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반도체 기판에 돌출되게 구비된 반도체 바디; 상기 반도체 바디 상에 구비된 게이트 절연막; 상기 게이트 절연막 상에 구비된 플로팅 전극; 상기 플로팅 전극의 적어도 일 측면과 마주하며 수평으로 이격되어 구비된 제어 전극; 상기 제어 전극 및 상기 플로팅 전극의 적어도 수평으로 대향하는 측벽 상에 배치된 감지물질층; 및 상기 플로팅 전극을 사이에 두고 상기 반도체 바디에 구비된 소스/드레인을 포함하는 FET형 센서의 구동방법에 있어서,상기 제어 전극에 하나 또는 둘 이상의 펄스 형태의 읽기 준비 전압(pre-bias(Vpre))를 인가하는 읽기 준비 단계; 및 상기 제어 전극에 하나 또는 둘 이상의 펄스 형태의 읽기 전압(read-bias (VrCG) )을 인가하고, 상기 드레인과 소스 사이에는 상기 읽기 전압 펄스와 동기화된 펄스 전압(VrDS )을 인가하는 읽기 단계;를 구비하고, pre-bias와 read-bias 펄스의 크기, 폭, 순서, 개수를 조합하여 인가하는 것을 특징으로 하는 FET형 센서의 펄스 구동방법
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제 1항에 있어서, 상기 읽기 준비 단계와 상기 읽기 단계는 교대로(alternatively) 수행되는 것을 특징으로 하며,읽기 준비 단계에서 pre-bias 펄스가 인가되는 동안 소스와 드레인 사이의 전압은 0V 가 유지되는 것을 특징으로 하는 FET형 센서의 펄스 구동방법
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제 1항에 있어서, 상기 읽기 준비 단계와 상기 읽기 단계는 반복하여 교대로 수행되되, 상기 읽기 준비 단계들 중 첫번째 읽기 준비 단계에서는 제어 전극에 하나 또는 둘 이상의 음의 pre-bias 펄스를 인가하고, 두번째 읽기 준비 단계에서는 제어 전극에 하나 또는 둘 이상의 양의 pre-bias 펄스를 인가하거나, 상기 읽기 준비 단계들 중 첫번째 읽기 준비 단계에서는 제어 전극에 하나 또는 둘 이상의 양의 pre-bias 펄스를 인가하고, 두번째 읽기 준비 단계에서는 제어 전극에 하나 또는 둘 이상의 음의 pre-bias 펄스를 인가하는 것을 특징으로 하며,읽기 준비 단계들에서 pre-bias 펄스가 인가되는 동안 소스와 드레인 사이의 전압은 0V 가 유지되는 것을 특징으로 하는 FET형 센서의 펄스 구동방법
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제 1항에 있어서, 산화성 가스를 감지하는 경우, 음의 pre-bias 펄스를 인가하는 읽기 준비 단계 및 read-bias 펄스를 인가하는 읽기 단계를 순차적으로 수행하며, 환원성 가스를 감지하는 경우, 양의 pre-bias 펄스를 인가하는 읽기 준비 단계 및 read-bias 펄스를 인가하는 읽기 단계를 순차적으로 수행하는 것을 특징으로 하며,읽기 준비 단계에서 pre-bias 펄스가 인가되는 동안 소스와 드레인 사이의 전압은 0V 가 유지되는 것을 특징으로 하는 FET형 센서의 펄스 구동방법
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제 1항에 있어서, 상기 FET형 센서의 제어 전극이 사전 설정된 길이로 이루어져 히터 전극으로도 사용되도록 구성되고, 상기 펄스 구동 방법은, 상기 제어 전극에 하나 또는 둘 이상의 펄스 형태의 히팅 전압(heating-bias)을 인가하는 히팅 단계;를 더 구비하고, 상기 heating-bias 펄스의 크기, 폭, 순서, 개수를 조합하여 인가하는 것을 특징으로 하는 FET형 센서의 펄스 구동방법
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제 5항에 있어서, 상기 히팅 단계는 읽기 준비 단계와 읽기 단계보다 먼저 수행되되, 상기 읽기 준비 단계와 읽기 단계는 교대로 수행되며,상기 히팅 단계와 읽기 준비 단계에서는 드레인과 소스 사이의 전압은 0V로 유지하는 것을 특징으로 하는 FET형 센서의 펄스 구동방법
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제 5항에 있어서, 상기 히팅 단계는 읽기 준비 단계 및 읽기 단계보다 먼저 수행되되,상기 읽기 준비 단계와 상기 읽기 단계는 반복하여 교대로 수행되는 것을 특징으로 하며, 상기 읽기 준비단계 중 첫번째 읽기 준비 단계에서는 제어 전극에 하나 또는 둘 이상의 음의 pre-bias 펄스를 인가하고, 두번째 읽기 준비 단계에서는 제어 전극에 하나 또는 둘 이상의 양의 pre-bias 펄스를 인가하거나, 상기 읽기 준비단계 중 첫번째 읽기 준비 단계에서는 제어 전극에 하나 또는 둘 이상의 양의 pre-bias 펄스를 인가하고, 두번째 읽기 준비 단계에서는 제어 전극에 하나 또는 둘 이상의 음의 pre-bias 펄스를 인가하는 것을 특징으로 하며,상기 히팅 단계와 읽기 준비 단계에서는 드레인과 소스 사이의 전압은 0V로 유지하는 것을 특징으로 하는 FET형 센서의 펄스 구동방법
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제 5항에 있어서, 상기 히팅 단계는 읽기 준비 단계 및 읽기 단계보다 먼저 수행되되,산화성 가스를 감지하는 경우, 음의 pre-bias 펄스를 인가하는 읽기 준비 단계 및 read-bias 펄스를 인가하는 읽기 단계를 순차적으로 수행하며, 환원성 가스를 감지하는 경우, 양의 pre-bias 펄스를 인가하는 읽기 준비 단계 및 read-bias 펄스를 인가하는 읽기 단계를 순차적으로 수행하는 것을 특징으로 하며,상기 히팅 단계와 읽기 준비 단계에서는 드레인과 소스 사이의 전압은 0V로 유지하는 것을 특징으로 하는 FET형 센서의 펄스 구동방법
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제 5항에 있어서, 상기 히팅 단계는 읽기 준비 단계와 읽기 단계보다 먼저 수행되되, 히팅 단계 및 읽기 단계가 순차적으로 수행되거나 히팅 단계, 읽기 준비 단계 및 읽기 단계가 순차적으로 수행되는 것을 특징으로 하며,상기 히팅 단계와 읽기 준비 단계에서는 드레인과 소스 사이의 전압은 0V로 유지하는 것을 특징으로 하는 FET형 센서의 펄스 구동방법
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제 9항에 있어서, 히팅 단계 및 읽기 단계가 순차적으로 수행되는 과정 또는 히팅 단계, 읽기 준비 단계 및 읽기 단계가 순차적으로 수행되는 과정이 두번 이상 반복되는 것을 특징으로 하는 FET 형 센서의 펄스 구동 방법
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제 5항에 있어서, 상기 읽기 단계 및 히팅 단계가 순차적으로 수행되는 과정이 한 번 또는 두 번 이상 반복되는 것을 특징으로 하며,상기 히팅 단계에서는 드레인과 소스 사이의 전압은 0V로 유지하는 것을 특징으로 하는 FET형 센서의 펄스 구동방법
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제 1항에 있어서, 상기 FET 형 센서는 상기 플로팅 전극의 적어도 일 측면과 마주하며 수평으로 이격되어 구비되되 특정 길이로 이루어진 히터 전극을 더 구비하는 것을 특징으로 하며, 상기 히터 전극에 하나 또는 둘 이상의 펄스 형태의 히팅 전압(heating-bias)을 인가하는 히팅 단계;를 더 구비하고, 상기 heating-bias 펄스의 크기, 폭, 순서, 개수를 조합하여 인가하는 것을 특징으로 하는 FET형 센서의 펄스 구동방법
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제 12항에 있어서, 상기 히팅 단계는 읽기 준비 단계와 읽기 단계보다 먼저 수행되되, 상기 읽기 준비 단계와 읽기 단계는 교대로 수행되며,상기 히팅 단계와 읽기 준비 단계에서는 드레인과 소스 사이의 전압은 0V로 유지하는 것을 특징으로 하는 FET형 센서의 펄스 구동방법
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제 12항에 있어서, 상기 히팅 단계는 읽기 준비 단계 및 읽기 단계보다 먼저 수행되되,상기 읽기 준비 단계와 상기 읽기 단계는 반복하여 교대로 수행되는 것을 특징으로 하며, 상기 읽기 준비 단계 중 첫번째 읽기 준비 단계에서는 제어 전극에 하나 또는 둘 이상의 음의 pre-bias 펄스를 인가하고, 두번째 읽기 준비 단계에서는 제어 전극에 하나 또는 둘 이상의 양의 pre-bias 펄스를 인가하거나, 상기 읽기 준비 단계 중 첫번째 읽기 준비 단계에서는 제어 전극에 하나 또는 둘 이상의 양의 pre-bias 펄스를 인가하고, 두번째 읽기 준비 단계에서는 제어 전극에 하나 또는 둘 이상의 음의 pre-bias 펄스를 인가하며,상기 히팅 단계와 읽기 준비 단계에서는 드레인과 소스 사이의 전압은 0V로 유지하는 것을 특징으로 하는 FET형 센서의 펄스 구동방법
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제 12항에 있어서, 상기 히팅 단계는 읽기 준비 단계 및 읽기 단계보다 먼저 수행되되,산화성 가스를 감지하는 경우, 음의 pre-bias 펄스를 인가하는 읽기 준비 단계 및 read-bias 펄스를 인가하는 읽기 단계를 순차적으로 수행하며, 환원성 가스를 감지하는 경우, 양의 pre-bias 펄스를 인가하는 읽기 준비 단계 및 read-bias 펄스를 인가하는 읽기 단계를 순차적으로 수행하는 것을 특징으로 하며,상기 히팅 단계와 읽기 준비 단계에서는 드레인과 소스 사이의 전압은 0V로 유지하는 것을 특징으로 하는 FET형 센서의 펄스 구동방법
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제 12항에 있어서, 상기 히팅 단계는 읽기 준비 단계와 읽기 단계보다 먼저 수행되되, 히팅 단계 및 읽기 단계가 순차적으로 수행되거나 히팅 단계, 읽기 준비 단계 및 읽기 단계가 순차적으로 수행되는 것을 특징으로 하며,상기 히팅 단계와 읽기 준비 단계에서는 드레인과 소스 사이의 전압은 0V로 유지하는 것을 특징으로 하는 FET형 센서의 펄스 구동방법
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제 16항에 있어서, 히팅 단계 및 읽기 단계가 순차적으로 수행되는 과정 또는 히팅 단계, 읽기 준비 단계 및 읽기 단계가 순차적으로 수행되는 과정이 두 번 이상 반복되는 것을 특징으로 하는 FET 형 센서의 펄스 구동 방법
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제 12항에 있어서, 상기 읽기 단계 및 히팅 단계가 순차적으로 수행되는 과정이 한 번 또는 두 번 이상 반복되는 것을 특징으로 하며,상기 히팅 단계에서는 드레인과 소스 사이의 전압은 0V로 유지하는 것을 특징으로 하는 FET형 센서의 펄스 구동방법
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제 12항에 있어서, 상기 히팅 단계의 heating-bias 펄스와 읽기 준비 단계의 pre-bias 펄스는 적어도 일부가 서로 겹치도록 인가되고, 읽기 단계의 read-bias 펄스가 인가되거나상기 히팅 단계의 heating-bias 펄스와 read-bias 펄스는 적어도 일부가 서로 겹치도록 인가되는 것을 특징으로 하며, 상기 히팅 단계와 읽기 준비 단계에서는 드레인과 소스 사이의 전압은 0V로 유지하는 것을 특징으로 하는 FET형 센서의 펄스 구동방법
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