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금속아세테이트를 함유하는 광경화성 금속산화물 전구체 조성물 및 이를 이용한 3차원 나노구조체 제조방법

  • 기술번호 : KST2018013621
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금속아세테이트계 화합물을 함유하는 광경화성 금속산화물 전구체 조성물과, 상기 광경화성 금속산화물 전구체 조성물을 이용하여 3차원의 나노구조체를 제조하는 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 금속 이온을 함유하는 아세테이트계 기반의 금속산화물 전구체 조성물을 제공하여 광경화성 레지스트를 합성하고, 이를 액상 전이 임프린트 리소그래피(Liquid Transfer Imprint Lithography) 공정에 적용하여 3차원의 나노구조체를 형성하는 방법에 관한 것이다.
Int. CL G03F 7/004 (2006.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01)
CPC G03F 7/0043(2013.01) G03F 7/0043(2013.01) G03F 7/0043(2013.01) G03F 7/0043(2013.01)
출원번호/일자 1020170031927 (2017.03.14)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0104957 (2018.09.27) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.03.14)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이수옥 대한민국 대전광역시 서구
2 이재종 대한민국 대전광역시 유성구
3 정상희 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0252926-31
2 보정요구서
Request for Amendment
2017.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0040652-58
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.03.27 수리 (Accepted) 1-1-2017-0296511-17
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2017-0033479-51
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0065978-44
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.03.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0310094-33
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.03.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-0310162-40
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.07.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0498065-18
11 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2018.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2018-0837909-10
12 법정기간연장승인서
2018.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0135334-84
13 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.09.04 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0877588-73
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2018-0877647-79
15 등록결정서
Decision to Grant Registration
2018.10.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0682703-67
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
아연아세테이트, 구리아세테이트, 니켈아세테이트, 코발트아세테이트, 철아세테이트 및 망간아세테이트로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상인 아세테이트계 금속산화물, 1-히드록시 시클로헥실-페닐케톤, 1-(4-이소프로필페닐)-2-히드록시-2-메틸-1-원, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논 및 2,2-디에톡시-1,2-아페닐에타논으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상의 광개시제 및유기용매를 포함하는 광경화성 금속산화물 전구체 조성물
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 유기용매는 2-메톡시에탄올, 메틸이소부틸케톤, 메틸에틸케톤, 물, 메탄올, 에탄올, 프로판올, 이소프로판올, 부탄올, 디메틸설폭사이드, 디메틸포름아마이드, 아세톤 및 테트라히드로퓨란으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상인 광경화성 금속산화물 전구체 조성물
4 4
제1항에 있어서,상기 전구체 조성물은 아세테이트계 금속산화물이 유기용매에 대하여 0
5 5
삭제
6 6
제1기판 상에 아연아세테이트, 구리아세테이트, 니켈아세테이트, 코발트아세테이트, 철아세테이트 및 망간아세테이트로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상인 아세테이트계 금속산화물, 유기용매 및 1-히드록시 시클로헥실-페닐케톤, 1-(4-이소프로필페닐)-2-히드록시-2-메틸-1-원, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논 및 2,2-디에톡시-1,2-아페닐에타논으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상의 광개시제를 포함하는 광경화성 금속산화물 전구체 조성물을 도포하여 수지층을 형성하는 단계, 상기 수지층 위에 패턴이 형성된 스탬프를 압축성형하여 상기 스탬프 내부 패턴에 조성물을 채우는 단계, 상기 조성물이 패턴에 채워진 스탬프를 제2기판에 올려놓은 후 광경화하는 단계 및스탬프를 제거하는 단계 를 포함하는 나노구조체 형성방법
7 7
제6항에 있어서,상기 스탬프는 패턴이 형성된 마스터 몰드 표면에 유기분자막을 코팅한 다음, 폴리디메틸실록산 용액을 넣어 경화시킨 후 상기 마스터 몰드를 분리하여 제조된 것인 나노구조체 형성방법
8 8
제6항에 있어서,상기 전사된 패턴 위에 적어도 한 층 이상의 패턴을 전사하는 것을 포함하는 나노구조체 형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 기계연구원 미래부-국가연구개발사업(III) 3D 나노-마이크로 하이브리드 구조체 제작 리소그래피기술 개발 (4/9)