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템플릿과 기판의 표면을 세정하는 단계;상기 템플릿을 척에 고정하여 상기 기판과 함께 진공 분위기로 형성된 챔버의 내부공간으로 위치시키는 단계; 상기 템플릿을 기판에 접촉시키는 단계;상기 템플릿을 상기 척으로부터 분리하는 단계;상기 내부공간의 진공을 해제하고 롤 프레스를 상기 템플릿의 상면에서 이송시켜 상기 기판에 접촉한 상기 템플릿의 상면을 가압하는 단계; 및상기 기판과 상기 템플릿의 접합력을 향상시키는 단계를 포함하고, 상기 접합력을 향상시키는 단계는, 상기 내부공간을 진공 분위기로 다시 형성하고 온도를 상승시키는 단계; 상기 척을 다시 하강하여 상기 템플릿을 가압하는 단계; 상기 척을 다시 상승시켜 상기 템플릿에 인가된 가압력을 해제하는 단계; 및 상기 내부공간의 온도를 하강시키는 단계를 포함하는 직접 열가압 임프린트 방법
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제1항에 있어서, 상기 템플릿과 기판의 표면을 세정하는 단계에서, 습식 식각(wet etch) 공정 또는 건식 산소 플라즈마 노출 공정을 통해 상기 템플릿과 상기 기판의 표면의 이물질을 제거하는 것을 특징으로 하는 직접 열가압 임프린트 방법
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제1항에 있어서, 상기 챔버의 내부공간으로 위치시키는 단계에서, 상기 템플릿을 상기 척의 진공 흡착판에 고정하여 상기 내부공간으로 위치시키고, 상기 기판은 상기 내부공간에 위치한 베이스 프레임 상에 위치시키는 것을 특징으로 하는 직접 열가압 임프린트 방법
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제3항에 있어서, 상기 챔버의 내부공간으로 위치시키는 단계에서, 상기 템플릿 및 상기 기판의 표면을 산소플라즈마로 친수성 처리하는 것을 특징으로 하는 직접 열가압 임프린트 방법
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제1항에 있어서, 상기 템플릿을 상기 척으로부터 분리하는 단계에서, 상기 척으로 인가되는 진공을 해제시켜 상기 척만 상승시키는 것을 특징으로 하는 직접 열가압 임프린트 방법
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제1항에 있어서,상기 템플릿과 상기 기판은 서로 다른 재질을 포함하며, 상기 기판과 상기 템플릿의 접합력을 향상시킨 후, 상기 템플릿을 상기 기판으로부터 이형하여 상기 기판 상에 미세 패턴을 형성하는 단계를 더 포함하는 직접 열가압 임프린트 방법
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제1항에 있어서, 상기 템플릿과 상기 기판은 동일한 재질을 포함하며, 상기 기판과 상기 템플릿의 접합력을 향상시켜, 상기 기판과 상기 템플릿이 서로 접합된 접합 기판을 형성하는 단계를 더 포함하는 직접 열가압 임프린트 방법
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