맞춤기술찾기

이전대상기술

금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법(Method for manufacturing thin films comprising metal/chalconide)

  • 기술번호 : KST2018000947
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 기판 상에 금속 산화물을 형성하는 단계, 상기 금속 산화물 상에, 상기 금속 산화물의 금속과 반응하고 S, Se, 또는 Te 중 어느 하나를 포함하는 반응원소를 갖는 반응 소스를 제공하는 동시에, 조성 조절 가스를 제공하는 단계, 및 열처리 공정을 통해, 상기 금속 산화물과 상기 반응 소스를 반응시켜, 상기 금속 산화물을 상기 금속 및 상기 반응원소의 화합물을 포함하는 물질막으로 형성하는 단계를 포함하되, 상기 금속 산화물 상에 제공되는 상기 조성 조절 가스의 유량에 따라, 상기 물질막 내의 상기 금속 및 상기 반응원소의 조성비가 조절되는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법이 제공될 수 있다.
Int. CL H01L 31/0392 (2016.07.05) H01L 31/18 (2016.07.05) C23C 16/455 (2016.07.05) C23C 16/52 (2016.07.05)
CPC H01L 31/0392(2013.01) H01L 31/0392(2013.01) H01L 31/0392(2013.01) H01L 31/0392(2013.01) H01L 31/0392(2013.01) H01L 31/0392(2013.01)
출원번호/일자 1020160068080 (2016.06.01)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1821884-0000 (2018.01.18)
공개번호/일자 10-2018-0001603 (2018.01.05) 문서열기
공고번호/일자 (20180125) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.06.01)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 전형탁 대한민국 서울 노원구
2 함기열 대한민국 서울 서대문구
3 신석윤 대한민국 경기 고양시 일산서구
4 박주현 대한민국 서울 성동구
5 이승진 대한민국 경기도 고양시 일산서구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-0528609-89
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.01.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0001141-41
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0369109-13
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.07.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0721816-96
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-0721815-40
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0743128-43
8 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2017.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2017-1180361-57
9 법정기간연장승인서
2017.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0171561-30
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-1291438-44
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.12.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-1291439-90
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2018.01.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0030134-28
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 주석 산화물을 형성하는 단계;상기 주석 산화물 상에, 상기 주석 산화물의 주석과 반응하고 황을 갖는 파우더(powder) 형태의 반응 소스를 제공하는 동시에, 수소 가스(H2 gas) 및 질소 가스(N2 gas)를 포함하는 조성 조절 가스를 제공하는 단계; 및열처리 공정을 통해, 상기 주석 산화물과 상기 반응 소스를 반응시켜, 상기 주석 산화물을 주석황화물을 포함하는 물질막으로 형성하는 단계를 포함하되,상기 주석 산화물 상에 제공되는 상기 조성 조절 가스의 유량 및 상기 열처리 공정 온도에 따라, 상기 물질막 내의 주석 및 황의 조성비가 조절되고, 상기 열처리 공정의 온도가 500℃인 경우, 상기 물질막에 대한 XPS 결과 O 1s 피크가 관찰되지 않는 것을 포함하는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
2 2
제1 항에 있어서,원자층 증착법(Atomic Layer Deposition, ALD)에 의해, 상기 기판 상에 상기 주석 산화물이 형성되는 것을 포함하는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
3 3
제2 항에 있어서,상기 원자층 증착법을 반복적으로 수행하여, 상기 기판 상에 형성되는 상기 주석 산화물의 두께가 조절되는 것을 포함하는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
4 4
제1 항에 있어서,상기 기판 상에 형성된 상기 주석 산화물은, 2차원의 박막 구조인 것을 포함하는 금속/킬코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
제1 항에 있어서,상기 반응 소스에 대한 상기 조성 조절 가스의 유량비가 감소할수록, 상기 주석 산화물의 주석과 반응하는 황의 양이 증가되는 것을 포함하는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
8 8
제1 항에 있어서,반응 부산물로 황화수소(H2S) 가스가 생성되는 것을 포함하는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
9 9
제1 항에 있어서,상기 열처리 공정의 온도가 증가함에 따라, 상기 물질막 내에 황의 함량이 증가하는 것을 포함하는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 (재)한국연구재단 원천기술개발사업 / 나노소재 기술개발사업 / 나노소재 원천기술개발사업 2차원 황화물의 대면적 저온공정 개발