터널 접합은 400℃ 이상의 열처리 후의 자화 변화의 스퀘어니스가 0
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11 |
11
기판 상에 하부 전극, 버퍼층, 시드층, 자기 터널 접합, 캐핑층, 합성 교환 반자성층 및 상부 전극이 적층 형성되고,상기 자기 터널 접합은 제 1 자유층 및 제 2 자유층 사이에 분리층이 형성된 자유층과, 터널링 배리어 및 고정층을 포함하며,상기 하부 전극, 시드층, 분리층 및 캐핑층의 적어도 어느 하나는 400℃ 이상의 온도에서 결정화되는 다결정의 도전 물질로 형성된 메모리 소자
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12
삭제
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13
청구항 11에 있어서, 상기 다결정의 도전 물질은 텅스텐을 포함하는 메모리 소자
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기판 상에 하부 전극, 버퍼층, 시드층, 자기 터널 접합, 캐핑층, 합성 교환 반자성층 및 상부 전극을 적층 형성하고,상기 자기 터널 접합은 제 1 자유층, 분리층 및 제 2 자유층을 형성한 후 터널링 배리어 및 고정층을 형성하며, 상기 분리층은 다결정의 도전 물질로 형성하고,상기 상부 전극을 형성한 후 400℃ 내지 500℃의 열처리를 실시하는 메모리 소자의 제조 방법
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