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금속 칼코겐 화합물 박막의 결정성 향상 방법 및 이종 접합 구조의 금속 칼코겐 화합물 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019000735
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 금속 칼코겐 화합물 박막의 결정성 향상 방법이 제공된다. 상기 금속 칼코겐 화합물 박막의 결정성 향상 방법은, 기판을 준비하는 단계, 상기 기판 상에 금속 칼코겐 화합물 박막을 형성하는 단계, 상기 금속 칼코겐 화합물 박막 상에 보호막을 형성하는 단계, 및 상기 보호막이 형성된 상기 기판을 열처리하여, 상기 금속 칼코겐 화합물 박막을 결정화시키는 단계를 포함할 수 있다.
Int. CL C23C 16/56 (2006.01.01) C23C 16/30 (2006.01.01) C23C 16/40 (2006.01.01) C23C 28/04 (2006.01.01) C23C 14/58 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01)
CPC C23C 16/56(2013.01) C23C 16/56(2013.01) C23C 16/56(2013.01) C23C 16/56(2013.01) C23C 16/56(2013.01) C23C 16/56(2013.01)
출원번호/일자 1020170098635 (2017.08.03)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2000338-0000 (2019.07.09)
공개번호/일자 10-2019-0014761 (2019.02.13) 문서열기
공고번호/일자 (20190715) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.08.03)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전형탁 대한민국 서울특별시 성동구
2 이남규 대한민국 전라북도 익산시 선화로 , *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.08.03 수리 (Accepted) 1-1-2017-0751461-28
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.02.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.05.09 수리 (Accepted) 9-1-2018-0020061-11
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.07.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0480383-02
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.07.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0692315-22
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.07.05 수리 (Accepted) 1-1-2019-0692314-87
7 등록결정서
Decision to grant		 2019.07.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0494247-73
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
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번호 청구항
1 1
기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 금속 칼코겐 화합물 박막을 형성하는 단계;상기 금속 칼코겐 화합물 박막 상에 보호막을 형성하는 단계; 및상기 보호막이 형성된 상기 기판을 열처리하여, 상기 금속 칼코겐 화합물 박막을 결정화시키는 단계를 포함하되,상기 보호막은, 산화 알루미늄(Al2O3)를 포함하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 결정성 향상 방법
2 2
제1 항에 있어서, 상기 보호막이 형성된 상기 기판을 열처리하여, 상기 금속 칼코겐 화합물 박막을 결정화시키는 단계에서, 상기 보호막은, 상기 금속 칼코겐 화합물 박막이 증발되는 것을 방지하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 결정성 향상 방법
3 3
제1 항에 있어서, 상기 기판 상에 금속 칼코겐 화합물 박막을 형성하는 단계는, 상기 기판 상에 칼코겐 원소를 포함하는 반응 가스 및 금속을 포함하는 전구체를 제공하는 단계를 포함하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 결정성 향상 방법
4 4
삭제
5 5
기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 제1 금속 칼코겐 화합물 박막을 형성하는 단계; 상기 제1 금속 칼코겐 화합물 박막 상에 반응층(reaction layer)을 형성하는 단계; 및상기 반응층이 형성된 상기 기판을 열처리하여, 상기 제1 금속 칼코겐 화합물 박막 상에 제2 금속 칼코겐 화합물 박막을 형성하는 단계를 포함하되,상기 반응층이 형성된 상기 기판을 열처리하여, 상기 제1 금속 칼코겐 화합물 박막 상에 제2 금속 칼코겐 화합물 박막을 형성하는 단계는,상기 반응층 상에 칼코겐 원소를 포함하는 소스 가스를 제공하는 단계; 및상기 반응층이 상기 소스 가스와 반응하여 상기 제2 금속 칼코겐 화합물 박막으로 변형되는 단계를 포함하고, 상기 제1 금속 칼코겐 화합물 박막은, 상기 제2 금속 칼코겐 화합물 박막보다 결정성이 높은 것을 포함하는 이종 접합 구조의 금속 칼코겐 화합물 제조 방법
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
제5 항에 있어서, 상기 반응층은, 금속 또는 금속 산화물을 중 적어도 어느 하나를 포함하는 이종 접합 구조의 금속 칼코겐 화합물 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 (재)한국연구재단 원천기술개발사업 / 나노소재 기술개발사업 / 나노·소재원천기술개발사업 2차원 황화물의 대면적 저온 공정 개발