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대면적 그레인을 가지는 패턴, 및 이의 제조방법(Pattern having a large grain, and method for preparing the same)

  • 기술번호 : KST2018006002
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판 상에 도포된 블록공중합체를 FLA 방식의 램프로 광조사하여 자기조립 패턴을 형성하는 패턴 제조방법 및 이로부터 제조되는 대면적 패턴에 관한 것으로, 수 내지 수십 밀리초(㎳)의 매우 짧은 어닐링 시간에도 패턴이 효과적으로 형성될 뿐 아니라, 대면적으로 동일한 배향이 가능하여 대면적의 그레인을 가지는 패턴을 형성할 수 있다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01) C08L 25/08 (2006.01.01) C08L 83/10 (2006.01.01) C08L 33/12 (2006.01.01) G03F 7/028 (2006.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020170148675 (2017.11.09)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-2145404-0000 (2020.08.11)
공개번호/일자 10-2018-0052105 (2018.05.17) 문서열기
공고번호/일자 (20200819) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020160148810   |   2016.11.09
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.09)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상욱 대전광역시 유성구
2 이건재 대전광역시 유성구
3 진형민 대전광역시 유성구
4 박대용 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2017-1112399-53
2 직권정정안내서
Notification of Ex officio Correction		 2017.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0166558-85
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0298115-13
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.06.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0648449-65
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2019-0648571-27
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2019.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0788516-12
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2019.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-1353175-43
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2020.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2020-0094880-50
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.01.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-0094844-16
11 등록결정서
Decision to grant		 2020.05.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0332776-73
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 도포된 블록공중합체를 FLA 방식의 램프로 펄스형의 광을 하기 식 2를 만족하도록 조사하여 자기조립 패턴을 형성하는, 패턴 제조방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 블록공중합체는 600℃에서의 분리 강도(χN)가 10
3 3
제 1항에 있어서,상기 광조사는 1초 이하의 시간동안 수행되는, 패턴 제조방법
4 4
제 1항에 있어서,상기 광조사에 의해 블록공중합체의 온도가 400℃ 이상으로 가열되는, 패턴 제조방법
5 5
제 1항에 있어서,상기 FLA 방식의 램프는 제논 플래시 램프인, 패턴 제조방법
6 6
제 1항에 있어서,상기 기판은 광열변환층을 더 포함하는 것인, 패턴 제조방법
7 7
제 6항에 있어서,상기 광열변환층은 그래핀, 그래핀 산화물 및 카본블랙 중에서 선택된 하나 또는 둘 이상을 포함하는, 패턴 제조방법
8 8
삭제
9 9
제 1항에 있어서,상기 패턴 제조방법은 하기 식 3을 만족하는, 패턴 제조방법
10 10
기판, 광열변환층 및 블록공중합체층을 포함하는 적층체; 및상기 적층체 상에 이격하여 위치하는 FLA방식의 램프를 포함하며,상기 FLA 방식의 램프는 펄스형으로 광이 조사되고, 상기 조사는 하기 식 2를 만족하는 것인, 자기조립 패턴 형성용 시스템
11 11
제10항에 있어서,상기 적층체는 FLA 방식의 램프로 광조사하여 경사결함 간의 평균 거리가 1000 ㎚ 이상인 대면적 그레인을 포함하는 자기조립 패턴을 가지는 자기조립 패턴 형성용 시스템
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101803759 KR 대한민국 FAMILY
2 KR101815185 KR 대한민국 FAMILY
3 US20180016403 US 미국 FAMILY
4 WO2016089128 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국과학기술원 이공분야기초연구사업 다차원 나노조립제어 창의연구단
2 미래창조과학부 (재) 하이브리드 인터페이스 기반미래소재연구단 글로벌프론티어사업 하이브리드 인터페이스 원천기반공정 및 신기능 소재·부품 개발
3 미래창조과학부 한국과학기술원 나노·소재원천기술개발사업 그래핀산화물 액정섬유 방사원리 및 물성제어 연구