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레지스트층이 형성된 기판의 상면으로부터 이격되고, 상기 기판과 마주보는 팁면에 단위패턴이 형성된 가늘고 긴 바늘 형상의 탐침부;상기 팁면과 상기 레지스트층에 존재하는 패터닝 지점 사이의 이격거리를 측정하는 센서부;상기 팁면이 상기 패터닝 지점에 미리 설정된 미세거리만큼 접근되도록 상기 탐침부를 승강시키는 승강구동부; 및상기 팁면에 전기장이 형성되도록 상기 탐침부에 전압을 인가하는 전압발생부;를 포함하고,상기 패터닝 지점이 상기 전기장의 영향을 받아 유동되면서, 상기 단위패턴과 대칭되는 형상의 복제패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 탭핑 패터닝 장치
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제6항에 있어서,상기 탐침부는, 상기 센서부의 내부에 형성된 승강통로에 수용되고, 상기 승강구동부의 구동에 의해 상기 센서부의 외부로 돌출되어 상기 팁면이 상기 레지스트층에 접근하는 것을 특징으로 하는 탭핑 패터닝 장치
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제7항에 있어서,상기 팁면과 상기 기판과 인접한 승강통로의 개구면 사이의 높이 차이를 측정하는 광학수단; 및상기 팁면을 상기 높이 차이만큼 승강시켜 상기 팁면이 상기 개구면에 정렬되도록 상기 승강구동부를 제어하는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탭핑 패터닝 장치
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제6항에 있어서,상기 패터닝 지점에 열 또는 자외선을 가하여 상기 패터닝 지점만 국부적으로 경화시키는 가열수단;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탭핑 패터닝 장치
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제6항에 있어서,상기 탐침부를 다음 패터닝 지점으로 이동시키는 x-y구동부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탭핑 패터닝 장치
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가늘고 긴 바늘 형상의 탐침부의 팁면이 기판으로부터 일정거리 이격되도록 배치시키는 탐침부 배치단계;상기 팁면과 상기 기판의 상면에 형성된 레지스트층에 존재하는 패터닝 지점 사이의 이격거리를 측정하는 센싱단계;상기 센싱단계에서 측정된 이격거리 정보를 이용하여, 상기 탐침부의 팁면이 상기 패터닝 지점에 미리 설정된 미세거리만큼 접근되도록 상기 탐침부를 하강시키는 탐침부 접근단계;상기 탐침부에 전압을 인가하여 상기 팁면에 전기장을 형성시키는 전기장 형성단계; 및상기 패터닝 지점이 상기 전기장의 영향을 받아 유동되어 상기 팁면에 형성된 단위패턴과 대칭되는 형상의 복제패턴을 형성하고, 상기 패터닝 지점에 열을 가하여 상기 복제패턴을 경화시키는 경화단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 탭핑 패터닝 방법
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제14항에 있어서,상기 경화단계에 이어서,상기 복제패턴을 일정시간 경화시킨 후, 상기 탐침부를 상기 기판으로부터 이격시키고, 다음 패터닝 지점으로 탐침부를 이동시키는 위치 이동단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탭핑 패터닝 방법
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제14항에 있어서,상기 탐침부 배치단계에 이어서,센서부의 승강통로에 수용되어 승강되는 탐침부의 팁면을 상기 기판과 인접한 승강통로의 개구면에 정렬시키는 탐침부 정렬단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탭핑 패터닝 방법
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